رقاقة آلة الربط

Eفي جي 810 ليت نظام تنشيط البلازما LowTemp™

EVG 810LT LowTemp™تفعيل نظام البلازما

ينطبق علىسويوميمسانخفاض درجة حرارة البلازما تفعيل نظام مركب أشباه الموصلات المتقدمة الركيزة الترابط

البيانات التقنية

EVG810 LT منخفضة الحرارة™ البلازما نظام التنشيط هو تجويف واحد وحدة مستقلة تعمل يدويا . تجهيز غرفة يسمح خارج الرحم العلاج ( رقاقة هو تفعيلها من جانب واحد و المستعبدين خارج البلازما تفعيل الدائرة ) .

سمة

سطح مأكل التنشيط في درجة حرارة منخفضة الترابط ( ذوبان )والتصاق الطبقة المتوسطة والجزيئية (

رقاقة آلة الربطالنظام فيزويديناميات سريعة

لا تحتاج إلى عملية الرطب

التلدين البارد )زويعالية .400سCتحتزويارتفاع قوة السندات

ينطبق علىسويوميمس، مجمع أشباه الموصلات ومتقدمة الركيزة الترابط

درجة عالية من التوافق المادينظام CMOSو

EVG810 LTالبيانات التقنية

رقاقة القطر ( حجم الركيزة ) :50-200、100-300مليمتر

منخفضة درجة الحرارة™ تفعيل غرفة البلازما

عملية الغاز :2الغازات العملية القياسية )N2وأو2و

الشامل العالمي تحكم تدفق : الذاتي معايرة20000 سمو

نظام فراغ9x10-2 mbar

فتح الدائرةوإغلاق : أتمتة

تحميل الدائرةوإلغاء : يدويا ( تحويل رقاقةووضع الركيزة على دبوس التحميل (

وظيفة اختيارية

تشاك ينطبق على مختلف الأحجام رقاقة

تفعيل بدون ايونات المعادن

غيرها من الغازات المختلطة

نظام فراغ عالية مع مضخة توربو :9x10-3 mbarالضغط الأساسي

مطابقمنخفضة درجة الحرارة™ البلازما تنشيط نظام المواد الرابطة

سيهسسي / سيوسي / سي( الأكسدة الحرارية ،سيهالأكسدة الحرارية/ نعمالأكسدة الحرارية

تيوس / تيوسالأكسدة الحرارية

عازل الجرمانيوم )جيويقسي / جي