التلقائي بالكامل مجهر القوة الذرية aafm

Bالتلقائي مجهر القوة الذرية

-- الجيل الخامس من وكالة فرانس برس لديها صناعة عالية الدقة ، وسرعة تشكيل وسرعة 3D قالب رسم الخرائط

ضوء لوكالة فرانس برس هو في العالم عالية الأداء ، والصناعة الرائدة في مجال التكنولوجيا المتقدمة العقدة CMP كفاف والحفر عمق نظام القياس . جنبا إلى جنب مع الحديث إلى نهاية الماسح الضوئي ، المدمج في قياس الضغط بالسعة مستقرة ودقيقة مع الهواء نظام تحديد المواقع ، غير تدميري القياس المباشر يمكن أن يؤديها في منطقة نشطة من يموت .

· 0.3 نانومتر الاستقرار على المدى الطويل
عرضنيست تتبع القياس المرجعي ، والحفاظ على الاستقرار في القياس لمدة سنة واحدة

· 260-340 مواقع / ساعات
تطبيقات مضمنة* إنتاجية عالية
تقليلأمي الوقت الأمثل رقاقة تجهيز يمكن الحفاظ على إنتاجية تصل إلى 50 رقاقة / ساعة

· تصل إلى 36000 ميكرون / ثانية
仿形速度
توفير دقة عالية من خلال تحديد نقطة ساخنةميزة 3D

* عالية الدقة ، وحياة طويلة نهاية حادة
truesense في ضوء وكالة فرانس برس ® التكنولوجيا ، لديها القدرة على المسح الضوئي طويلة ثبت من قبل محلل الطاقة الذرية . عمق الحفر ، والاكتئاب ، وتآكل خصائص submicron الرصد الآلي ، مع لا تحتاج إلى الاعتماد على اختبار مفاتيح أو نماذج .

. . . ـ

محفوراالتلقائي بالكامل على الخط عملية مراقبة CMP رقاقة

البصيرة وكالة فرانس برس يجمع بين الابتكارات الجديدة في مجهر القوة الذرية ، بما في ذلك الملكية cdmode بروكر ، الذي يستخدم لوصف خصائص الجدار وخشونة . cdmode يقلل من عدد من الأقسام المطلوبة و يحقق وفورات كبيرة في التكاليف . وبالإضافة إلى ذلك ، فإن وكالة فرانس برس البيانات يوفر قياسات خشونة الجدار مباشرة التي لا يمكن الحصول عليها من خلال تقنيات أخرى .

التلقائي استعراض وتصنيف العيوب

في الوقت الحاضر ، عيوب الجهاز من الدوائر المتكاملة هي أصغر من أي وقت مضى ، والتي تحتاج إلى حل سريع .HVM الطلب . ضوء وكالة فرانس برس يوفر سريعة ، قابلة للتشغيل التضاريس والمواد معلومات عن أشباه الموصلات رقاقة phtomask العيوب ، مما يسمح للمصنعين بسرعة تحديد مصادر العيوب والقضاء على آثارها على الإنتاج .

100 مرة عالية الدقة تسجيل العناصر البصرية و فؤاد المحاذاة العالمية يمكن أن تجعل الصورة الأصلية من نمط رقاقة وقناع وضع دقة أقل من ± 250 نانومتر ، وضمان أن العيب هو قياس الفائدة عيب . هذا النظام يعمل بشكل جيد مع كلاريتي ومعظم الأنظمة الأخرى YMS متوافق .

قالب 3D ورسم الخرائط hypermap ™

تحليل السرعة تصل إلى36000μm/sec， قادرة على أداء سريع وكامل 3D CMP توصيف والتحقق من 33mm × 26mm وأكبر فلاش الميدان . سوبر 2 نانومتر الحركة خارج الطائرة ، يدرك حقا على نطاق واسع التضاريس و الكشف عن بقعة ساخنة بعد تلميع التلقائي بالكامل .

في هذه الحالةمعيار كامل 26 ملم × 33 ملم عبر خط المسح الميداني تم الحصول عليها في غضون 24 ساعة في 1 ميكرون × 1 ميكرون بكسل الحجم . ثم يمكنك تلقائيا الكشف عن إعادة مسح البقع الساخنة باستخدام بروكر الساخنة الكشف عن وظيفة الاستعراض .

خدمة ما بعد البيع

Bالتلقائي مجهر القوة الذرية

-- ضغط عالية الأداء الشخصي و فؤاد

بروكر ' ق البصيرة كاب التلقائي القوة الذرية profilometer هو مؤتمر الأطراف / اجتماع الأطراف والحفر قياس منصة مصممة خصيصا لمصنعي أشباه الموصلات والموردين . تكوين مرنة تدعم رقاقة الأحجام من 100 ملم إلى 300 ملم ، ويمكن تحقيق دقة قياس مجموعة واسعة من التطبيقات الطرفية . من مختبرات عالية الإنتاجية إلى مصانع مؤتمتة بالكامل ، ضوء غطاء الشخصي يمكن تهيئتها على النحو الأمثل للحصول على حلول فعالة من حيث التكلفة قياس .

على المدى الطويل دينامية التكاثر < 0.5 نانومتر

مباشرة ومستقرة على الخط قياس عملية صنع القرار الرئيسية

دون نانو
مؤتمر الأطراف / اجتماع الأطراف التلقائي قياس الحساسية ، طبق خاص والتآكل قياس حزمة عملية مراقبة وتطوير

· <20nm
التنميط التسطيح أكبر من26 مم
مفتاحعالية الدقة قياس التسطيح بعد مؤتمر الأطراف / اجتماع الأطراف في تطوير تكنولوجيا الطباعة الحجرية فوق البنفسجية ومراقبة العملية

على الخط قياس النتائج في دقائق ، والتي تنطبق على النقشتطوير التكنولوجيا ومراقبة عملية CMP

في التكنولوجيا المتقدمة العقد ، وضع الطباعة الحجريةمؤتمر الأطراف العامل بوصفه اجتماع الأطراف في البروتوكول المقترح نانومتر عملية مراقبة لتلبية متطلبات التركيز العمق . ضوء كاب ، التي شيدت حول الجيل الجديد من فؤاد الماسح الضوئي ، يوفر تحسين التسطيح في 65 μ م س / ص المسح الضوئي ، أقل من 10 نانومتر . نظام Nanoscope ® الخامس 64 بت فؤاد تحكم يوفر 5 مرات أسرع أداء الربط و 5 مرات أسرع سرعة التكيف لتحسين كفاءة الإنتاج ، كل هذه تحسين الموثوقية . dt-adaptive طريقة المسح يساعد أيضا على تسريع سرعة المسح الضوئي وتحسين القياس . ارتفاع القرار التنميط ضوء كاب يجمع بين العديد من الوظائف المتقدمة ، والتي يمكن تحقيق دقة قياس مستوى مصر في الكلية تبلد وتآكل .

دعم التكوين المرن منرقاقة الأحجام من 100 ملم إلى 300 ملم يمكن قياسها بدقة في مجموعة واسعة من التطبيقات الطرفية . من مختبرات عالية الإنتاجية إلى مصانع مؤتمتة بالكامل ، ضوء غطاء الشخصي يمكن تهيئتها على النحو الأمثل للحصول على حلول فعالة من حيث التكلفة قياس .

خدمة ما بعد البيع