رقيقة ترسب الأمراض القلبية الوعائية

شركة SENTECH ICPالبلازما نظام الترسيب - سي 500D

هو التيار الرئيسي من معدات أشباه الموصلات ، والبحث والتطوير وتصنيع وتسويق جيدة رقيقة أدوات القياس ( الانعكاس ، ellipsometry الطيفية ellipsometry ) و معدات البلازما ( البلازما النقش آلة ، نظام ترسب البلازما ، نظام مخصص ) .

SI 500Dالبلازما ترسيب نظام ( icp-pecvd ) هو جهاز يستخدم برنامج المقارنات الدولية البلازما عالية الكثافة مصدر إيداع عازلة رقيقة الأفلام . عالية الجودة SiO2 ، Si3N4 ، sioxny الأفلام يمكن أن تودع في درجة حرارة منخفضة جدا ( < 100 درجة مئوية ) . سمك ، معامل الانكسار ، والإجهاد يمكن تعديلها باستمرار .

SI 500 دالسمات الرئيسية :

• مناسبة لأنّ 8 بوصة أو أقل من رقائق

• انخفاض درجة حرارة ترسيب عالية الجودة فيلم العازلة : 80 درجة مئوية إلى 350 درجة مئوية

• ارتفاع معدل الترسيب

• انخفاض الضرر

• خصائص الفيلم ( سمك ، معامل الانكسار ، والإجهاد ) يمكن تعديلها باستمرار

• لوحة مسطحة نوع الهوائي الثلاثي PTSA مصدر البلازما )PلانارTموجةSبيرالAنتينا)

• سنتكالمتقدمة معدات البلازما برامج التشغيل

• طريقة تركيب الجدار

تكوين النظام :