رقاقة آلة الربط

EVG 850 LT

نظام ربط الإنتاج الآلي لـ SOI وربط الوافير المباشر

الإنتاج الآلي نظام الربط EVG 850lt سوي مباشرة رقاقة الربط

نظام الربط الآلي للإنتاج ، ومناسبة لمجموعة متنوعة من التطبيقات الانصهار / الربط رقاقة الجزيئية

رقاقة الرابطة هي واحدة من التكنولوجيات الرئيسية في تصنيع رقاقة سوي مستوى التكامل 3D . التلقائي إنتاج نظام الربط مع المعونة من evg850lt الميكانيكية محاذاة سوي و lowtemp ™ البلازما تفعيلها مباشرة رقاقة الرابطة تنصهر فيها جميع الخطوات الأساسية من الانصهار - من التنظيف ، البلازما التنشيط والمحاذاة قبل الرابطة و الأشعة تحت الحمراء التفتيش . ولذلك ، فإن معيار الصناعة evg850 لتر ، والتي تم اختبارها من قبل الممارسة ، يضمن تدفق عالية وعالية الغلة من عملية الإنتاج تصل إلى 300 ملم الحجم خالية من الفراغات سوي رقائق .

　　سمة

lowtemp EVG ™ سوي مباشرة رقاقة الربط بواسطة البلازما تقنية التنشيط

مناسبة لأنّ أنواع مختلفة من الانصهار / رقاقة الجزيئية الترابط التطبيقات ؛ نظام الإنتاج يمكن أن تعمل في تدفق عالية وعالية الغلة البيئة .

عملية تلقائية من مربع إلى مربع ( خطأ التحميل ، SMIF أو FOUP ) ؛ خالية من التلوث المعالجة الخلفية

تنظيف الفرشاة الأسرع من الصوت و / أو ؛ قبل الانضمام إلى التسوية الميكانيكية أو درجة المحاذاة

المتقدمة تكنولوجيا التشخيص عن بعد البيانات

قطر رقاقة ( حجم الركيزة ) 100-200 150-300 ملم

التلقائي بالكامل عملية كاسيت كاسيت

قبل غرفة لاصقة

محاذاة نوع : الطائرة إلى الطائرة أو الشق إلى الشق

دقة المحاذاة : س و ص : ± 50 ميكرومتر ، ثيتا : ± 0.1 درجة

الجمع بين القوة : زوي عالية 5 ن

موقع بداية موجة الترابط : مرنة من حافة رقاقة إلى مركز

نظام فراغ : 9x10-2 MBAR ( قياسي ) و 9x10-3 MBAR ( التوربينات مضخة الخيار )

LowTemp ™ تفعيل وحدة البلازما

اثنين من العمليات القياسية الغازات : N2 و O2 ، واثنين من العمليات الأخرى الغازات : عالية النقاء الغاز ( 99.999 ٪ ) ، الغازات النبيلة ( ع ، هو ، ني ، الخ ) و الغازات الاصطناعية ( N2 ، ع ، H4 المحتوى العالي زوي )

وحدة تحكم تدفق الشامل العالمي : زوي يمكن معايرة أربعة أنواع من الغازات العملية ، يمكن برمجتها ، وارتفاع معدل تدفق زوي يمكن أن تصل إلى 20 ، 000 SCCM