الأشعة فوق البنفسجية آلة الطباعة الحجرية نانو

EVG^®610 نظام الليثوغرافيا للأشعة فوق البنفسجية Nanoimprint

EVG ® 610 الأشعة فوق البنفسجية الطباعة الحجرية نانو بصمة النظام

الغرض العام وضع قناع محاذاة النظام مع الأشعة فوق البنفسجية نانو بصمة وظيفة .مم

البيانات التقنية

أداة تدعم مجموعة متنوعة من عمليات الطباعة الحجرية القياسية ، مثل فراغ ، لينة ، من الصعب ، بالقرب من التعرض وسائط ، ويمكن اختيار العودة المحاذاة . وبالإضافة إلى ذلك ، يوفر النظام أيضا وظائف إضافية لتكوين متعدد الوظائف ، بما في ذلك الربط محاذاة الطباعة الحجرية نانو بصمة )نيل).

evg610 يوفر سرعة تجهيز وإعادة تثبيت أدوات تغيير احتياجات المستخدم ، الطباعة الحجرية و نيل وقت التحويل بين بضع دقائق فقط . مفهوم متعدد المستخدمين المتقدمة يمكن أن تتكيف مع جميع الاحتياجات من المبتدئين إلى الخبراء ، مما يجعلها مناسبة جدا للجامعة والبحث والتطوير التطبيقات .

عملية النقش ،evg610 يسمح مجموعة من ركائز من حجم رقاقة إلى 150 ملم في القطر . تكوين تطبيقات تكنولوجيا النانو يمكن أن تشمل آلية الإفراج عن الطوابع بالإضافة إلى برمجة عالية ومنخفضة الاتصال القوات . إف المجموعة الملكية تشاك تصميم يوفر قوة اتصال موحدة لتحقيق إنتاجية عالية الانطباع الذي يدعم لينة والثابت الانطباع .

سمة

أعلى وأسفل التوافق

عالية الدقة محاذاة الجدول

التلقائي إسفين خطأ آلية التعويض

الكهربائية وصياغة السيطرة على التعرض الفجوة

دعمالجديدالالأشعة فوق البنفسجية الصمام التكنولوجيا

مساحة الأرض والمرافق متطلبات نظام التصغير

خطوة بخطوة عملية التوجيه

بعد الدعم الفني

مفهوم متعدد المستخدمين ( عدد غير محدود من حسابات المستخدم والصيغ ، وتخصيص الوصول إلى مختلف لغات واجهة المستخدم )

التحول بين مرونة عملية الطباعة الحجرية . نسخة واحدة من سطح المكتب أو الجرانيت مع الزلازل

وظائف إضافية : مفتاح المحاذاة ، محاذاة الأشعة تحت الحمراء ، نانو بصمة الطباعة الحجرية ، ميكروغرام الاتصال الطباعة

البيانات التقنية

رقاقة القطر ( حجم الركيزة ) الطباعة الحجرية القياسية : كبيرشظايالينةUV-NIL : شظايا 150 مم كبيرة

القرار40 نانومتر ( القرار يعتمد على قالب وعملية )

دعم تدفق

ليونةالأشعة فوق البنفسجية NIL

مصدر التعرض : الزئبق أو الأشعة فوق البنفسجيةمصدر الضوء LED

فصل تلقائي : لا يدعم ;

عمل ختم صنع : خارجيّ ;