مقياس الجريان بالموجات فوق الصوتية الخاصة للسيطرة على تلميع السائل CMP المعدات

مقياس الجريان بالموجات فوق الصوتية الخاصة للسيطرة على تلميع السائل CMP المعدات

المفاهيم الأساسية الكيميائية تلميع الميكانيكية ( CMP ) :

CMP， الكيميائية تلميع الميكانيكية ( CMP ) هو نوع من التكنولوجيا التي يمكن طحن وتلميع سطح رقاقة السيليكون بدقة من خلال الجمع بين المواد الكيميائية والميكانيكية . هذا هو أساس هذه التكنولوجيا ، والتي يمكن تحقيق planarization العالمية من سطح رقاقة السيليكون ، وتوفير أساس جيد لعملية لاحقة . مؤتمر الأطراف / اجتماع الأطراف هو المعدات الرئيسية في مجال تصنيع أشباه الموصلات .

مقياس الجريان بالموجات فوق الصوتية الخاصة للسيطرة على تلميع السائل CMP المعدات

مقياس الجريان بالموجات فوق الصوتية الخاصة للسيطرة على تلميع السائل CMP المعدات

مقياس الجريان بالموجات فوق الصوتية الخاصة للسيطرة على تلميع السائل CMP المعدات

مقياس الجريان بالموجات فوق الصوتية الخاصة للسيطرة على تلميع السائل CMP المعدات

مقياس الجريان بالموجات فوق الصوتية الخاصة للسيطرة على تلميع السائل CMP المعدات

1 - المعلومات الأساسية عن الأطراف

1 - العمليات الرئيسية لمؤتمر الأطراف / اجتماع الأطراف

مؤتمر الأطراف العامل بوصفه اجتماع الأطراف في عملية تتكون من ثلاث خطوات رئيسية : تلميع ، والتنظيف ، والنقل . في عملية تلميع ، التركيب الكيميائي في تلميع السائل يتفاعل مع سطح رقاقة المواد على شكل طبقة رقيقة التي يمكن إزالتها ميكانيكيا ، ثم لوحة تلميع يزيل طبقة رقيقة ميكانيكيا ، وبالتالي تحقيق نعومة السطح .

2 ) أنواع رئيسية من المعدات CMP

مؤتمر الأطراف / اجتماع الأطراف المعدات يمكن تقسيمها إلى 8 بوصة ، 12 بوصة و 6 / 8 بوصة متوافقة وفقا لمتطلبات التطبيق .

3 ) مجالات التطبيق الرئيسية للمعدات CMP

وهي تستخدم أساسا في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، وأشباه الموصلات سلسلة الصناعة يمكن تقسيمها إلى أربعة أجزاء : رقاقة تصنيع المواد ، تصميم أشباه الموصلات ، تصنيع أشباه الموصلات ، والتعبئة والتغليف والاختبار . وبصرف النظر عن تصميم أشباه الموصلات ، CMP التطبيقات في مجالات أخرى :

① رقاقة تصنيع المواد : في تلميع ، CMP المعدات اللازمة للحصول على شقة رقاقة المواد .