مقياس الجريان بالموجات فوق الصوتية الخاصة لتنظيف 12 بوصة أشباه الموصلات م

مقياس الجريان بالموجات فوق الصوتية الخاصة لتنظيف 12 بوصة أشباه الموصلات م

المفاهيم الأساسية الكيميائية تلميع الميكانيكية ( CMP ) :

CMP， الكيميائية تلميع الميكانيكية ( CMP ) هو نوع من التكنولوجيا التي يمكن طحن وتلميع سطح رقاقة السيليكون بدقة من خلال الجمع بين المواد الكيميائية والميكانيكية . هذا هو أساس هذه التكنولوجيا ، والتي يمكن تحقيق planarization العالمية من سطح رقاقة السيليكون ، وتوفير أساس جيد لعملية لاحقة . مؤتمر الأطراف / اجتماع الأطراف هو المعدات الرئيسية في مجال تصنيع أشباه الموصلات .

مقياس الجريان بالموجات فوق الصوتية الخاصة لتنظيف 12 بوصة أشباه الموصلات م

مقياس الجريان بالموجات فوق الصوتية الخاصة لتنظيف 12 بوصة أشباه الموصلات م

مقياس الجريان بالموجات فوق الصوتية الخاصة لتنظيف 12 بوصة أشباه الموصلات م

مقياس الجريان بالموجات فوق الصوتية الخاصة لتنظيف 12 بوصة أشباه الموصلات م

مقياس الجريان بالموجات فوق الصوتية الخاصة لتنظيف 12 بوصة أشباه الموصلات م

1 - المعلومات الأساسية عن الأطراف

1 - العمليات الرئيسية لمؤتمر الأطراف / اجتماع الأطراف

مؤتمر الأطراف العامل بوصفه اجتماع الأطراف في عملية تتكون من ثلاث خطوات رئيسية : تلميع ، والتنظيف ، والنقل . في عملية تلميع ، التركيب الكيميائي في تلميع السائل يتفاعل مع سطح رقاقة المواد على شكل طبقة رقيقة التي يمكن إزالتها ميكانيكيا ، ثم لوحة تلميع يزيل طبقة رقيقة ميكانيكيا ، وبالتالي تحقيق نعومة السطح .

2 ) أنواع رئيسية من المعدات CMP

مؤتمر الأطراف / اجتماع الأطراف المعدات يمكن تقسيمها إلى 8 بوصة ، 12 بوصة و 6 / 8 بوصة متوافقة وفقا لمتطلبات التطبيق .

3 ) مجالات التطبيق الرئيسية للمعدات CMP

وهي تستخدم أساسا في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، وأشباه الموصلات سلسلة الصناعة يمكن تقسيمها إلى أربعة أجزاء : رقاقة تصنيع المواد ، تصميم أشباه الموصلات ، تصنيع أشباه الموصلات ، والتعبئة والتغليف والاختبار . وبصرف النظر عن تصميم أشباه الموصلات ، CMP التطبيقات في مجالات أخرى :

① رقاقة تصنيع المواد : في تلميع ، CMP المعدات اللازمة للحصول على شقة رقاقة المواد .