إن ns-30 أشباه الموصلات فيلم قياس سماكة تماس هو نوع من معدات قياس عالية الدقة على أساس مبدأ الضوء الأبيض التداخل .
إن ns-30 أشباه الموصلات فيلم قياس سماكة تماس هو نوع من معدات قياس عالية الدقة على أساس مبدأ الضوء الأبيض التداخل .
1 - المبادئ الأساسية
الحادث الرأسي عالية ومستقرة واسعة النطاق ضوء الحادث على سطح العينة ، مما أدى إلى ظاهرة التداخل الضوئي بين طبقات الفيلم ، تعكس الضوء من خلال التحليل الطيفي والانحدار خوارزمية يمكن حساب سماكة الفيلم من كل طبقة . فائدة نموذج مناسبة لأنّ قياس سمك ، الانعكاس ، معامل الانكسار من شفافة أو شبه شفافة فيلم طبقة من نانومتر إلى ميكرون الحجم .
2 - بارامترات محددة
- المبدأ الأساسي : عمودي الحادث واسعة النطاق تدخل الضوء الأبيض
- قياس مدى : 1 نانومتر إلى 250 ميكرون
- نطاق الطول الموجي ( NIP النموذجي ) : 950 نانومتر - 1700 نانومتر ( بالقرب من الأشعة تحت الحمراء باند )
- دقة : 3 نانومتر أو 0.4 ٪
- دقة التكرار : 0.1 نانومتر
-- قياس السرعة : < 1 ثانية / نقطة واحدة
- حجم بقعة : 1.5 مم
- السمات الأساسية : التلقائي عينة الناقل ، يمكن تعيين نقطة القياس التلقائي ، سمك ، الانكسار ، انعكاسية 2D / 3D خريطة التوزيع
-- حجم العينة الجدول : 100mm إلى 450mm اختياري
- القدرة على القياس : يمكن قياس سمك ، معامل الانكسار ( ن ) والانعكاس من كل طبقة من الطبقات فيلم مركب
3 - المهام الأساسية
4 - عرض النتائج التجريبية