سطح المكتب التلقائي نظام قياس سماكة الفيلم

قابلة للتفاوضتحديث02/09

نموذج

طبيعة المصنع: المنتجين

فئة المنتج

مكان المنشأ

استشارة عبر الإنترنت

نظرة عامة

ns-30 سلسلة هو سطح المكتب التلقائي قياس سماكة الفيلم وتحليل النظام ، والتي يتم تصنيعها من قبل سوتشو sizhi التكنولوجيا المحدودة .

تفاصيل المنتج

على الخط رصد سماكة الفيلم هو مفتاح التكنولوجيا في تصنيع أشباه الموصلات ، في الوقت الحقيقي رصد ومراقبة سماكة يتحقق أساسا من خلال عدم الاتصال البصرية قياس الأسلوب .

ns-30 سلسلة هو سطح المكتب التلقائي قياس سماكة الفيلم وتحليل النظام ، والتي يتم تصنيعها من قبل سوتشو sizhi التكنولوجيا المحدودة . مع متقدمة تكنولوجيا القياس البصرية ، الجهاز لديه خصائص عالية الدقة ، والاستقرار عالية ، intelligentization ، ويلعب دورا هاما في مجال تصنيع أشباه الموصلات .

　　التكنولوجيا الأساسية من حيث المبدأ

إن ns-30 سلسلة فيلم سمك متر على أساس مبدأ الضوء الأبيض التداخل . الجهاز عموديا إيرادياتيس عالية ومستقرة واسعة النطاق الضوء على الفيلم على سطح رقاقة يمكن قياسها ، الحادث الضوء ينعكس على السطح العلوي من الفيلم ، و جزء آخر من الفيلم ينتقل إلى الفيلم و ينعكس في واجهة بين الفيلم و الركيزة . اثنين من أشعة الضوء المنعكس تتداخل مع بعضها البعض لتشكيل نمط التدخل ، سمك ، معامل الانكسار والانعكاس من كل طبقة رقيقة يمكن حسابها من خلال تحليل الطيف والانحدار الخوارزمية .

　　المعلمات التقنية الرئيسية
主要技术参数

　　ثالثاً - السمات الوظيفية الأساسية

1 . عالية الدقة قياس القدرة

- دقة subnanometer : دقة القياس يمكن أن تصل إلى 0.02nm ، وتحقيق قياس سماكة الفيلم nanometer ;

- التكرار العالي : دقة التكرار 0.02nm ، وضمان الاتساق والموثوقية في نتائج القياس؛

- قياس واسعة النطاق : تغطي نطاق قياس سمك 1nm-250 μ m ، وتلبية متطلبات التطبيقات المختلفة ؛

التلقائي قياس وظيفة

- التلقائي اختبار عينة منصة التحميل : حجم منصة 100mm-450mm اختياري ، ودعم كبير الحجم رقاقة قياس ;

- توزيع النقاط الذكية : يولد البرنامج تلقائيا توزيع نقاط القياس حسب الطلب ، ويدعم القياس الآلي المتعدد النقاط؛

- رسم الخرائط 2D / 3D : رسم خرائط ثنائية وثلاثية الأبعاد للسمك ، ومعامل الانكسار ، والانعكاس وغيرها من المعالم؛

عدم الاتصال قياس غير تدميري

- عدم الاتصال البصري : قياس عدم الاتصال لتفادي إلحاق الضرر بسطح الرقاقة؛

- قياس الأفلام المتعددة الطبقات : يمكن قياس سماكة كل طبقة من طبقات الأفلام المركبة المتعددة الطبقات وبارامتراتها البصرية؛

- القدرة على التكيف مع المواد : تنطبق على الأفلام الشفافة أو شبه الشفافة ، بما في ذلك أكاسيد ، نتريدات ، مقاومة للضوء وغيرها من المواد؛

　　رابعا ، تطبيق في رصد ويفر رقاقة الفوقي

ميزة التحكم في العملية

سلسلة ns-30 يلعب دورا رئيسيا في عملية تنضيد ويفر رقاقة :

- الرصد في الوقت الحقيقي : يمكن إجراء قياسات على الخط في الموقع في عمليات مثل ترسب طبقة الذرية ALD ، الأمراض القلبية الوعائية ترسيب الأبخرة الكيميائية ، الخ .

- عملية التحسين : من خلال التغذية المرتدة من بيانات دقيقة سمك الفيلم ، وتحقيق في الوقت الحقيقي تعديل وتحسين المعلمات العملية

- ضمان الجودة : ضمان اتساق سماكة طبقة الفوقي ، وتحسين أداء وموثوقية أجهزة أشباه الموصلات

2 - تحسين كفاءة القياس

- قياس سرعة عالية : مرة واحدة قياس الوقت أقل من 1 ثانية ، ودعم سريع للكشف عن دفعة

-- تجهيز الدفعات : يدعم النقل التلقائي من 8 بوصة مربع رقاقة ، وتحسين كفاءة القياس بشكل ملحوظ

-- التحليل الذكي : مجهزة ببرامج تحليل قوية ، وإجراء التحليل الإحصائي التلقائي ش وإدارة البيانات

3 - توسيع نطاق التطبيق

بالإضافة إلى رصد ويفر رقاقة الفوقي ، ns-30 سلسلة تستخدم أيضا على نطاق واسع في :

- تصنيع أشباه الموصلات : قياس سيو ؟ 、 SiNx、 فيلم البولي سيليكون الرئيسية

- الخلايا الضوئية : توبكون آل س ؟ TCO / SiNX مغلفة فيلم ، فيلم موصل شفافة HJT

- طلاء البصرية : ع المضادة للانعكاس طبقة ، AG المضادة للانبهار طلاء ، فلتر الخ

- لوحة العرض : لقد اخترت ، تفت ، ايتو قياس سماكة الفيلم

ns-30 سلسلة سطح المكتب التلقائي قياس سماكة الفيلم مع دقة عالية ، والاستقرار عالية ، intelligentized الميزات ، رقاقة ويفر الفوقي على الخط رصد سماكة الفيلم يوفر حلا موثوقا به ، في تصنيع أشباه الموصلات ، الضوئية ، عرض ، وغيرها من مجالات التكنولوجيا الفائقة تلعب دورا هاما .

منتج مماثل يوصي