سو1510

المواصفات القياسية

(1) المواصفات الأساسية

قرار الصورة SE : 3.0 نانومتر عند 30 كيلو فولت (x100,000 ، WD = 5 مم ، وضع فراغ عالي)
15 نانومتر عند 3 كيلو فولت (x30,000 ، WD = 5 مم ، وضع فراغ عالي)

دقة الصورة BSE : 4.0 نانومتر عند 30 كيلو فولت (x60,000 ، WD = 5 مم ، 6 Pa في وضع الفراغ المنخفض)

تكبير خمسةلا300 , 000
(تعتمد أعلى وأدنى تكبيرات على تسريع الجهد ، وسرعة مسح WDand)

(2) إلكترون البصريات

مصدر شعاع الإلكترونات : خيوط الخرطوشة المركزية مسبقا (خيوط دبوس الشعر التنغستن)

تسريع الجهد 0.3 كيلو فولت - 30 كيلو فولت

تحيز البندقية: تحيز الرباعي

محاذاة الشعاع : انحراف كهرومغناطيسي مرحلتين (يعمل كفراغ شعاع عندما يتم تجميد الصورة)

نظام العدسة: 3 مراحل البصريات الحد من العدسة الكهرومغناطيسية

الوصم: X-Y ثمانية الكهرومغناطيسية

لفائف المسح الضوئي : انحراف كهرومغناطيسي مرحلتين

فتحة متنقلة الهدف: 4 ثقوب withclick-stop تصميم (30، 50، 80، 150 ميكروم قطر.)

تحول الصورة: ±50 ميكروم أو أكبر عند WD = 15 مم

موقف التحليل : WD = 15 مم ، TOA = 35س

كاشفات: كاشف SE في وضع الفراغ العالي
كاشف BSE في أوضاع الفراغ العالية والمنخفضة

(3) مرحلة العينات

(4) نظام الإخلاء

مراقبة الإجلاء : تسلسل تلقائي بالكامل مع صمامات المحرك

مقياس الفراغ : مقياس بيراني

الفراغ النهائي : 1.5 × 10^-3بابا

نطاق الضغط القابل للتعديل: 6 - 270 Pa (وضع الفراغ الداخلي فقط)

مضخة الفراغ:مضخة توربو الجزيئية (TMP) 210لتر / ثانية،لا1 مضخة الدوار الزيت 135 لتر / دقيقة (50 هرتز) ، 162 لتر / دقيقة (60 هرتز) ،لا1

(5) عرض

التحكم: واجهة المستخدم الرسومية (GUI) ، القائمة الإنجليزية

نظام التشغيل: مايكروسوفت^®ويندوز^®XP المهنية

التشغيل: الماوس / لوحة المفاتيح ، مجموعة المقبض الدوارة (الخيار)

شاشة: 19 نوع LCD (1280)لا1024 بكسل على سطح المكتب)

وضع عرض الصورة شاشة شاشة كاملة (1280"960 بكسل)
شاشة قياسية (640)´480 بكسل)
شاشة صورة مزدوجة (640 ´480 بكسل)لا2) ، خلط الإشارة

وضع المسح الضوئي التلفزيون / FAST

: بطيء

مساحة مخفضة (320)لا240 بكسل)

: شكل الموجة

: شاشة مقسمة / مكبر مزدوج

: التقاط الصور عالية الوضوح (أقصى 2560 ′1920 بكسل)

: التقاط صورة تكامل الإطار (أقصى 2560 "1920 بكسل)

سرعة المسح الضوئي : مسح تلفزيوني
(640لا480 بكسل، 25/30 * إطارات / ثانية.)

: مسح سريع
(شاشة كاملة: 6.3 / 7.5 * إطارات / ثانية.)

: مسح بطيء
(شاشة كاملة: 1، 4، 20/16، 40/32، 80/64 * ثانية / إطار)
(640لا480 بكسل: 0.5، 2، 10/8، 20/16، 40/32 * ثانية / إطار)

: تقليل مسح المنطقة
(320لا240 بكسل: 25/30,3/4 * إطار / ثانية.)
* تردد إمدادات الطاقة: 50 / 60Hz

وظائف التكيف التلقائي

: السطوع التلقائي والتباين (ABCC)

: التحكم التلقائي في التركيز (AFC)

: الوصم التلقائي والتركيز (ASF)

: تشبع الخيوط التلقائي (AFS)

: محاذاة الشعاع التلقائي (ABA)

: إعداد الشعاع التلقائي (ABS)
(AFS + ABA + تحيز البندقية التلقائي)

وظائف معالجة الإشارات والصور

: تحسين نسبة S / N عن طريق المتوسط (التلفزيون ، مسح سريع)

تحسين نسبة S / N عن طريق دمج البيكسل

: تحسين نسبة S / N عن طريق دمج الإطار
(الحد الأقصى لإطارات التكامل: 1024) (تلفزيون، سريع، بطيء 1)

: عرض صورة مركبة ثنائية اللون
(في الوقت الحقيقي على وضع عرض الصورة المزدوجة / حفظ الصورة)

: عرض لون زائف (حفظ الصورة)

: معالجة الصور في الوقت الحقيقي
(التباين العكسي، التحكم في غاما)

: عرض الرسم البياني في الوقت الحقيقي

معالجة الصورة لحفظ الصورة
(التباين العكسي ، التحكم في غاما ، التسوية ، تعزيز الحافة ، إلخ.)

حفظ الصورة حجم حفظ الصورة
(640لا480 بكسل، 1280960 بكسل، 25601920 بكسل، 5120لا3840 بكسل)

تنسيق ملف الصورة: BMP ، TIFF ، JPEG

طباعة الصورة : وظيفة طباعة تخطيط مجانية في القياسية

إدارة حفظ الصورة

: مدير بيانات SEM (قاعدة بيانات الصورة) في القياسية
(إدارة البيانات ، عرض الصور المصغرة ، وظائف معالجة الصور المختلفة)

وظائف أخرى : فرغ الشعاع عندما يتم تجميد الصورة.

: دوران الشبكة

: التركيز الديناميكي / تعويض الميل

: عرض البيانات (رقم الصورة ، تسريع الجهد ، التكبير ، علامة الميكرون ، الوحدة ، WD ، التاريخ والوقت ، الضغط ، الكاشف)
عرض البيانات قابل للاختيار بين مع ودون صورة

:إدخال البيانات[الأرقام (الدائرة، المستطيلة، السهم، خط القياس) ، الأحرفو

: وظيفة قياس سهلة (المسافة بين نقطتين ، وخطوط القياس مع السهم)

: دليل الصيانة الرسوم المتحركة ثلاثية الأبعاد

نقل الصورة إلى كوارتز التصوير PCI

وظيفة وضع الأشعة السينية : محطات إشارة الإدخال لمقياس معدل الأشعة السينية (0 - + 10V) وMapping (TTL)

: وضع المسح الضوئي (تحليل الخط ، تحليل البقع ، تحليل متوسط التركيز)

: واجهة DBC (خيار)

منفذ الاتصال للمعدات الخارجية

واجهة: USB

: واجهة الشبكة (إيثرنت) ، الإعداد هو في الخيار.

إشارة VTR: إشارة NTSC الأسود والأبيض فقط (BNC) ، صورة في وضع العرض القياسي فقط.

(6) جهاز السلامة

: محمية ضد انقطاع الطاقة ، التسرب الحالي وفشل الفراغ.

(7) Dimensionand الوزن