نوع جديد من شوتكي ميدان الانبعاثات المسح المجهر الالكتروني su7000

نوع جديد من شوتكي ميدان الانبعاثات المسح المجهر الالكتروني su7000
- إمكانية الحصول على معلومات عن العينات وإجراء تحليل عالي الإنتاجية

شوتكي ميدان الانبعاثات المسح المجهر الالكتروني ( sfsem ) su7000 ، الذي يقصر الوقت للحصول على معلومات متعددة من العينات من خلال جمع العديد من الإشارات ، يدرك حقا مراقبة وتحليل تدفق عالية .

سو 7000

مجهر مسح بالإلكترون ( SEM ) يمكن الحصول على معلومات مختلفة من البنية المجهرية إلى تكوين من خلال الكشف عن إشارات من الإلكترونات الثانوية ، ارتداد مبعثر الإلكترونات ، والأشعة السينية ، وما إلى ذلك ، والتي يتم تطبيقها على نطاق واسع في العديد من المجالات مثل تكنولوجيا النانو ، أشباه الموصلات ، الأجهزة الإلكترونية ، علم الأحياء ، والمواد ، وهلم جرا . جنبا إلى جنب مع توسيع نطاق تطبيق SEM ، المزيد من الطلب على تقصير وقت المراقبة وسرعة وكفاءة جمع الإشارات المقترحة .
su7000 يستخدم تصميم جديد للكشف عن ، مما يجعل من الثانوية الالكترونية إشارة ، إشارة الكترونية ارتداد مبعثر الكشف والفصل بين القدرة على زيادة كبيرة . في الماضي ، ونحن ضبط المسافة بين العينة و العدسة ( WD ) حسب الإشارات التي تم الحصول عليها من أجل تحديد أنسب حالة المراقبة والتحليل ، في حين أن su7000 يمكن الحصول على أنواع مختلفة من الإشارات بكفاءة دون تغيير WD ، وتقصير وقت المراقبة والتحليل ، وتحسين كفاءة الاختبار .
وعلاوة على ذلك ، تم تكوين واجهة عرض su7000 6 قنوات في وقت واحد ( 4 قنوات في وقت واحد فقط في الجيل السابق من النماذج ) ، وتحسين نظام مراقبة SEM ، إلى حد كبير تحسين سرعة الحصول على إشارة ، وبالتالي تحقيق مراقبة تدفق عالية من العينات .
نماذج المنفعة هي أيضا معيار مع عينة كبيرة الحجم مخزن ، بالإضافة إلى ذلك قدمت مع ملحق واجهة ، والتي يمكن استخدامها لمراقبة وتحليل مختلف العينات .
هيتاشي التكنولوجيا الفائقة سيتم عرضها في " microscopy & microanalysis " في ولاية ماريلاند في الفترة من 5 أغسطس ( الأحد ) إلى 9 أغسطس ( الخميس ) و " جاسيس 2018 " في مركز شوتشانغ للمعارض ( تشيبا ) في الفترة من 5 سبتمبر ( الأربعاء ) إلى 7 سبتمبر ( الجمعة ) ، ومن المتوقع أن تصل المبيعات العالمية السنوية إلى 150 وحدة .
هيتاشي مرحبا التكنولوجيا نظام إدارة الأعمال في عام 2020 لتصبح أول صناعة المجهر الإلكتروني في العالم كهدف استراتيجي على المدى المتوسط ، في المستقبل سوف لا تزال تبذل قصارى جهدها لتعزيز تطوير المنتجات والتسويق ، والسعي إلى جعل أكبر مساهمة في الصناعة التحويلية العالمية . كما متقدمة ومتقدمة المشاريع المبتكرة ، من الآن فصاعدا ، من أجل أن تصبح التكنولوجيا العالية وتوفير الحلول للشركات العالمية من الدرجة الأولى ، ودائما يقف في موقف العملاء ، وسرعة تلبية احتياجات العملاء في السوق .

[ السمات الرئيسية ]
1 . تحت نفس ود الشرط ، الإلكترون الثانوي ، ارتداد مبعثر الملاحظة والتحليل بالأشعة السينية يمكن أن تتحقق في وقت واحد .
2 . يمكن تحقيق ما يصل إلى 6 قنوات الكشف وعرض في وقت واحد
3 . يمكن الحصول على بيانات الصورة في أقصى بكسل 10 ، 240 × 7 ، 680 .
4 . شكلي أكثر من 18 مرفقات في نفس المستوى * الأجهزة
5 . انخفاض فراغ وضع دعم الحد الأدنى من 300pa ( اختياري )
* القرار المكانية أقل من 1 نانومتر / 1 كيلو فولت

[ المواصفات الرئيسية ]

مفهوم رئيسي

1. قدرة التصوير متعددة الاستخدامات
   تتميز SU7000 في الحصول السريع على إشارات متعددة لتلبية احتياجات SEM الواسعة ، من التصوير لمجال عرض واسع إلى تصور الهياكل دون النانومترية وكل شيء بينها.
   ويتيح دمج أنظمة البصريات الإلكترونية والكشف المصممة حديثاً الحصول على إشارات إلكترونية ثانوية متعددة وإشارات إلكترونية منتشرة بشكل متزامن بكفاءة.
2. التصوير متعدد القنوات
   ويزداد عدد الكاشفات المثبتة على جهاز SEM باستمرار، إلى جانب الحاجة إلى عرض جميع المعلومات المجمعة بفعالية.
   SU7000 قادر على معالجة وعرض وحفظ ما يصل إلى 6 إشارات في وقت واحد لتحقيق أقصى قدر من اكتساب المعلومات.
3. مجموعة واسعة من تقنيات المراقبة
   يتم تحسين غرفة العينات ونظام الفراغ لـ:
   ・ حجم عينة كبيرة
   ・ التلاعب بالعينة على محاور مختلفة
   ・ ظروف الضغط المتغيرة
   ・ ظروف التبريد
   ・ رصد التدفئة والتبريد في الموقع
4. التحليل الدقيق
   تم تجهيز بندقية الإلكترونات بمبعث شوتكي الذي يوفر ما يصل إلى 200 nA من تيار شعاع لاستيعاب تطبيقات التحليل الدقيق المختلفة.
   تم تصميم غرفة العينات وتخطيط الميناء لدمج خيارات تحليلية متعددة بما في ذلك EDX و WDX و EBSD و cathodoluminescence وأكثر من ذلك.
   يوحد SU7000 مع مزيج من العديد من الملحقات التحليلية تقنيات متعددة التخصصات في منصة واحدة.

أداء التصوير

تحسين اكتساب المعلومات

التصوير متعدد الإشارات بمسح واحد

عينة: قضبان الذهب المغطاة العضوية

عينة من: السيد سمارت والسيدة جيه قسم الكيمياء،
كلية فاسار

اكتساب صورة متزامنة للمعلومات الهيكلية الدقيقة السطحية (UD) ، والطلاء السطحي (MD) ، والمعلومات الطوبوغرافية الشاملة (LD). جهد التسارع: 1 كيلو فولت

واجهة مستخدم رسومية بديهية

عرض إشارة محسنة

• أوضاع عرض قابلة للتخصيص.
• تكوينات شاشة واحدة ومزدوجة.
• عرض صورة متزامن يصل إلى 4 قنوات (فردية) و 6 قنوات (مزدوجة).
• نطاق الغرفة وخريطة SEM للملاحة المرحلية البصرية.

تخطيط شاشة مرنة للغاية

البرنامج قادر على عرض إشارات 1 أو 2 أو 4 بما في ذلك نطاق الغرفة أو SEM MAP على شاشة واحدة.
بالإضافة إلى ذلك، يمكن تخصيص لوحة التشغيل لعرض القوائم الفرعية في أي مكان على الشاشة.

شاشة مزدوجة

يمكن استخدام الشاشة الأولى كشاشة صورة مخصصة بينما يتم استخدام الشاشة الثانية للتشغيل.
يتم عرض خمس صور للكاشف (UD، LD، UVD، MD، و PD-BSED) و SEM MAP للإدراجات غير المعدنية في عينة فولاذية (يسار).
تظهر الشاشة قائمة لوحة التشغيل ونافذة الصورة المصغرة على شاشة واحدة (يمين).
تدعم تكوين الشاشة المزدوجة زيادة الإنتاجية مع توسيع w

الملاحظة والتحليل القابلين للتوسع

غرفة عينة كبيرة ومرحلة كبيرة

غرفة العينات يمكن أن تستوعب عينة طويلة من φ 200 مم أو 80 مم في الارتفاع و 18 منفذ ملحق. المرحلة الكبيرة تسافر 135 مم (X) × 100 مم (Y) ويمكن أن تقبل ما يصل إلى 2 كيلوغرام من العينة.^{( * )}يمكن تثبيت عينة كبيرة أو نوع متغير من المراحل الفرعية بسهولة على باب المسرح الكبير المفتوح أمام.

(*) عند ميل 0 درجة

الملاحة الكاميرا^{( * )}

يسار: صورة العينة التي التقطتها الكاميرا المجهزة داخل الغرفة.
يمين: يتم نقل صورة الكاميرا إلى شاشة SEM MAP للتنقل.

تربط ميزة الملاحة بالكاميرا الصورة البصرية بمنطقة المراقبة المستهدفة.
الكاميرا المثبتة في غرفة العينة تلتقط صورة العينة في وقت إدخال العينة. يتم نقل الصورة إلى شاشة SEM MAP لواجهة التنقل المدفوعة رسوماً.
تدعم الملاحة الكاميرا الحد الأقصى لعينة φ 100 مم.

( * )

وظيفة الملاحة الكاميرا اختيارية

نظام الكشف الذي يتيح المراقبة الديناميكية

يدعم جهاز SU7000 المراقبة في ظروف بيئية مختلفة. مجموعة متنوعة من الكاشفات^{( * )}مثل UVD و MD يمكن اختيارها بالإضافة إلى PD-BSED للمراقبة في ظروف الفراغ المنخفض.

اختيار الكاشف تحت ظروف الفراغ المنخفض
عينة: ألياف مع أكسيد معدني
اليسار: صورة MD (إلكترون منتشر خلفي)
يمين: UVD (صورة SE)
يتم ملاحظة تشتت الأكسيد وحالة طبقات الألياف على التوالي.

يسار: استجابة PD-BSED التقليدية بمعدل المسح الضوئي 30 ms x 64 إطار
يمين: صورة SU7000 PD-BSED تظهر تحسين الاستجابة وجودة الصورة لتوسيع قدرة المراقبة في الموقع