البلازما النقش الجاف ( ICP / CCP ) نظام

pluto-e100 نوعالبلازما النقش الجاف ( ICP / CCP ) نظامهو منخفضة التكلفة ، ومناسبة لمعهد البحوث العلمية والمختبرات سطح المكتب معدات البحث العلمي ، فإن الغرض من النظام برمته هو 4 بوصة أو أقل من العينات الجافة الحفر . ويتألف النظام من دائرة رد الفعل ، نظام فراغ ، الترددات اللاسلكية نظام رد فعل نظام الغاز ، والأجهزة الكهربائية ، والبرمجيات ، وهلم جرا .

النظام برمته هو برنامج التحكم الآلي ، ودعم إعداد recipe ، ودعم العديد من الخطوات العملية من القدرة على التشغيل الآلي . المعدات مع التعشيق ، انقطاع التيار الكهربائي الذاكرة ، التنبيه التلقائي ، الجزيئية مضخة الحماية وغيرها من مهام الحماية الأمنية . من أجل ضمان المرونة في المعدات ، ونحن حجز بعض ترقية الفضاء .

البلازما النقش الجاف ( ICP / CCP ) نظامالمعلمات التقنية :

1 . دائرة رد الفعل : t6060 سبائك الألومنيوم ، ومناسبة لعينات من 4 بوصة أو أقل .

2 - نظام فراغ يتكون من مضخة الجزيئية والميكانيكية مضخة ، نظام قياس فراغ يستخدم مقياس الضغط بالسعة .

3 . المعدات مجهزة 1000W 13.56mhz الترددات اللاسلكية السلطة ، التلقائي الترددات اللاسلكية الترددات اللاسلكية كابل مطابقة ، فضلا عن وصلات مخصصة ؛

4 - مجهزة 4 رد فعل الغاز ، تصل إلى 6 ؛

برنامج المقارنات الدولية البلازما آلة الحفر هو نظام التحكم الآلي ، الذي يتحقق من خلال المجلس التشريعي الفلسطيني ، الكمبيوتر الصناعية و برامج التحكم .

البلازما النقش الجاف ( ICP / CCP ) نظاممجال التطبيق :

الدقيقة : النقش البلازما تستخدم على نطاق واسع في تصنيع الدوائر المتكاملة ، رقاقة تصنيع الهياكل الدقيقة في الدوائر ، مثل الترانزستورات والمكثفات ، فضلا عن إصلاح أو تعديل المعدات الالكترونية على رقاقة .

البلازما النقش التكنولوجيا يمكن استخدامها في تصنيع الأجهزة البصرية ، مثل الألياف البصرية ، الدليل الموجي البصري ، الخ . من خلال التحكم في الطاقة والكثافة من البلازما ، المطلوب هيكل وشكل يمكن تشكيلها على المواد البصرية .

البلازما النقش آلة يمكن استخدامها لتصنيع الهياكل الدقيقة والأجهزة في الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة ( ممس ) ، مثل أجهزة الاستشعار الصغيرة ، وأجهزة الاتصالات اللاسلكية ، مايكرو نظام الحركة الميكانيكية ، الخ .

البلازما النقش يستخدم لصنع أنماط على القناع و إصلاح أو تعديل الهياكل الدقيقة على القناع .

التطبيقات الطبية الحيوية : النقش البلازما يمكن أن تستخدم في مجال الطب الحيوي ، مثل تصنيع رقائق ميكروفلويديك ، biochips ، الخ .

تكنولوجيا النانو : النقش البلازما يمكن استخدامها في تصنيع المواد النانومترية ، مثل أنابيب نانو الجسيمات ، وما إلى ذلك من خلال التحكم في تكوين البلازما و رد الفعل ، لتحقيق دقة تعديل ومراقبة المواد .

في عملية تصنيع الرقائق ، النقش البلازما آلة يستخدم غاز الفلوروكربونية على خط النقش رقاقة السيليكون ، نيتريد السيليكون النقش و إزالة مقاومة للضوء . من خلال تعديل تكوين الغاز ، حفر عمق يمكن السيطرة عليها بدقة ، وبالتالي تحقيق عالية الدقة الحفر على مستوى ميكرون .