الحزب الشيوعي الصيني البلازما آلة الحفر

قابلة للتفاوضتحديث01/14

نموذج

طبيعة المصنع: المنتجين

فئة المنتج

مكان المنشأ

استشارة عبر الإنترنت

نظرة عامة

الحزب الشيوعي الصيني البلازما آلة الحفر ( plasma-etcher ) هو نوع من المعدات التي تستخدم عادة في مجال تصنيع النانو الصغيرة ، وتستخدم في تصنيع أشباه الموصلات ، والمكونات البصرية ، biochip وغيرها من المواد غرامة نمط التعريف . على أساس تكنولوجيا البلازما ، البلازما المتولدة من خلال تفريغ الغاز ، سطح المواد الكيميائية والفيزيائية النقش تتم باستخدام الأيونات و الجذور الحرة في البلازما .

تفاصيل المنتج

1 - إدخال الغاز ( مثل الغاز المفلورة ) في دائرة رد الفعل ، من خلال الترددات اللاسلكية ( اللاسلكية ) مصدر الطاقة أو الميكروويف مصدر الغاز التفريغ . المجال الكهربائي والطاقة المتولدة في عملية التفريغ تثير جزيئات الغاز على شكل البلازما .

2 - جزيئات الغاز متحمس في الأنواع النشطة مثل الأيونات ، الإلكترونات ، والجذور الحرة . هذه الأنواع النشطة تتفاعل مع سطح المواد الكيميائية ، مثل الفلورة ، والأكسدة ، سيليسيد ، وهلم جرا ، وبالتالي تغيير سطح الخواص الكيميائية .

3 . الأيونات والجذور الحرة تطبيق الطاقة على سطح المواد ، مما يؤدي إلى إزالة الذرات أو الجزيئات على سطح المواد . هذه عملية النقش المادية تدريجيا تجريد سطح المواد ، وتحقيق غرامة تجهيز المواد والتعريف نمط .

4 . انتقائية النقش على مواد مختلفة يمكن أن تتحقق من خلال التحكم في نوع الغاز ، أداء السلطة ، دائرة رد الفعل الضغط . على سبيل المثال ، انتقائية النقش على السيليكون ، نيتريد السيليكون ، وأكسيد السيليكون وغيرها من المواد يمكن أن تتحقق .

5 - نظام فراغ ، نظام التحكم في درجة الحرارة ، ونظام التحكم في تدفق الغاز وغيرها من المهام المساعدة عادة ما تكون مجهزة لضمان الاستقرار والتحكم في عملية النقش .

الحزب الشيوعي الصيني البلازما آلة الحفر winetch هو ارتفاع نسبة الأداء إلى السعر نظام الحزب الشيوعي الصيني البلازما مصممة لتلبية احتياجات العملاء في مجال البحث والتطوير . كما نظام متعدد الوظائف ، فإنه يحصل على الأداء العالي المدونة النقش التكنولوجيا من خلال الاستفادة المثلى من تصميم النظام ومرنة التكوين . فائدة نموذج يحتوي على مزايا البنية المدمجة ، صغيرة المساحة المحتلة ، عملية مريحة وآمنة ، عملية مستقرة وجيدة التكرار بسبب التصميم الميكانيكي و التشغيل الآلي الأمثل البرمجيات .

الحزب الشيوعي الصيني النقش هو نوع من التكنولوجيا المستخدمة على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات ، الأجهزة البصرية ، biochip التصنيع . المبدأ هو استخدام عالية التردد بالتناوب الحقل الكهربائي لإنتاج البلازما ، البلازما في إطار العمل من سطح المواد الكيميائية والفيزيائية الاصطدام ، وبالتالي تحقيق المواد النقش .

إن winetch النقش نظام الحزب الشيوعي الصيني البلازما آلة الحفر يولد عالية الكثافة البلازما من خلال اقتران بالسعة ( CCP ) واسطة ، يدرك انتقائية النقش على المواد العازلة ( على سبيل المثال ، أكسيد السيليكون ، نيتريد السيليكون ، SiNX ، الخ ) حسب نمط قناع ( على سبيل المثال ، مقاومة للضوء قناع ) .

نظام المدونة يتكون أساسا من الأجزاء التالية : دائرة رد الفعل ، وانخفاض الطاقة ، رئيس الرش ( السلطة ) ، الترددات اللاسلكية السلطة ، نظام فراغ ، فراغ الغرفة ، نظام مسار الغاز ، ونظام التحكم والبرمجيات والاكسسوارات .

Winetch النقش البلازما آلة ميزات المنتج :

- النقش جيدة المظهر والأداء التكنولوجي *

- ارتفاع نسبة انتقائية ، وارتفاع معدل النقش

- انخفاض تكاليف الملكية والاستهلاك

Winetch النقش البلازما آلة المعلمات التقنية :

رقاقة الحجم : 6 / 8 بوصة متوافقة

عملية مناسبة : البلازما النقش

تطبيق المواد : SiO2 ، Si3N4 ، الخ . MEMS、 أجهزة السلطة ، والبحث العلمي ، الخ .

منتج مماثل يوصي