الأشعة تحت الحمراء ellipsometry يحلل الخصائص البصرية من خلال التفاعل بين الضوء المنعكس و سطح المواد . عندما الأشعة تحت الحمراء مصدر الضوء المشع ، استقطاب الضوء ينعكس على سطح المواد سوف تتغير من خلال قياس استقطاب الضوء المنعكس من المعلومات ، ellipsometry يمكن حساب معامل الانكسار ، معامل الامتصاص ، سمك وغيرها من المعالم المادية من المواد . بالمقارنة مع التقليدية تكنولوجيا القياس البصرية ، نماذج المنفعة ومزايا حساسية أعلى ، ويمكن الكشف عن التغيرات الصغيرة في المواد السطحية أو حتى السطح الفرعي .
متعددة الوظائف الأشعة تحت الحمراء ellipsometry ينعكس في أنه يمكن تلبية متطلبات مختلف المجالات ، ويمكن قياس وتحليل مختلف الكميات الفيزيائية . وفيما يلي خصائص متعددة الوظائف في تطبيقات مختلفة :
1 . متعددة زاوية قياس وظيفة
عادة ما يكون متعدد زاوية قياس وظيفة . وهذا يعني أنه يمكن للمستخدم الحصول على أكثر شمولا من المعلمات البصرية عن طريق ضبط زاوية السقوط و قياس الانعكاس الكلي خصائص المواد . هذا له أهمية كبيرة في دراسة الفيلم البصرية ، متعدد الطبقات هيكل ، خشونة السطح ، وهلم جرا .
2 . دعم مصدر الضوء واسعة النطاق
عادة ما تكون مجهزة واسعة النطاق مصدر الضوء الذي يغطي عدة نطاقات من الأشعة تحت الحمراء القريبة إلى الأشعة تحت الحمراء البعيدة . هذا يجعل من الأشعة تحت الحمراء ellipsometry قادرة على إجراء تحليل متعدد الطول الموجي ، واختبار الخصائص البصرية من العينات في أطوال موجية مختلفة ، والتكيف مع متطلبات مواد مختلفة . على سبيل المثال ، بعض المواد قد تختلف في السلوك البصري في نطاقات ترددية مختلفة ، ويمكن أن توفر تحليلا دقيقا ، مما يساعد الباحثين على الحصول على بيانات أكثر دقة البصرية .
3 . عالية الدقة قياس سمك
دقة عالية يمكن أن تقدم في قياس سماكة الفيلم . من خلال تحليل التغيرات في المرحلة والسعة من الضوء المنعكس ، ellipsometry يمكن قياس سماكة الفيلم بدقة غير مدمرة ، وحتى رقيقة جدا نانومتر الأفلام . هذا له أهمية كبيرة في تصنيع أشباه الموصلات ، طلاء البصرية ، الخلايا الشمسية وغيرها من المجالات .
4 . تحليل السطح مع حساسية عالية
حساسية عالية يجعل من الممكن إجراء تحليل السطح في مجموعة صغيرة ، حتى يمكن الكشف عن العيوب السطحية الصغيرة ، وأكسيد طبقة ، طبقة واجهة ، وهلم جرا . من المهم جدا مراقبة جودة سطح المواد ، فيلم التوحيد الكشف . في بعض الصناعات التحويلية عالية الدقة ، مثل الالكترونيات الدقيقة والالكترونيات البصرية ، ellipsometry يمكن أن توفر البيانات الرئيسية لمراقبة الجودة .
5 - الاختبارات غير المدمرة
فائدة نموذج يحتوي على مزايا اختبار غير تدميري . وهذا يعني أن ellipsometry يمكن قياسها دون الإضرار عينة ، وخاصة بالنسبة للمواد الثمينة ، فيلم عينات أو عينات لا يمكن قطع مباشرة في بيئة الإنتاج الفعلي .
6 - تحليل البيانات في الوقت الحقيقي وردود الفعل
عادة ما تكون مجهزة منصة البرمجيات المتقدمة ، يمكن عرض وتحليل البيانات في الوقت الحقيقي ، وحتى دعم التغذية المرتدة في الوقت الحقيقي وتعديل البيانات . هذا أمر مهم جدا من أجل مراقبة الجودة على خط الانتاج ، وتطوير المواد ، وما إلى ذلك المشهد الذي يحتاج إلى قرار سريع . من خلال تحليل البيانات في الوقت الحقيقي ، يمكن للباحثين العثور على المشاكل في الوقت المناسب وإجراء تعديلات لتحسين الكفاءة والدقة .
الأشعة تحت الحمراء ellipsometry أصبحت أداة هامة في البحوث العلمية الحديثة والتطبيقات الصناعية بسبب دقة عالية ومتعددة الوظائف . من تحليل السطح من المواد إلى دراسة هيكل متعدد الطبقات رقيقة ، من قياس سماكة عالية الدقة اختبار غير تدميري ، فإنه يوفر الدعم التقني القوي في جميع مناحي الحياة .