بيضاوي الشكل المستقطب ، مثل دقة القياس البصرية ، وتستخدم على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات ، والأفلام البصرية ، علم المواد ، وتكنولوجيا النانو وغيرها من المجالات . وظيفتها الرئيسية هي حساب سمك العينة ، معامل الانكسار و الثوابت البصرية من خلال قياس استقطاب الضوء المنعكس أو نقل الضوء . لأن ellipsometry ينتمي إلى أداة عالية الدقة ، وقياس النتائج تتأثر بسهولة من قبل العوامل البيئية الخارجية ، وبالتالي فإن التكيف البيئي يصبح مؤشر هام على أداء وموثوقية الصك .
القدرة على التكيف البيئي يشير إلى قدرة القطع الناقص المستقطب على الحفاظ على الاستقرار ودقة القياس في مختلف البيئات التجريبية والصناعية . أما عن أجهزة القياس البصرية ، والقدرة على التكيف البيئي لا ينطوي فقط على الاستقرار في درجة الحرارة ، الرطوبة ، والاهتزاز ، ولكن أيضا القدرة على تحمل تلوث الهواء ، مصدر الضوء و التداخل الكهرومغناطيسي . أداة عالية القدرة على التكيف مع البيئة يمكن أن تقلل من تأثير الاضطرابات الخارجية على البيانات ، وتحسين قياس التكرار والموثوقية ، ولا سيما في خط الانتاج الصناعي ، في الهواء الطلق اختبار أو قياس عينة كبيرة ، والقدرة على التكيف مع البيئة هو المفتاح .
وفيما يتعلق بالعوامل البيئية ، يمكن للمصنعين والمستخدمين أن يتخذوا تدابير مختلفة لتحسين القدرة على التكيف البيئي لأجهزة استقطاب القطع الناقص :
1 . التحكم في درجة الحرارة ودرجة حرارة ثابتة تصميم
مختبر درجة حرارة ثابتة : وضع الصك في مختبر التحكم في درجة الحرارة ، وضمان درجة الحرارة تقلب أقل من ± 1 ℃ . . . . . . .
المدمج في التحكم في درجة الحرارة : بعض الصكوك مجهزة مع جهاز التحكم في درجة الحرارة ، درجة حرارة ثابتة إدارة العناصر البصرية الرئيسية ، والحد من التمدد الحراري مصدر الضوء الطول الموجي الانجراف .
2 - مراقبة الرطوبة
البيئة الجافة : الحفاظ على الهواء الجاف حول الصك ، وتجنب التكثيف على سطح العنصر البصري .
moistureproof تصميم : عنصر بصري يعتمد moistureproof طلاء أو ختم هيكل ، والحد من تأثير الرطوبة على دقة القياس .
3 . تصميم مقاومة الاهتزاز
امتصاص الصدمات الجدول : استخدام الهواء العائمة أو مرنة امتصاص الصدمات الجدول للحد من الاهتزازات الخارجية التي تنتقل إلى الصك .
الهيكل الأمثل : هيكل الميكانيكية الداخلية من الصك يعتمد تصميم ثابت ، والحد من انحراف مسار الضوء .
4 - التنظيف والغبار
مختومة ضوء الطريق : اعتماد تصميم مختومة ضوء الطريق ، والحد من دخول الغبار .
التنظيف العادية : تنظيف وصيانة المكونات البصرية بانتظام لضمان نفاذية الضوء .
5 - الدروع الكهرومغناطيسية
التدريع مربع : المكونات الإلكترونية الرئيسية تعتمد التدريع مربع تصميم للحد من التداخل الكهرومغناطيسي .
الابتعاد عن مصدر التشويش : الصك يجب أن تكون بعيدة قدر الإمكان عن منطقة قوية الموجات الكهرومغناطيسية لضمان استقرار القياس .
تحسين التكيف البيئي هو المفتاح لضمان دقة القياس والاستقرار . من خلال التحكم في درجة الحرارة ، والرطوبة ، وامتصاص الصدمات ، والتنظيف ، والغبار واقية من الكهرومغناطيسية التدريع ، بيضاوي الشكل المستقطب يمكن الحفاظ على دقة عالية وموثوقية عالية في بيئة معقدة .