هناك العديد من الطرق لمعايرة ellipsometry الطيفية ، والتي تعتمد على نوع الجهاز و متطلبات الشركة المصنعة . وفيما يلي عدة طرق المعايرة المشتركة :

1 . مصدر الضوء المعايرة

مصادر الضوء المستخدمة قد تضعف مع زيادة استخدام الوقت ، لذلك فمن الضروري للتحقق من أداء مصادر الضوء بانتظام . معظم ellipsometers توفير مصدر الضوء كثافة المعايرة ، والتي عادة ما تستخدم معيار يعكس عينة ( على سبيل المثال ، معدنية تعكس المعايير ) لضمان استقرار مصدر الضوء كثافة في مجموعة من الطول الموجي .

2 . أداة معايرة زاوية

مبدأ ellipsometry هو الحصول على المعلومات البصرية من خلال قياس الاستقطاب بين الحادث زاوية شعاع الضوء المنعكس من العينة . يجب على المستخدم التحقق بانتظام ما إذا كانت زاوية السقوط ويقابل ، لا سيما بعد نقل المعدات أو بعد فترة طويلة من الاستخدام . طريقة المعايرة المشتركة هو استخدام عينة قياسية مع زاوية الانعكاس المعروفة ومعايرة زاوية من خلال أداة البرمجيات .

3 . معايرة كاشف

كاشف معايرة أساسا لضمان أن تعكس الضوء إشارة يمكن أن تكون وردت بشكل صحيح ومعالجتها . أداء كاشف قد تتغير بسبب الشيخوخة من أجهزة الاستشعار أو التغيرات البيئية مثل درجة الحرارة والرطوبة . من المهم جدا للتأكد من الاستقرار على المدى الطويل من كاشف لفحص ومعايرة استجابة خطية و مستوى الضوضاء بشكل دوري .

4 - معايرة العينات القياسية

العينات القياسية عادة ما تكون المواد المعروفة الثوابت البصرية ( على سبيل المثال ، رقائق السيليكون ، والمعادن تعكس المعايير ، أو الزجاج ) . الغرض من هذه العينات القياسية هو مساعدة المستخدمين على معايرة البارامترات الرئيسية مثل الانعكاس و مرحلة التغيير من خلال مقارنة مع البيانات المعروفة . في عملية المعايرة ، يحتاج المستخدمون إلى قياس الضوء المنعكس من عينة القياسية ، ومقارنة البيانات المقاسة مع معروف الثوابت البصرية ، وضبط إعدادات الصك ، وضمان أن قياس القيم تتفق مع القيم القياسية .

ellipsometry الطيفية هو نوع من أداة دقيقة ، وحسن الصيانة اليومية يمكن أن تطيل كثيرا من خدمة الحياة ، والحفاظ على دقة عالية قياس الأداء . وفيما يلي بعض توصيات الصيانة المشتركة :

1 . الحفاظ على نظافة

المكونات البصرية ( مثل المرايا ، العدسات ، الألياف البصرية ، وما إلى ذلك ) من السهل أن تكون مشمولة الغبار ، والنفط ، أو غيرها من الملوثات ، مما يؤدي إلى فقدان الإشارات الضوئية . يجب على المستخدم التحقق بانتظام وتنظيف هذه المكونات البصرية . عند التنظيف ، ورقة خاصة خالية من الغبار ، والهواء تهب أو بالموجات فوق الصوتية معدات التنظيف يمكن استخدامها لتجنب تلف العدسات والعدسات .

2 - منع التلوث البيئي

ارتفاع الطلب على البيئة ، ولا سيما درجة الحرارة والرطوبة والاهتزاز سوف تؤثر بشكل مباشر على نتائج القياس . من أجل ضمان استقرار الصك ، يجب على المستخدم وضع مجسم في درجة الحرارة والرطوبة البيئة المناسبة ، وتجنب وضع في درجة حرارة عالية أو الرطوبة الثقيلة قدر الإمكان . إذا لزم الأمر ، تكييف الهواء ، المرطب ، أو التحكم في درجة الحرارة معدات يمكن استخدامها للحفاظ على الظروف البيئية مستقرة .

3 . فحص مكونات الأجهزة بانتظام

تحقق بانتظام من مكونات الأجهزة ، بما في ذلك مصدر الضوء ، العاكس ، كاشف ، والمكونات الميكانيكية ، وما إلى ذلك لضمان التشغيل العادي . تحقق من سطوع مصدر الضوء ، تأكد من أن الكاشف ليس ملوث أو معطوب ، والتحقق من المسار البصري إذا كان معطوبا . على الأجزاء الميكانيكية ، تزييت بانتظام وضمان اتصال آمن من كل جزء .

4 - معايرة وتحديث البرمجيات

بالإضافة إلى التحقق من الأجهزة ، والبرمجيات تحتاج أيضا إلى تحديث بانتظام . العديد من البائعين بانتظام الافراج عن إصدارات جديدة من البرمجيات ، وتحسين وظائف أو إصلاح البق المعروفة . تركيب هذه التحديثات في الوقت المناسب يمكن أن تحسن أداء الجهاز وضمان التوافق مع أنظمة التشغيل الحديثة . معايرة البيانات يجب أن تبقى في البرنامج لتسهيل تتبع وتحديث .

كما عالية الدقة أداة تحليلية ، الطيفية ellipsometry هو مفتاح النجاح في التجربة . من خلال المعايرة الدورية والصيانة العلمية ، وخدمة الحياة من المعدات يمكن أن تكون طويلة ، معدل الفشل هو انخفاض ، وموثوقية النتائج التجريبية مكفولة . المستخدمين في الاستخدام اليومي ، ينبغي أن تظل قلقة بشأن المعدات ، في الوقت المناسب للعثور على المشاكل وحلها .