من خلال العمل التعاوني بين فراغ البيئة والتحكم في الغلاف الجوي ، فراغ فرن أنبوبي يمكن تحقيق دقة معالجة المواد في درجة حرارة عالية .
مبدأ العمل الأساسي
بناء بيئة فراغ
من خلال الجمع بين مضخة ميكانيكية والجزيئية مضخة الهواء ، فرن الضغط ينخفض إلى أعلى فراغ الدولة ( تصل إلى 10 ⁻ 3 باسكال ) ، على نحو فعال عزل الأكسجين وبخار الماء وغيرها من الشوائب ، وتجنب المواد في درجة حرارة عالية في الأكسدة ، تطاير أو التلوث . على سبيل المثال ، في تنقية المواد أشباه الموصلات ، فراغ البيئة يمكن أن تمنع إدراج الشوائب ، وتحسين نقاء المنتج إلى أكثر من 99.99 ٪ .
يمكن تنظيم الغلاف الجوي
حقن النيتروجين والهيدروجين والأرجون وغيرها من الغازات التي تسيطر عليها بدقة من خلال مقياس الجريان الشامل ، وبالتالي تشكيل الحد ، خامل أو أكسدة الغلاف الجوي . على سبيل المثال ، في المعادن مسحوق المعادن ، الهيدروجين في الغلاف الجوي يمكن أن تقلل من أكاسيد المعادن ، في حين أن النيتروجين في الغلاف الجوي يمكن أن تستخدم لحماية المواد غير المؤكسدة .
كفاءة التدفئة والتحكم في درجة الحرارة
عناصر التدفئة مثل كربيد السيليكون قضيب ، قضيب السيليكون والموليبدينوم ، وما إلى ذلك تستخدم لنقل الحرارة إلى أنبوب الفرن بالتساوي من خلال الإشعاع الحراري والحرارة التوصيل . مع معرف ذكي نظام التحكم في درجة الحرارة ، درجة الحرارة يتقلب في ± 1 ℃ لضمان الاتساق في معالجة المواد . على سبيل المثال ، في تلبد المواد متناهية الصغر ، دقة التحكم في درجة الحرارة يمكن أن تجنب نمو غير طبيعي من الحبوب ، وتحسين خصائص المواد .
ثانياً - المزايا التقنية الرئيسية
مادة حماية قوية
فراغ الغلاف الجوي حماية مزدوجة يمكن أن تقلل بشكل كبير من فقدان الأكسدة . مع مسحوق السيراميك تلبد ، على سبيل المثال ، في بيئة فراغ يمكن أن تزيد من كثافة المواد بنسبة 15 ٪ ، والحد من المسامية ، وتحسين الخواص الميكانيكية .
عملية مرنة للغاية
دعم متعدد درجة حرارة منطقة مراقبة مستقلة ( على سبيل المثال ، مزدوج درجة حرارة منطقة فرن الجسم ) ، في وقت واحد يمكن التعامل مع عينات من درجات حرارة مختلفة . الغلاف الجوي هو مزيج مرن ، والتي يمكن أن تلبي متطلبات الحد ، والأكسدة ، nitridation وغيرها من ردود الفعل المعقدة . على سبيل المثال ، في إعداد محفز ، الاتجاه تحميل العنصر النشط يمكن أن يتحقق عن طريق تبديل الغلاف الجوي .
توفير الطاقة وحماية البيئة فوائد ملحوظة
فراغ البيئة يقلل من فقدان الحمل الحراري ، مع جودة عالية مواد العزل الحراري ( مثل الكريستالات موليت الألياف ) ، واستهلاك الطاقة أكثر من 30 ٪ أقل من التقليدية فرن . لا عملية الاحتراق ، والقضاء على أكاسيد الكبريت والجسيمات الانبعاثات ، تمشيا مع معايير التصنيع الأخضر .
الأمن في المكان
مجهزة أكثر من درجة الحرارة التنبيه ، حماية تسرب الغاز ، والكشف عن تسرب الغاز وغيرها من أجهزة السلامة لضمان سلامة العملية . على سبيل المثال ، في الغلاف الجوي الهيدروجين ، يمكن للنظام في الوقت الحقيقي رصد تركيز الهيدروجين تلقائيا قطع إمدادات الغاز والبدء في العادم .
تطبيق نموذجي المشهد
البحث والتطوير من المواد الجديدة : توليف نانومتر المواد المركبة ، ومراقبة هيكل الكريستال الصرف .
تصنيع أشباه الموصلات : تنقية المواد القائمة على السيليكون ، والطلاء التكنولوجيا لضمان استقرار أداء الجهاز .
المعالجة الحرارية للمعادن : الدقة لحام الصلب ، وتحسين الخواص الميكانيكية للمواد .
الحفز الكيميائية : الناقل محفز تلبد ، العنصر النشط التحميل ، وتحسين كفاءة التفاعل .
فراغ فرن أنبوبي مع الغلاف الجوي من خلال تنظيم ومراقبة دقيقة من فراغ الغلاف الجوي ، جنبا إلى جنب مع كفاءة عالية التدفئة و التحكم في درجة الحرارة ذكي التكنولوجيا ، ويوفر حل موثوق بها من أجل إعداد المواد عالية النقاء ، عملية معقدة من ردود الفعل .