PECVD البلازما تعزيز ترسيب الأبخرة الكيميائيةعلى الرغم من أن العملية يمكن أن دقة بناء طلاء الفنية ، ولكن أيضا جنبا إلى جنب مع الأثر المحتمل على البيئة والأفراد ، تحتاج إلى تنفيذ نظام التحكم في التفكير .
الأثر البيئي يأتي أولا من استخدام عملية تصريف الغاز . عملية الترسيب غالبا ما تنطوي على سيلان ، الأمونيا والهيدروجين وغيرها من الغازات الخاصة ، بعض السامة أو القابلة للاشتعال ، أو تسرب غاز العادم مباشرة سوف تضر سلامة الغلاف الجوي والأفراد . البلازما التفريغ يمكن أن تنتج أيضا آثار ثانوية الجسيمات والمركبات العضوية المتطايرة ، إذا لم تعالج ، قد تلوث الهواء في مكان العمل والبيئة المحيطة بها . ثانيا ، تشغيل المعدات يتطلب استمرار استهلاك الطاقة ، واستهلاك الطاقة غير المباشرة الناجمة عن انبعاثات الكربون الضغط . إذا كان نظام التبريد لا إعادة تدوير المياه المعالجة ، وسوف تزيد من عبء الموارد المائية .
مفتاح التحكم هو الجمع بين إغلاق العملية برمتها مع نهاية العلاج . طبقة مزدوجة أنابيب تسرب الغاز المستخدمة في نقل الروابط لضمان تدفق المواد الخام في نظام مغلق ، والحد من خطر الهروب . رد فعل الدائرة يحافظ على الضغط السلبي في العملية ، غاز العادم يدخل وحدة المعالجة من خلال كفاءة عالية محاصرة ، المكونات الضارة يتم تحويلها إلى شكل غير مؤذية أو منخفضة الضرر ثم تفريغها من خلال حرق التحلل ، الامتزاز تنقية أو تحفيز التحول . عن الجسيمات الثانوية ، عالية الكفاءة فلتر يمكن تهيئتها لاعتراض لتجنب الانتشار إلى البيئة .
استهلاك الطاقة الأمثل هو أيضا مهم . من خلال تحسين كفاءة الترددات اللاسلكية مطابقة الإثارة البلازما ، فقدان الطاقة غير فعالة يمكن أن تنخفض . المعلمات العملية يمكن التحكم بدقة ، وتقصير وقت الترسيب على فرضية ضمان جودة الفيلم ، والحد من إجمالي مدخلات الطاقة . نظام التبريد يعتمد تداول مغلقة و استرداد الحرارة من النفايات للحد من استهلاك المياه والحرارة التفريغ . الحفاظ على مستوى المعدات ، والتحقق من الأختام بانتظام وتنظيف تجويف قاذورات ، ليس فقط الحفاظ على الاستقرار التكنولوجي ، ولكن أيضا لمنع تراكم المخاطر البيئية الكامنة في التسرب .
PECVD البلازما تعزيز ترسيب الأبخرة الكيميائيةومع ذلك ، فإنه يحتاج إلى إنشاء حلقة مغلقة بين المصدر والحد من عملية إغلاق نهاية العلاج . فقط من خلال دمج مفهوم الخضراء في عملية التصميم والتشغيل والإدارة ، يمكن أن تجعل هذه التكنولوجيا قادرة على تصنيع ، وفي الوقت نفسه تحقيق التعايش الودي بين البيئة والموظفين .