المسبار profilometer اتصالات سطح العينة من خلال التحقيق المادية لقياس micromorphology مع دقة عالية . المبدأ الأساسي هو أنه عندما يدقق في ( عادة ما تكون مصنوعة من الماس ، نصف قطرها انحناء 50 نانومتر إلى 25 ميكرون هو اختياري ) هو خدش على سطح العينة ، مايكرو سطح مقعر و محدب يجعل التحقيق تنتج الإزاحة العمودية . هذه التكنولوجيا يمكن أن ندرك 0.1nm عمودي القرار 0.05-0.2 μ م القرار الأفقي ، وقياس مجموعة تصل إلى 55 ملم ، تنطبق على رقاقة فيلم سمك ، خشونة السطح المعدني وغيرها من السيناريوهات .
ويمكن تلخيص العوامل التي تؤثر على الدقة في الأبعاد الأساسية التالية :
يدقق في المعلمة
نصف قطرها : على الرغم من أن نصف قطرها صغير جدا ( على سبيل المثال < 1 μ م ) يمكن أن تزيد من عرضية القرار ، فإنه من السهل على ارتداء وخدش المواد الناعمة ( على سبيل المثال ، مقاومة للضوء ، فيلم الألومنيوم ) ؛ نصف قطرها كبير جدا يقلل من القرار .
قياس القوة : يجب أن تسيطر على مستوى البقرة الصغيرة ( عادة 2-5mg ) ، أكثر من القوة العامة يؤدي إلى تشوه السطح من المواد الناعمة ، قوة صغيرة جدا قد يؤدي إلى سوء الاتصال . معدات عالية تعتمد قوة نظام التغذية المرتدة لضبط الضغط بشكل حيوي .
معايرة المعدات والتحكم في الحركة
خطأ المعايرة : تكرار ارتفاع الخطوة يجب التحقق بانتظام مع عينة القياسية ( على سبيل المثال ، 1 μ م خطوة ) ( 4 ) .
سرعة المسح الضوئي : سريع جدا ( > 1 ملم / ثانية ) قد يؤدي إلى انفصال التحقيق عن السطح أو توليد دينامية قياس القوة ، بطيئة جدا ، وانخفاض الكفاءة . نموذجي الأمثل سرعة 0.1-0.5mm / s .
دقة المرحلة : مرحلة المسح الضوئي باستخدام سوبر شقة كهرضغطية السيراميك محرك الأقراص ، لضمان س / ص اتجاه الترجمة فرق أقل من 0.1 μ م .
العوامل البيئية والتشغيلية
درجة الحرارة والرطوبة : تقلب درجة الحرارة ( ± 1 ℃ ) أو تغير الرطوبة ( ± 10 ٪ ره ) قد يؤدي إلى التمدد الحراري أو كهرباء تدخل في درجة حرارة ثابتة والرطوبة غرفة ( 16-25 ℃ / 30-40 ٪ ره ) العملية .
عينة العلاج : السطح يجب أن تكون نظيفة وخالية من التلوث النفطي ، وقياس الاتجاه يجب أن يكون عمودي على تجهيز الحبوب لتجنب توجيه الخطأ .