باعتبارها واحدة من الأدوات الحديثة في مجال قياس الدقة ، ودينامية تداخل الليزر يجمع بين الابتكارات في مجال البصريات والالكترونيات وعلوم الحاسوب . هذا النظام يدرك نانومتر قياس ديناميكية من خلال مبدأ تداخل الليزر ، ولها وظيفة لا غنى عنها في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، والبصريات الدقيقة فائقة الدقة بالقطع .
مبدأ القياس الأساسية
على أساس التداخل الضوئي ، وهو مصدر ليزر الهليوم نيون ( 632.8nm ) مع تردد ثابت يستخدم لتوليد إشارة الضوء وقياس الضوء من خلال شعاع الفاصل . عند قياس الضوء ينعكس من جسم متحرك و تتداخل مع إشارة الضوء ، الضوء والظلام هامش التغييرات التي تم التقاطها بواسطة حساسية عالية photodetector . . . . . . . الصيغ لحساب التشرد هي كما يلي :
ΔL = N × λ / 2
حيث ن هو هامش العد ، λ هو الليزر الطول الموجي . القرار λ / 1024 ( حوالي 0.6nm ) يمكن أن يتحقق باستخدام أربعة رباعي كاشف جنبا إلى جنب مع تقسيم الالكترونية تقنية .
اختراق التكنولوجيا الرئيسية
البيئة نظام التعويض : دمج الهواء في الوقت الحقيقي رصد معامل الانكسار وحدة تصحيح الأخطاء الناجمة عن التغيرات في درجة الحرارة ( ± 0.1 ℃ ) ، الضغط الجوي ( ± 1mbar ) و الرطوبة ( ± 5 ٪ ره ) من خلال صيغة إدلين ، والحد من تأثير الغلاف الجوي إلى أقل من 0.1 جزء في المليون .
تقنيات التتبع الحيوي :
تردد دوبلر التحول تتبع أكثر من 200 كيلو هرتز باستخدام البصرية أكوستو المغير ( أوم )
الرقمية حلقة مقفلة الطور ( PLL ) التكنولوجيا يضمن دقة نانومتر في 5 م / ث عالية السرعة الحركة .
تصميم مقاومة الاهتزاز :
العزلة الاهتزاز نشط منصة ( 6 درجات من الحرية )
المرحلة الضوئية قفل التكنولوجيا لتعويض انخفاض وتيرة الاضطرابات الاهتزاز
تطبيق نموذجي الأداء
في قياس photoetching آلة ، يمكن تحقيق ما يلي :
قياس مدى : 2M السكتة الدماغية
دينامية الدقة : ± 1nm ( ثابت ± 0.3nm )
سرعة التكيف : 0-2m / ق القياس المستمر
معدل أخذ العينات : 10MHz ( في الوقت الحقيقي تجهيز FPGA )
رابعاً - الاتجاهات التكنولوجية
نظام الجيل الجديد هو دمج :
الفيمتو تردد مشط التكنولوجيا لتحقيق قياس المسافة المطلقة
تحسين نسبة الإشارة إلى الضوضاء ( 90db ) من الكم نقطة الكاشف
منظمة العفو الدولية الخوارزمية في الوقت الحقيقي تعويض الخطأ غير الخطية
هذه التكنولوجيا يمكن أن تجعل التعرض لتحديد المواقع خطأ 300 ملم رقاقة السيليكون أقل من 2 نانومتر ، ودعم تطوير تكنولوجيا التصنيع أقل من 7 نانومتر . أحدث البحوث تشير إلى أن تطبيق تشابك الكم مصدر الضوء يمكن أن كسر حدود هايزنبرغ وتحقيق دينامية قياس subnanometer . . . . . . .