في صناعة أشباه الموصلات ، طلاء البصرية ، والطاقة الجديدة من المواد وغيرها من المجالات الصناعية الدقيقة ، فيلم سمك التوحيد والدقة مباشرة تحديد أداء المنتج والعائد . التقليدية قياس سماكة الفيلم يعتمد على دليل المواقع أو الكشف عن نقطة ثابتة ، وهناك العديد من النقاط المؤلمة ، مثل انخفاض الكفاءة ، وعدم كفاية تغطية البيانات ، خطأ بشري كبير ، وهلم جرا . من خلال المسح التلقائي مع الإحداثيات القطبية عالية الدقة لتحديد المواقع ، فيلم سمك أداة قياس كهربائية مع r-theta منصة يمكن أن تمتد من " نقطة واحدة " إلى " المسح ورسم الخرائط العالمية " ، وتوفير حل ثوري لمراقبة الجودة الصناعية .

　　r-theta منصة : دقة أساس المسح القطبي

إن r-theta الكهربائية منصة تتكون من اثنين من محاور الدوران ( ثيتا ) و ( ص ) شعاعي الحركة . المزايا الأساسية هي :

1 . عالية الدقة لتحديد المواقع : استخدام حلقة مغلقة محرك خطوة أو محرك سيرفو محرك الأقراص ، مع ارتفاع القرار التشفير لتحديد المواقع التكرار يمكن أن تصل إلى ± 1 على سبيل المثال ، على سطح رقاقة 8 بوصة ، منصة يمكن وضعه بدقة في منطقة صغيرة على حافة 50

2 . تغطية عالمية القدرة : من خلال 360 درجة دوران ثيتا المحور الخطي التوسع والانكماش من ص المحور ، منصة يمكن أن تغطي جميع المناطق من التعميم ، حلقي أو غير النظامية الركيزة . مع طلاء الخلايا الضوئية على سبيل المثال ، فإنه يمكن الانتهاء من 121 نقطة المسح الضوئي من 200 ملم في القطر من الخلايا الضوئية في 2 دقيقة ، وتوليد خريطة توزيع سمك الحرارية ، والتي يمكن أن تعرض مشكلة تفاوت الطلاء مباشرة .

3 . ديناميكية التكيف : دعم مخصص مسح الطريق و كثافة نقطة ، يمكن للمستخدمين تعيين وفقا لمتطلبات عملية أخذ العينات متفرق ( سريع الفرز ) أو أخذ العينات الكثيفة ( عيب التحليل ) . على سبيل المثال ، في أشباه الموصلات مقاومة للضوء طلاء الكشف ، منصة قد يفضل مسح رقاقة حافة المنطقة الوسطى ، تستهدف التقاط سمك الطلاء نقطة التحول .

　　التلقائي قياس : قفزة مزدوجة الكفاءة والدقة

قياس التقليدية يتطلب نقل المسبار أو عينة يدويا ، في حين أن r-theta الكهربائية منصة متكاملة مع فيلم سمك قياس الصك .

1 - برامج التحكم التعاونية : قياس إحداثيات نقطة مسبقا من خلال برامج الكمبيوتر ، منصة تلقائيا تخطيط المسار الأمثل لتجنب الاصطدام الميكانيكية . عند قياس ، يدقق في موقف ثابت في نقطة الهدف ، أداة جمع البيانات الطيفية أو ellipsometry متزامن ، نقطة واحدة قياس الوقت هو تقصير إلى 0.5 ثانية .

2 . في الوقت الحقيقي البيانات ورسم الخرائط : قياس النتائج ترتبط تلقائيا إلى منصة تنسيق نظام توليد 2D / 3D نموذج توزيع سمك . على سبيل المثال ، في تصنيع أجهزة الاستشعار ممس ، سمك التدرج من طلاء البوليمر على سطح منحن الركيزة يمكن عرضها بوضوح من قبل النظام ، الذي يوفر الأساس الكمي لعملية التحسين من المعلمات .

3 - تشغيل بدون طيار : دعم دفعة مهمة استيراد و التنفيذ التلقائي في الليل ، جهاز واحد يمكن الكشف عن أكثر من 2000 نقطة في اليوم ، مقارنة مع كفاءة التشغيل اليدوي أكثر من 10 مرات ، والحد من التعرض لمخاطر المشغلين ليزر أو البيئة الكيميائية .

　　تطبيق الصناعة : من المختبر إلى خط الانتاج

وقد تم تطبيقها على نطاق واسع الكهربائية R-Theta منصة قياس سماكة الفيلم في العديد من المجالات :

1 . أشباه الموصلات : رصد سطح رقاقة أكسيد السيليكون نيتريد السيليكون الصلب قناع نانومتر سمك ، لضمان دقة الطباعة الحجرية نمط نقل .

2 . عرض لوحة : تحليل التوحيد من العضوية التي ينبعث منها ضوء الصمام الثنائي العضوي الباعث للضوء ، وتحسين السيطرة على معدل التبخر و زاوية .

3 - مصادر الطاقة الجديدة : رسم الخرائط من بطارية ليثيوم أيون غشاء سمك الطلاء ، والتوازن بين التوصيل و القوة الميكانيكية .

4 - طلاء البصرية : السيطرة على الطول الموجي حساسية antireflection الفيلم على سطح الكريستال الليزر ، وتحسين كفاءة استخدام الطاقة الضوئية .

جنبا إلى جنب مع نضج الصناعة 4.0 و التصنيع الذكية ، الكهربائية r-theta منصة هو دمج مع منظمة العفو الدولية رؤية وتحليل البيانات الكبيرة ، في المستقبل ، سوف ندرك التكيف مسح مسار التخطيط في الوقت الحقيقي عملية التغذية المرتدة ، ودفع إلى الأمام فيلم مراقبة الجودة نحو " صفر مشكلة " الهدف . من النانو المجهرية إلى الصناعات الكلية ، مزيج من التكنولوجيا هو إعادة تحديد حدود القياس الدقيق .