باعتبارها واحدة من أهم أدوات القياس الدقيقة الحديثة في علم المواد ، البصرية قياس سماكة الفيلم على أساس مبدأ التداخل الضوئي و الخصائص البصرية رقيقة الأفلام . عندما شعاع من الضوء المشع على سطح فيلم شفافة أو شبه شفافة ، بعض الضوء ينعكس على السطح العلوي من الفيلم طبقة ، و جزء آخر ينعكس على السطح السفلي بعد اختراق الفيلم طبقة . من خلال تحليل كثافة التوزيع و مرحلة تغيير نمط التداخل ، سمك المادية و المعلمات البصرية من الفيلم يمكن استخلاصه بدقة .

　　التعبير الرياضي عن مبدأ التدخل

جوهر التداخل هو تراكب المرحلة من الضوء . عندما فرق المسار بين اثنين من أشعة الضوء المنعكس هو صحيح مرات من الطول الموجي ، تدخل بناء يحدث . عندما فرق المسار البصري هو الغريب مرات نصف الطول الموجي ، تدخل مدمر يحدث .

　　المكونات الرئيسية في نظام القياس

الفيلم البصرية سمك متر يتكون من مصدر الضوء ، ضوء تقسيم النظام ، كاشف ، وحدة معالجة البيانات . مصدر الضوء عادة ما يستخدم الضوء الأبيض أو ليزر أحادي اللون ، على سبيل المثال ، أدى الضوء الأبيض مصدر الضوء ، تغطي مجموعة من 400-1000nm الطول الموجي ، ويمكن تحليل متعدد الطول الموجي تدخل إشارة في وقت واحد . شعاع ضوء تقسيم النظام إلى إشارة ضوء قياس الضوء من خلال التداخل مايكلسون أو شعاع الفاصل . كاشف يستخدم حساسية عالية الصمام الثنائي الضوئي واسعة ، في الوقت الحقيقي التقاط نمط التدخل من شدة الضوء .

　　ثالثاً - المزايا التقنية وتطبيق السيناريوهات

هذه التكنولوجيا لديها ثلاث مزايا أساسية :

1 - عدم الاتصال قياس غير تدميري : تجنب الأضرار الناجمة عن الاتصال الميكانيكية على الفيلم ، وخاصة رقيقة جدا من مواد مرنة ( مثل عرض OLED طبقة من 10 نانومتر الفيلم ) .

2 . نانومتر الدقة : 0.1nm القرار يمكن أن تتحقق من خلال الطول الموجي الفرعي المناسب الخوارزمية ، على سبيل المثال ، af-3000 سلسلة ، والتي يمكن أن تلبي متطلبات البحوث المتقدمة مثل الكم نقطة الفيلم .

3 . multiparameter التحليل المتزامن : سمك الفيلم ، معامل الانكسار ن و معامل الخمود ك يمكن الحصول عليها في وقت واحد .

في صناعة أشباه الموصلات ، أداة تستخدم لرصد مقاومة للضوء طلاء التوحيد ، لضمان دقة رقاقة تصنيع linewidth ; في مجال طلاء البصرية ، فإنه يمكن قياس عملية النمو من عدسة antireflection الفيلم في الوقت الحقيقي . في مجال الطب الحيوي ، وتستخدم هذه التكنولوجيا لقياس سمك الطلاء بولي ( p-xylene ) لضمان توافق مع الحياة من الأجهزة الطبية .

　　رابعاً - تطور التكنولوجيا والاتجاهات المستقبلية

مع التقدم في علم المواد ، البصرية قياس سماكة الفيلم هو النامية نحو intellectualized ومتعددة الوظائف . على سبيل المثال ، من خلال دمج آلة التعلم الخوارزمية ، تداخل الضوء الأبيض يمكن التعرف تلقائيا على واجهة الكلمات من طبقات رقيقة ، وتقصير وقت القياس من دقيقة إلى ثانية . في المستقبل ، جنبا إلى جنب مع موجة تيراهيرتز الكم تكنولوجيا الاستشعار ، البصرية قياس سماكة الفيلم من المتوقع أن كسر حدود القياس الحالية ، وتحقيق دقة توصيف ذرة واحدة سمك طبقة ، وتوفير الأدوات الرئيسية بعدين مادة البحث .