عالية فراغ التبخر الحراري الكربون تصفيح أداة لديها اثنين من وسائط العمل الأساسية : التبخر المستمر و نبض التبخر .

التبخر المستمر وضع فراغ عالية الحرارة التبخر

1 - المبدأ :

مصدر الكربون ( على سبيل المثال ، عالية النقاء ألياف الكربون أو قضبان الكربون ) يتم تسخينها من قبل قوة ثابتة بحيث يذوب باستمرار وثابت تتبخر ، حتى تدفق بخار تتشكل في فراغ الغرفة . ذرات الكربون الغازية أو الجزيئات التي تنتشر على سطح الركيزة في الحركة الخطية و تتكثف في فيلم الصلبة المدمجة طبقة بعد طبقة . هذا النموذج يعتمد على حلقة مغلقة نظام التحكم في درجة الحرارة للحفاظ على معدل التبخر المستمر و تذبذب الطاقة في حدود ± 1 ٪ .

2 . ميزات :

عالية الكفاءة والاستقرار : مناسبة لأنّ حجم كبير من الطلاء أو فيلم تشكيل المشهد بسرعة ، مثل SEM عينة طبقة موصلة إعداد .

فيلم طبقة موحدة : تدفق البخار باستمرار يغطي الركيزة ، والحد من سمك المحلية الفرق ، وضمان اتساق الفيلم طبقة .

عملية التبسيط : لا تحتاج إلى بدء وإيقاف مصدر التدفئة في كثير من الأحيان ، عملية تدفق أكثر إيجازا .

3 . تطبيق السيناريوهات :

تيم دعم الأفلام التي تم إعدادها مع شرائح رقيقة جدا أو النانوية .

التحليل السطحي هو بمثابة طبقة واقية أو طبقة موصلة ( مثل الأشعة السينية المشتتة للطاقة EDS ) .

متطلبات طلاء دفعة في الصناعة ( مثل طبقة موصلة من المكونات الإلكترونية ) .

نبض طريقة التبخر عالية فراغ التبخر الحراري

1 - المبدأ :

مصدر كربون التبخر تسيطر عليها نبض إشارة . خلال كل فترة النبض ، مصدر الكربون بسرعة يسخن إلى درجة حرارة التبخر و النشرات الجسيمات الغازية ، تليها وقفة تدفئة كافية إيداع الجسيمات على سطح الركيزة . عن طريق ضبط نبض التردد و دورة العمل ، سمك الفيلم و حجم الجسيمات يمكن السيطرة عليها بدقة .

2 . ميزات :

غرامة السيطرة : مناسبة لإعداد فيلم الكربون رقيقة جدا أو النانو ، دقة التحكم في سمك الفيلم يمكن أن تصل إلى النانو .

الحد من الضرر الحراري : التدفئة المتقطعة يقلل من ارتفاع درجة حرارة الركيزة ، وتجنب تأثير ارتفاع درجة الحرارة على المواد الحساسة .

صقل الجسيمات : نبض التبخر يقلل من اصطدام الجسيمات الغازية ، وتشكيل طبقة رقيقة من الجسيمات .

3 . تطبيق السيناريوهات :

تحسين خصائص سطح العينة في EBSD التحليل يتطلب تعزيز إشارة عالية الدقة فيلم الكربون .

في مجال الطب الحيوي ، وطلاء عينات من الخلايا المطلوبة لتقليل الآثار الحرارية .

طلاء العناصر البصرية ( على سبيل المثال ، antireflection الفيلم ) يتطلب مراقبة دقيقة من الخصائص البصرية من الفيلم .

ثالثا ، وضع أساس اختيار عالية فراغ التبخر الحراري طلاء الكربون

1 . متطلبات سمك الفيلم :

الوضع المستمر هو مناسبة لإعداد أكثر سمكا من الأفلام ( على سبيل المثال

نبض طريقة مناسبة لأنّ رقيقة جدا فيلم ( على سبيل المثال ، نانومتر ) مع دقة أعلى .

2 . خصائص المواد الركيزة :

ارتفاع درجة الحرارة مقاومة المواد ( مثل المعادن ) يمكن أن تكون في وضع مستمر ، وتقصير وقت التجهيز .

المواد الحساسة للحرارة ( مثل البوليمرات ، والعينات البيولوجية ) تحتاج إلى نبض نمط لتجنب التشويه .

3 . تعقيد العملية :

طلاء بسيطة المهام ( مثل طبقة موصلة ) تبسيط العمليات في وضع مستمر .

متطلبات عالية الدقة ( على سبيل المثال ، النانو ) تحقيق مراقبة دقيقة مع نبض واسطة .

رابعا ، فراغ عالية التبخر الحراري طلاء الكربون معدات دعم وظيفة

1 . نظام فراغ : التوربينات مضخة دوارة مضخة الجمع بين الحد من فراغ ، فراغ العمل ، وضمان عملية التبخر خالية من التلوث .

2 - إدارة مصدر التبخر : 4 عالية النقاء ألياف الكربون مصدر التبخر يمكن أن تعمل بالتناوب ، الكشف التلقائي على الخروج من الدولة ، تمديد خدمة الحياة .

3 . عينة الجدول السيطرة : دعم دليل / التلقائي التناوب ، سرعة عالية / سرعة منخفضة اثنين من التروس قابل للتعديل ، لتحقيق متعددة زاوية موحدة الترسيب .

4 . حماية السلامة : فراغ حماية ، حماية التيار الزائد ، حماية أوفيرفولتاجي ، وما إلى ذلك ، لمنع تلف المعدات في ظروف غير طبيعية .