التلقائي بالكامل ايون الاخرق جهاز طلاء موحد و الموصلية الكهربائية جيدة ، والتي تعود بالفائدة على المغنطرون الاخرق التكنولوجيا ، ونظام التحكم في الدقة ، والقدرة على اختيار أهداف متعددة ، مزايا محددة هي كما يلي :

المغنطرون الاخرق التكنولوجيا لضمان تجانس الطلاء

1 . المجال المغناطيسي الأمثل تصميم : من خلال تعديل شكل المغناطيس ، وترتيب أو نقل المجال المغناطيسي ، وتعزيز كثافة البلازما التوحيد ، حتى أن الهدف من موقف مختلف من الاخرق قيم تميل إلى أن تكون متسقة ، وبالتالي تعزيز التوحيد من الفيلم . على سبيل المثال ، تحسين المسافة بين الهدف و الركيزة يمكن تجنب تفاوت ترسب الجسيمات الاخرق وضمان سماكة الفيلم موحدة .

2 . دينامية تعديل المسافة بين الهدف و الركيزة : التجربة تبين أن سماكة الفيلم الفرق في نقاط مختلفة من الركيزة يقلل تدريجيا مع زيادة المسافة بين الهدف و الركيزة . هذه الخاصية تجعل ايون الاخرق أداة مناسبة لأنّ عينات من مختلف الأحجام والأشكال لتحقيق دقة عالية طلاء .

3 - السيطرة على السلطة و درجة فراغ الاخرق التآزري : زيادة الاخرق السلطة يمكن أن تزيد من مساحة سطح الهدف ، وجعل كثافة الطاقة أكثر تجانسا . زيادة درجة فراغ يمكن أن تقلل من احتمال الاصطدام بين الذرات الاخرق و ذرات الغاز في تجويف ، وتحسين سماكة الفيلم التوحيد . هذه آلية التحكم المزدوج يضمن استقرار جودة الطلاء .

نظام مراقبة دقيقة التلقائي بالكامل ايون الاخرق الصك

1 . تكنولوجيا التحكم في التدفق المستمر : عالية الدقة المستمر الحالي المغنطرون الاخرق العاصمة امدادات الطاقة ، ومراقبة دقة تصل إلى 1 ما ، لضمان استقرار الاخرق الحالية . هذا ثابت الانتاج الحالي يساعد على تشكيل طلاء المعادن الكثيفة ، وبالتالي تحسين الموصلية الكهربائية من العينة .

2 - دقة التحكم في بيئة فراغ : فراغ عالية الأداء مضخة دوارة بسرعة تحقيق بيئة العمل ( الحد من فراغ < 1pa ) ، ومجهزة مجموعة كاملة من فراغ بيراني متر في الوقت الحقيقي رصد فراغ . دقة التحكم فراغ يمكن أن تقلل من تأثير الشوائب على الطلاء ، وتحسين التوصيل .

3 - التحكم في حجم الجسيمات النانوية الاخرق : الاخرق الجسيمات يمكن أن تصل إلى حجم النانومتر ( < 5nm ) ، وإعداد الأفلام المدمجة وموحدة . نانو الحجم الطلاء ليس فقط ممتازة الموصلية الكهربائية ، ولكن أيضا يمكن أن تلبي متطلبات عالية الدقة SEM المراقبة .

اختيار متعدد الهدف التلقائي ايون الاخرق الصك لتلبية متطلبات متنوعة

1 . المعادن الثمينة الهدف الدعم : ايون الاخرق أداة دعم الذهب والبلاتين والفضة والبلاديوم وغيرها من المعادن الثمينة الهدف من الاختيار . هذه الأهداف قد الموصلية جيدة والاستقرار الكيميائية ، ويمكن تلبية متطلبات مختلف العينات على مواد الطلاء .

2 - سهولة استبدال المواد المستهدفة : الهدف يتكون من التدريع خاتم ، خاتم الضغط ، والمواد المستهدفة . عندما يتم استبدال المواد المستهدفة ، يمكن بسهولة إزالة المواد المستهدفة القديمة وتثبيت المواد المستهدفة الجديدة عن طريق فك التدريع خاتم خاتم الضغط المسمار . مريحة طريقة استبدال المواد المستهدفة يحسن المرونة والكفاءة في استخدام المعدات .

التحقق من التطبيق العملي الكامل التلقائي ايون الاخرق الصك

1 . SEM رصد الأمثل : في المسح المجهر الالكتروني ( SEM ) رصد ايون الاخرق الصك يمكن أن توفر غير موصل عينات موحدة مع الموصلية جيدة الطلاء . هذا الأسلوب يتجنب تأثير شحنة كهربائية ، مما يجعل صورة المجهر الإلكتروني أكثر وضوحا وأكثر تفصيلا .

2 - دعم التصوير عالية الطاقة : ايون الاخرق الصك يمكن أن توفر غرامة وموحدة إجراء طبقة معدنية على عينة التي تحتاج إلى التصوير عالية الطاقة . وهذا يساعد على تحقيق المزيد من المراقبة والتصوير ، وتحسين دقة وموثوقية التجربة .