مبدأ تصميم عالية فراغ التبخر الحراري طلاء الكربون أداة تستند على المادية عملية التبخر ترسب في فراغ البيئة . وفيما يلي تفاصيل عن مبادئ التصميم :

إنشاء بيئة فراغ

1 - القضاء على التدخل الغاز : قبل الطلاء ، الصك يجب أن تصل إلى درجة معينة من فراغ عالية ، وعادة مع مضخة ميكانيكية أو مضخة الجزيئية وغيرها من المعدات لاستخراج جزيئات الغاز في الغرفة . هذه الخطوة أمر بالغ الأهمية ، لأنه فقط في بيئة الضغط المنخفض ، يمكن أن تمنع بشكل فعال جزيئات الغاز من الاصطدام مع تبخر المواد ، وضمان أن ذرات الكربون أو الجزيئات يمكن أن تنتشر بحرية ودقة إيداع على سطح الشغل .

2 . ختم الحماية : فراغ الغرفة باعتبارها العنصر الأساسي ، وذلك باستخدام قوة عالية ، وانخفاض نفاذية الغاز من المواد للحفاظ على استقرار حالة فراغ . ختم جيدة هو المفتاح لضمان بيئة فراغ ، والتي يمكن أن تمنع الهواء وغيرها من الغازات الأجنبية من دخول الغرفة ، مما يؤثر على جودة الطلاء .

التبخر من مواد الكربون عالية فراغ التبخر الحراري

1 . اختيار مصدر التبخر : عادة اختيار عالية النقاء الجرافيت قضيب أو ألياف الكربون التبخر المصدر . هذه المواد لها التركيب الكيميائي ثابتة وممتازة الخصائص الفيزيائية ، يمكن أن تنبعث منها ذرات الكربون في عملية التسخين .

2 - طريقة التدفئة : جهاز التدفئة المقاومة أو شعاع الالكترون طريقة التدفئة ، مصدر الكربون الصلب يسخن إلى درجة حرارة عالية ( حوالي 3000 درجة مئوية أو أكثر ) ، حتى أن التسامي إلى غاز . في هذه العملية ، ذرات الكربون أو الجزيئات الحصول على ما يكفي من الطاقة للتغلب على قوة ملزمة على السطح ، والدخول في فراغ الغرفة .

ترسب ذرات الكربون عالية فراغ التبخر الحراري

1 - الانتشار الحر : غاز ذرات الكربون أو الجزيئات في فراغ الغرفة الانتشار الحر ، وهي أساسا خالية من الاصطدام الحركة الخطية بسرعة نقل إلى سطح الركيزة .

2 - فيلم التكثيف : عندما ذرات الكربون الغازية أو الجزيئات التي تواجه انخفاض درجة حرارة سطح الشغل ، وسوف يتكثف في الحالة الصلبة ، وتدريجيا في سطح الشغل على شكل فيلم الكربون . في هذه العملية ، وهما البعد التصادم بين الذرات المودعة على شكل مجموعات ، في نهاية المطاف ، من خلال الاتصال ودمج المتاخمة مستقرة النوى ، فيلم المستمر هو المشكلة .

رابعاً - ضمان ترسب متجانس

1 . عينة تصميم الجدول : العينة عادة ما توضع على طاولة دوارة عينة ، لضمان متعدد زاوية موحدة الترسيب . الموقع بين العينة و تبخر المصدر ينبغي الحفاظ عليها بشكل صحيح ، قريبة جدا من تبخر المصدر قد يؤدي إلى ارتفاع درجة الحرارة المحلية ، ولكن بعيدا جدا يمكن أن تقلل من كفاءة الترسيب .

2 - التبخر خوارزمية التحكم : gvc-3000t تتبخر خوارزمية التحكم فريدة من نوعها ، من خلال التحكم بدقة في الطاقة الحرارية والتبخر الوقت لتحقيق دقة ترسب ذرات الكربون . هذه الخوارزمية يمكن أن تضمن أن سمك والتوحيد من الأفلام الكربون يمكن التحكم بدقة تحت ظروف مختلفة .

وظيفة مساعدة وحماية تدابير عالية فراغ التبخر الحراري طلاء الكربون الصك

1 . وظيفة الحماية : أداة مجهزة فراغ الحماية ، حماية التيار الزائد ، حماية أوفيرفولتاجي ، وغيرها من وظائف الحماية لضمان سلامة واستقرار المعدات في عملية التشغيل .

2 - رصد درجة الحرارة والتحكم : من خلال دقة عالية الحرارية استشعار الأشعة تحت الحمراء ترمومتر ، أداة يمكن رصد درجة حرارة التبخر المصدر في الوقت الحقيقي ، وفقا لمجموعة قيمة الانحراف بين القيمة الفعلية تلقائيا ضبط قوة التدفئة لضمان استقرار عملية التبخر .