مرحبا بكم العميل!

العضوية

التابير

مساعدة

التابير
وشي dixin التكنولوجيا المحدودة
صمصنع مخصص

المنتجات الرئيسية:

instrumentb2bصمنتجات

وشي dixin التكنولوجيا المحدودة

  • البريد الإلكتروني

  • الهاتف

  • العنوان

    وشى مركز الأرض التكنولوجيا

ساتصل الآن

رقاقة كشف الحركة الجدول

قابلة للتفاوضتحديث05/06
نموذج
طبيعة المصنع
المنتجين
فئة المنتج
مكان المنشأ

نظرة عامة

رقاقة كشف الحركة الجدول هو xyzt 4-axis جزءا لا يتجزأ من دقة تحديد المواقع منصة ، xyz يقودها المحرك الخطي ، واختيار الدقة عبر الأسطوانة دليل السكك الحديدية ، مع أداء جيد جدا و دقة تحديد المواقع ، س ص محور تحميل تردد القطع يمكن أن تصل إلى أكثر من 120 هرتز ، مع سرعة جيدة والاستقرار ، في 4-axis تراكب الجدول أعلاه باستخدام التداخل 5 ك تردد أخذ العينات اختبار cube-4 سرعة موحدة موقف خطأ ، كل 0.5mm دينامية تتبع الخطأ STD الانحراف المعياري أقل من 50 نانومتر .

تفاصيل المنتج

رقاقة كشف الحركة الجدولهو محور XYZT 4 جزءا لا يتجزأ من دقة تحديد المواقع منصة ، XYZ يقودها المحرك الخطي ، واختيار الدقة عبر الأسطوانة دليل السكك الحديدية ، مع أداء ممتاز جدا و دقة تحديد المواقع ، س ص محور تحميل تردد القطع يمكن أن تصل إلى أكثر من 120 هرتز ، مع سرعة جيدة والاستقرار ، في 4 محور تراكب الجدول أعلاه باستخدام التداخل 5 ك تردد أخذ العينات اختبار cube-4 سرعة موحدة موقف خطأ ، كل 0.5mm دينامية تتبع الخطأ STD الانحراف المعياري أقل من 50 نانومتر ، ض محور تحميل تردد القطع يمكن أن تصل إلى أكثر من 200 هرتز . Theta رمح يستخدم محرك الأقراص مباشرة الدوارة ، مجهزة دليل السكك الحديدية الدائرية مقضب ، مع سرعة دوران عالية وعالية الدقة . وبالإضافة إلى ذلك ، ثيتا رمح يستخدم غرق تصميم مخفي ، مما يجعل ارتفاع cube-4 عموما منخفضة ، وانخفاض نقطة التشغيل هو مفيد لتحسين دقة تحديد المواقع في التطبيق العملي .

وبالإضافة إلى ذلك ، z-axis يمكن خطوة 100 ميكرون في 30ms وضبط ± 50nm . cube-4 هو ثابت الدقة من نقطة إلى نقطة ، وفي الوقت نفسه ، فإنه يمكن تلبية متطلبات صارمة على خطأ ديناميكي البيولوجية أو رقاقة الكشف والمسح الضوئي التطبيقات ، z-axis يمكن تعديلها في الوقت الحقيقي على أساس ارتفاع استشعار تعمل بالجو لحل مشكلة العميل التحكم في الحركة .

اختبار الأداء الديناميكي cube-4 سلسلة أربعة محور منصة

晶圆检测运动台

دينامية اختبار تردد أخذ العينات من التداخل 5K : س ص موقف موحد تتبع الخطأ ، الانحراف المعياري أقل من 50 نانومتر لكل 0.5mm الأمراض المنقولة جنسيا

الحد الأدنى من خطوة اختبار cube-4 سلسلة أربعة محور منصة

晶圆检测运动台


ض محور الخطوة 100 μ م ، 30ms ضبط ± 50 نانومتر


晶圆检测运动台


رقاقة كشف الحركة الجدولملاحظة

( 1 ) قياسات موازية أو عمودية لاتجاه الكتل المسمارية؛

( 2 ) اختبار عدم التحميل؛

( 3 ) الضغط على طول المحور؛

( 4 ) مع التغذية المرتدة ، خطي مكبر للصوت ؛

( 5 ) موقع الاختبار الافتراضي هو 25 ملم فوق سطح الطاولة ، محور واحد مؤشر ، مؤشر أداء نظام متعدد المحاور مع الحمل الفعلي و موقع العمل ؛

( 6 ) يمكن تخصيص رحلات أخرى .