ثنائي الفوتون مقاومة للضوء هو نوع من مقاومة للضوء على أساس المواد الحساسة للضوء ، والتي تتفاعل كيميائيا في إطار العمل من ثنائي الفوتون امتصاص . على عكس التقليدية فوتون واحد الطباعة الحجرية ، فوتون واحد يمكن أن تؤدي إلى إثارة الإلكترونات و التفاعلات الكيميائية ، في حين أن اثنين من الفوتون الطباعة الحجرية تعتمد على امتصاص اثنين من الفوتونات منخفضة الطاقة في وقت واحد . في هذه الحالة ، يمكن أن يحدث تفاعل كيميائي ضوئي المواد الحساسة للضوء فقط عندما تتعرض إلى أشعة الليزر عالية الكثافة في التركيز .
اثنين من الفوتون مقاومة للضوء
ثنائي الفوتون مقاومة للضوء هو نوع من مقاومة للضوء على أساس المواد الحساسة للضوء ، والتي تتفاعل كيميائيا في إطار العمل من ثنائي الفوتون امتصاص . على عكس التقليدية فوتون واحد الطباعة الحجرية ، فوتون واحد يمكن أن تؤدي إلى إثارة الإلكترونات و التفاعلات الكيميائية ، في حين أن اثنين من الفوتون الطباعة الحجرية تعتمد على امتصاص اثنين من الفوتونات منخفضة الطاقة في وقت واحد . في هذه الحالة ، يمكن أن يحدث تفاعل كيميائي ضوئي المواد الحساسة للضوء فقط عندما تتعرض إلى أشعة الليزر عالية الكثافة في التركيز .
ثنائي الفوتون امتصاص يشير إلى أن الطاقة من اثنين من الفوتونات يمكن استيعابها من قبل المواد في وقت واحد عندما يكون طول موجة الليزر أطول . مفتاح هذه الظاهرة هو أن رد فعل ثنائي الفوتون مقاومة للضوء يمكن أن تحدث فقط في مجال الطاقة العالية التركيز ، في حين أن المواد الحساسة للضوء في المنطقة المحيطة بها لا يمكن أن تتفاعل بسبب عدم كفاية الطاقة الضوئية ، وبالتالي تحقيق غرامة تجهيز النانو .
في عملية الطباعة الحجرية ثنائية الفوتون ، كثافة شعاع الليزر والحساسية للضوء هي اثنين من العوامل الهامة . كثافة عالية ليزر تركز على مساحة صغيرة ، يمكن أن تؤدي إلى امتصاص ثنائي الفوتون على نحو فعال ، مما يؤدي إلى تغيير المواد الكيميائية مثل يشابك أو البلمرة . هذه الخاصية تمكن ثنائي الفوتون الطباعة الحجرية لتحقيق عالية الدقة نمط التصنيع في الفضاء ثلاثي الأبعاد .
الخصائص الرئيسية ثنائي الفوتون للضوء
1 . فائقة الدقة
بالمقارنة مع التقليدية واحدة الفوتون الطباعة الحجرية ، الطباعة الحجرية ثنائية الفوتون لديها مزايا واضحة ، ولا سيما ارتفاع القرار . لأن اثنين من الفوتون الطباعة الحجرية تعتمد على التركيز تأثير الفوتون في المنطقة المحلية ، رد فعل المنطقة محدودة تقريبا بالقرب من نقطة محورية من شعاع الليزر ، مما يجعل مقاومة للضوء يمكن تحقيق دقة صغيرة مثل عدة نانومتر . في الوقت الحاضر ، قرار ثنائي الفوتون الطباعة الحجرية التكنولوجيا قد وصلت إلى 10 نانومتر الحجم ، والتي هي أبعد من التقليدية الطباعة الحجرية التكنولوجيا ، ويمكن تلبية الطلب على تجهيز نانو النطاق .
2 - القدرة على تجهيز ثلاثي الأبعاد
ثنائي الفوتون الطباعة الحجرية لديها قدرة فريدة من نوعها في الفضاء ثلاثي الأبعاد . الطباعة الحجرية التقليدية عادة ما تكون محفورة على نمط ثنائي الأبعاد ، في حين أن اثنين من الفوتون مقاومة للضوء يمكن أن تكون محفورة بدقة في الفضاء ثلاثي الأبعاد من خلال التحكم في تركيز الليزر . هذه القدرة على تجهيز ثلاثي الأبعاد يجعل من ثنائي الفوتون الطباعة الحجرية التكنولوجيا لديها مزايا في تصنيع النانو الصغيرة ثلاثية الأبعاد النانو .
3 . حساسية عالية ودقة التحكم
حساسية عالية تمكنه من بدء التفاعلات الكيميائية الضوئية في انخفاض قوة الليزر ، مما يجعل عملية أكثر دقة و التحكم . وفي الوقت نفسه ، وقت التعرض والتركيز على حجم شعاع الليزر يمكن تعديلها بدقة في عملية الطباعة الحجرية ، مما يحسن من دقة تجهيز نمط .
4 - تأثير الحرارة المنخفضة
لأن ثنائي الفوتون الطباعة الحجرية يحدث فقط في منطقة التركيز من شعاع الليزر ، أجزاء أخرى من المواد الحساسة للضوء لا يمكن المشع بواسطة الليزر ، وبالتالي توليد كمية صغيرة نسبيا من الحرارة ، وبالتالي تجنب تأثير الحرارة التي قد تحدث في عملية الطباعة الحجرية التقليدية على المواد . هذا يجعل من ثنائي الفوتون الطباعة الحجرية تلعب دورا هاما في تصنيع بعض المواد الحساسة للحرارة .
5 - الانتقائية العالية والقدرة على مقاومة ارتداد مبعثر
ثنائي الفوتون مقاومة للضوء عالية الانتقائية ، فقط تحت أشعة الليزر عالية الكثافة يمكن أن تتفاعل ، و رد فعل المنطقة عادة ما تكون نقطة تركيز الليزر ، وبالتالي يمكن أن تمنع بشكل فعال backscattered والتدخل ، وتحسين جودة الطباعة الحجرية نمط .
ثالثاً - البارامترات العامة :
| نظام المعلمات | |
| دعم ارتفاع الطباعة | ≤10mm |
| أقصى خشونة السطح(ر)
| ≤5nm |
| الحد الأدنى مميزة linewidth | ≤50nm( أ )XYالطائرة≤300nm( أ )زالمحور (
|
| دورة الحد الأدنى )XYالطائرة (
| ≤300nm؛ Z≤600nm؛ |
| أقصى سرعة المسح الضوئي | ≥100mm / s (1000mm / s @ 100)عدسة التكبير (
|
| دقة الربط | ≤100nm( أ )XYالطائرة (
|
| دعم منطقة الكتابة ( دائرة ) | قطر .4بوصة ( قابل للتعديل )
|
| الليزر المعلمة | |
| مركز الطول الموجي | 515 ± 5nm |
| متوسط الطاقة | ≥1W |
| عرض النبضة | ≤200fs |
| استقرار الطاقة | <1٪ RMS |
| شعاع نوعية | 1-2 |
| تكرار التردد | 80 ± 5 ميغاهرتز |
| حجم النظام | |
| البعد الخارجي | واسع1700 مم×عميق .1500 مم×عالية .2200 مم
|
| وزن . | <2000 كجم |
| شروط التثبيت | غرفة نظيفة فوق الألفنعزل الصف متفوقةVC-C
|
| الظروف الكهربائية | 220/380Vالسلطة> 5 كيلوواط
|
| الاستقرار البيئي | 20 ± 1℃و ± 0.1℃نضجيج<65 ديسيبل؛الرطوبة5% )التحكم في درجة الحرارةو
|
| الهواء المضغوط | تصفية0.25 ميكروم، خالية من النفط ، ومستقرة في0.5-0.6MPa، ينبغي أن يكون تدفق في500-800SLPM
|
| الإضاءة المحيطة | ضوء أصفر |