تتبع نظام تحليل الشوائب في أشباه الموصلات الغاز

الجرمانيوم الكان للقياس )جيهالفوسفين )PHآرسنان )أسهdichlorosilane )DCSثلاثي كلورو سيلان )TCSالشوائب في أشباه الموصلات الغاز .

عالية الدقة الكشف التلقائي ( عملية بسيطة ) يمكن أن يتحقق من خلال الأداء اللوني للغاز .

يمكن الكشف عن الهيدروجين )H2الأكسجين )أو2غاز النيتروجين )N2الميثان )CH4أول أكسيد الكربون )كوثاني أكسيد الكربون )ثاني أكسيد الكربونوC2مكوناتC3عنصر الشوائب .

الجرمانيوم الكان للقياس )جيهالفوسفين )PHآرسنان )أسهdichlorosilane )DCSثلاثي كلورو سيلان )TCSالشوائب في أشباه الموصلات الغاز .

عالية الدقة الكشف التلقائي ( عملية بسيطة ) يمكن أن يتحقق من خلال الأداء اللوني للغاز .

يمكن الكشف عن الهيدروجين )H2الأكسجين )أو2غاز النيتروجين )N2الميثان )CH4أول أكسيد الكربون )كوثاني أكسيد الكربون )ثاني أكسيد الكربونوC2مكوناتC3عنصر الشوائب .

الجرمانيوم الكان للقياس )جيهالفوسفين )PHآرسنان )أسهdichlorosilane )DCSثلاثي كلورو سيلان )TCSالشوائب في أشباه الموصلات الغاز .

عالية الدقة الكشف التلقائي ( عملية بسيطة ) يمكن أن يتحقق من خلال الأداء اللوني للغاز .

يمكن الكشف عن الهيدروجين )H2الأكسجين )أو2غاز النيتروجين )N2الميثان )CH4أول أكسيد الكربون )كوثاني أكسيد الكربون )ثاني أكسيد الكربونوC2مكوناتC3عنصر الشوائب .