البلازما PECVD نظام واحد في منطقة درجة حرارة الفرن دثر شانغهاى للعلوم والتكنولوجيا

قابلة للتفاوضتحديث01/27

نموذج

طبيعة المصنع: المنتجين

فئة المنتج

مكان المنشأ

استشارة عبر الإنترنت

نظرة عامة

mflpecvd408-12 هو أنبوب فرن نظام PECVD النظام . فائدة نموذج يتكون من أنبوب فراغ فرن ، الترددات اللاسلكية إمدادات الطاقة ، ونظام إمدادات الغاز ، نظام فراغ . درجة الحرارة القصوى يمكن أن تصل إلى 1200 درجة ، وذلك باستخدام 30 برنامج التحكم في درجة الحرارة متر ، ك نوع الحرارية ، فرن الألومينا الألياف السيراميك عالية النقاء ، ويمكن استخدام هذه المعدات في نمو أسلاك متناهية الصغر أو الأمراض القلبية الوعائية طريقة إعداد مجموعة متنوعة من الأفلام .

تفاصيل المنتج

واحدوصف المنتج

ثانياميزات المنتج

1 ، من خلال الترددات اللاسلكية امدادات الطاقة الكوارتز فراغ غرفة الغاز في الدولة الأيونية .
درجة الحرارة المطلوبة PECVD هو أقل من ذلك من الأمراض القلبية الوعائية .
3 ، يمكن السيطرة عليها من خلال التردد إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية ترسب الفيلم حجم الإجهاد
4 ، PECVD أعلى معدل الترسيب الكيميائي للبخار ، التوحيد ، والاتساق والاستقرار من الأمراض القلبية الوعائية .
5 ، وتستخدم على نطاق واسع في : نمو أنواع مختلفة من الأفلام ، مثل : SiOX ، SiNX ، SiOXNY وغير متبلور السليكون ( سي : ح ) .

ثانياً - المعايير التقنية

نوع الجهاز	MFLPECVD408-12
أنبوب فرن	مجموعة التحكم في درجة الحرارة	درجة حرارة الغرفة - 1200 درجة مئوية
	درجة حرارة التشغيل	≤1100℃
	طول منطقة التدفئة	400 مم
	أنبوب الكوارتز	قطر 80mm ، طول 1400mm ( قطر الأنبوب اختياري 50 ، 60 ، 100 )
	دقة التحكم في درجة الحرارة	＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃
	درجة حرارة ثابتة تقلب	± 1 ℃ ( اختبار نقطة 1000 ℃ )
	معدل التسخين	أوصت 1000 درجة مئوية أقل من 10 ℃ / دقيقة ، أسرع معدل التسخين ≤ 30 ℃ / دقيقة
	سرعة التبريد	700 ℃ أعلاه ≤ 10 ℃ / دقيقة
	فرن درجة الحرارة السطحية	درجة حرارة سطح الفرن أقل من درجة حرارة الغرفة + 10 ( قياس نقطة 1000 ℃ )
	قياس درجة الحرارة عنصر	ك نوع الحرارية
	طريقة التحكم في درجة الحرارة	غامض PID التحكم وضبط النفس ، intelligentized 30 قسم التحكم القابلة للبرمجة
	قوة الجهد	220V 3KW
نظام العرض الجوي	مرور الغاز	طريق
	مسار الغاز التحكم في التدفق	وحدة تحكم تدفق البروتون
	دقة التحكم	± 1.5٪ FS
	تكرار الدقة	± 0.2٪ FS
	تدفق مجموعة	1-500 SCCM
	قياس الضغط الميكانيكية	قياس الضغط الميكانيكية على لوحة ، وقياس مدى توصيل الغاز مختلطة مع الري : - 0.1 إلى 0.15 الآلام والكروب الذهنية



نظام فراغ الحل الأول ( فراغ منخفضة : مضخة ميكانيكية )	مصدر الطاقة	220 فولت
	الحد من فراغ	5X10^-1بابا
	معدل الضخ	2 لتر / ثانية
	فراغ صمام يربك	KF25
	موديل	VRD-8
	قوة المحرك	0.4KW
نظام فراغ الحل الثاني ( فراغ عالية : الميكانيكية مضخة + مضخة الجزيئية وحدة )	موديل	GZK-16-600
	مصدر الطاقة	AC100-240 50 / 60 هرتز
	قوة	1 كيلوواط
	وزن .	25 كيلوغرام
	الحد من الضغط	*1.0 10-4Pa**
	مدخل ومخرج واجهة	KF40
	أقصى تدفق المياه المبردة	10L / دقيقة
	فراغ متر	مركب فراغ متر
	فراغ .دقة التحكم	1%
	فراغ قياس مدى	1.0x10 - 1.0x10-5Pa
مصدر الطاقة مولد البلازما	انتاج الطاقة مجموعة	0-500W
	استقرار الطاقة	ص± 5W
	تردد التشغيل	الترددات اللاسلكية13.56MHz ± 0.005٪
	مطابقة نمط	تلقائي
	طريقة التبريد	تبريد الهواء
	ضوضاء	<50dB







أمن .	بيئة العمل	RT ± 5-40 ℃
	ضمان الاستخدام	أكثر من درجة الحرارة إنذار تسرب حماية حماية أكثر من درجة الحرارة




	أنبوب فرن	تايوان
قائمة المصنع	نظام فراغ	مجموعة
	نظام العرض الجوي	مجموعة
	الترددات اللاسلكية السلطة	مجموعة
	ارتفاع درجة الحرارة قفازات	كاستون ون ون توين
	فرن هوك	حفنة
	القصبة الهوائية	جذر
	مواصفات المعدات	نسخة
	أداة مواصفات	نسخة
	بطاقة الضمان	نسخة
شراء السلع	نقل رف	الفولاذ المقاوم للصدأ
شراء السلع	شاشة تعمل باللمس أداة ذكية	الجزء 50 من البرمجة التي يمكن تنفيذها مع الكمبيوتر . وظائف التحكم عن بعد ، في الوقت الحقيقي تتبع ، سجل التاريخ ، تقرير الناتج ، وما إلى ذلك من واحد أو أكثر من الأفران الكهربائية يمكن أن تكتمل من خلال نظام مراقبة الكمبيوتر الخاصة . . . . . . .

ملاحظة : قطر الأنبوب : 50 / 60 / 80 / 100 / 120 / 150 / 200 / 300 مم .

منطقة درجة الحرارة يمكن أن تكون درجة الحرارة المزدوجة في المنطقة ، منطقة درجة الحرارة ثلاث مناطق متعددة درجة الحرارة ،

يرجى الاتصال بخدمة العملاء

منتج مماثل يوصي