البلازما تعزيز ترسيب الأبخرة الكيميائية ( PECVD ) النظام

1 - القدرة الرسوبية المرنة

م .عملية الترسيب على أساس السيليكون أكسيد نيتريد ، oxynitride ، غير متبلور السليكون )(أ-Si)،كربيد السيليكون )سيكو

م .البحث والتطوير

م .نموذج صنع

م .الإنتاج دفعة صغيرةالضوئيات ، الحالة الصلبة الإضاءةوميمستكنولوجيا النانو

م .مجالات التطبيق : interlaminar طبقة عازلة ، التخميل طبقة ، طبقة التغليف ، قناع طبقة ، طبقة مضادة للانعكاس

2 - قيمة الأداء

1 . حجم كبير دليل تحميل الجدول(406mm)

2 . نظافة ممتازة

3 . التوحيد عالية

4 . إنتاجية عالية

5 - البرمجيات الموثوقة

6 - مساحة صغيرة

7 - الفعالية من حيث التكلفة

8.من السهل الحفاظ على

9.رئيس الجمعية الصناعية

3 - الحلول المعتمدة

• عملية ” تسليم المفتاح “ الواسعة النطاق

· تحقيق التوحيد الفيلم عالية من خلال الاستفادة المثلى من رأس الرش

· مستوى عال من الكفاءة والاعتمادية -- استخدام الصف الأول ( الصف الأول ) تصنيع المعدات الأصلية المكونات ، فراغ سريع ، اختياري في الموقع نقطة النهاية الكشف لتجنب الإفراط في التنظيف

• الحصول على الخدمات والدعم المعتمدين

· السيطرة على الإجهاد من خلال تخفيف التردد المنخفض أو الهليوم