البلازما تعزيز ترسيب طبقة الذرية ( المدة ) - tfs200

beneq TFS 200 ، مصممة خصيصا من أجل البحث والتطوير الأكاديمي والمؤسسي ، هو منصة واسعة النطاق للطبقة ترسب ( المدة ) التي يمكن أن توفريويجودة الفيلم .

نظام وحدات الهندسة المعمارية يسمح ترقيات واسعة النطاق لضمان أنه يمكن أن تتطور مع احتياجات البحث الخاص بك ، بغض النظر عن مدى تعقيد . beneq TFS 200 يدعم ترسب على مجموعة متنوعة من ركائز ، بما في ذلك رقائق ، مستو الكائنات ، مواد مسامية ، 3D هياكل معقدة مع نسبة الارتفاع إلى العرض ( هار ) وظيفة ، والتي يمكن تحقيق دقة الطلاء حتى في كه النقش التطبيقات .

س وظائف بيلد

Beneq TFS 200 القياسية مباشرة وبعيدة المدى البلازما تعزيز ترسيب طبقة الذرية ( peald ) . باستخدام البلازما مزدوجة السعة ( CCP ) المصدر ( معايير الصناعة ) ، فإنه يساعد على الانتقال السلس من البحث والتطوير إلى بيئة الإنتاج . هذا النظام يدعم عملية peald على الركيزة مع الحد الأقصى من 200 ملم .

الكفاءة والدقة هي الأمثل .

نقيالنمو السريع والدقيق يمكن أن تتحقق من خلال تحسين وضع المدة

سهار وظيفة مناسبة للهياكل الصعبة ، مثل من خلال الثقوب المسامية ركائز

• الباردة الجدار فراغ الغرفة الساخنة جدار غرفة التفاعل ، والتي يمكن تحقيق توزيع الحرارة موحدة وسريعة استبدال الغرفة

• خيارات ترقية شاملة لتلبية احتياجات البحوث المتقدمة

• أقفال التحميل ، وتحميل كاسيت ، وصناديق القفازات لنقل ركائز بسرعة في الغلاف الجوي للرقابة

المعلومات التقنية :

تطبيق المثال :

• تستخدم لمنع التطبيقات أل2 أو3 ألد

• تطبيقات أشباه الموصلات HFO2 ، SiO2 ، سين المدة

• الخلايا الضوئية سنو 2 ألد

• لتطبيقات موصل جيد للكهرباء القصدير و nbn المدة وحدة