البلازما ترسيب الأبخرة الكيميائية نظام

PECVDالبلازما ترسيب الأبخرة الكيميائية نظام

1. تنظيف الطلاء في دفعة واحدة ، والقضاء على التلوث الثانوي .

2. حتى فتح نوع الهيكل ، من السهل مراقبة عينة .

3. المنتجات تعتمد على طريقة التحكم الآلي الكامل ، وشاشة تعمل باللمس ، العرض الرقمي .

4. درجة عالية من التكامل المعدات ؛

5. مستقرة امدادات الطاقة الترددات اللاسلكية ، وتوزيع درجات الحرارة موحدة ، وتحسين نوعية الفيلم ؛

نموذج المنتجNBD-PECVD1200-80TI

المواصفات الكهربائيةAC220V 4 كيلوواط

تصل درجة الحرارة1200 ℃

درجة الحرارة المستمر1150℃

تصل إلى معدل التسخين 20 ℃ودقيقة .

الترددات اللاسلكية السلطة300أو .500W 13.56MHz

حجم أنبوب الفرن80 * 1200 مم

PECVDالبلازما ترسيب الأبخرة الكيميائية نظام

نظام التحكم

1وNBD-101EPجزءا لا يتجزأ من نظام التشغيل واجهة رسومية للتبادل بين الصينية والانجليزية ،7بوصة لون شاشة تعمل باللمس المدخلات ، ذكي طريقة الحوار بين الإنسان والحاسوب ، في الوقت الحقيقي التدفئة عرض الطاقة ، غير الخطية نمط تصحيح درجة الحرارة ؛ تقرير تجريبي يتم إنشاؤها بشكل مستقل ، والبيانات التجريبية يتم تصديرها إلى أجل غير مسمى .

2التجربة العملية أكثر سهولة .3فائدة نموذج يحتوي على وظائف أكثر من درجة الحرارة التنبيه ، كسر الزوج الفوري ، تسرب حماية ، الخ .

درجة الحرارة الدقة+ / - 1℃

عنصر التدفئةمومخدرFe-Cr-Al合金

نظام الختم

真空度： ≤10Paمضخة ميكانيكية

قياس الضغط ورصد اعتماد العرض الرقمي فراغ متر ، والتي يمكن أن تجعل درجة فراغ المعدات أكثر سهولة ودقة النتائج التجريبية .

نظام إمدادات الغاز يستخدم اثنين من بروتون مقياس الجريان للسيطرة على سرعة تدفق الغاز بدقة .

الوزن الصافي360 كيلوغرام

ملاحظة استخدام المعدات

1درجة حرارة الفرن المعدات300عند درجة مئوية ، لا تفتح الفرن لتجنب الضرر .

2عند استخدام المعدات ، الضغط في الفرن أنبوب لا يتجاوز0.125MPa( الضغط المطلق ) لمنع الأضرار الناجمة عن الضغط المفرط على المعدات ؛

3عند استخدام فراغ ، واستخدام درجة الحرارة من المعدات يجب أن لا تتجاوز800℃。

4إمدادات الغاز داخل الاسطوانة ارتفاع ضغط الهواء ، أنابيب الغاز في الفرن ، اسطوانة الغاز يجب أن تكون مثبتة على صمام تخفيض الضغط ، فمن المستحسن أن اختيار اختبار مع انخفاض الضغط صمام تخفيض الضغط ، صمام تخفيض الضغط قياس مدى0.01MPa-0.15MPa،فائدة نموذج يمكن استخدامها بدقة وأمان .

5عندما تكون درجة حرارة الفرن أعلى من1000في ℃ ، لا يمكن أن تكون في حالة فراغ في الفرن أنبوب الضغط الجوي في الفرن أنبوب يجب أن تكون مساوية لتلك التي في الغلاف الجوي .

6[ لونغ تيم ] يستعمل درجة حرارة من [ هيغقوليتي ] مرو أنابيب1100℃

7عند تسخين التجربة ، فإنه ليس من المستحسن إغلاق صمام الشفط و مدخل الهواء صمام في نهاية شفة من الفرن أنبوب . إذا كنت بحاجة إلى إغلاق صمام الهواء لتسخين العينة ، يجب أن نولي اهتماما دائما إلى عرض قياس الضغط .0.15MPaصمام العادم يجب أن تفتح على الفور لمنع وقوع الحوادث ( على سبيل المثال ، أنبوب تمزق ، شفة ، الخ . )

خدمات الدعم1ضمان الجودة السنوية ، وتوفير الدعم مدى الحياة ( الضمان لا تشمل المكونات القابلة للاستهلاك ، مثل فرن الأنابيب ، والأختام ، الخ . )