P170 الكامل التلقائي رقاقة المسبار profilometer / خطوة متر

p-170 هو cassette-to-cassette profilometer المسبار الذي يجمع بين الصناعة الرائدة في نظام سطح المكتب p-17 لقياس الأداء والإنتاج ثبت HRP ®- 260 - الجمع بين نقل الأسلحة الميكانيكية . هذا المزيج يوفر منخفضة للغاية تكلفة الملكية الميكانيكية نظام نقل الذراع ، ومناسبة لأشباه الموصلات ، أشباه الموصلات المركب والصناعات ذات الصلة . p-170 يمكن قياس ارتفاع الخطوة ، خشونة ، تزييفها ، والإجهاد في 2D و 3D المسح الضوئي يمكن أن تصل إلى 200 ملم دون صورة فسيفساء .

هذا النظام يجمع بين ultralite ® أجهزة الاستشعار ، قوة ثابتة والسيطرة على منصة المسح الضوئي فائقة مسطحة ، وبالتالي قياس ممتازة الاستقرار . من خلال النقر على منصة التحكم ، أعلى عرض الجانب عرض النظام البصري ، كاميرا عالية الدقة مع زووم بصري ، إعدادات البرنامج بسيطة وسريعة . p-170 لديها مجموعة متنوعة من المرشحات ، والتسوية ، وتحليل الخوارزميات المستخدمة لقياس تضاريس السطح ، ويمكن أن تدعم 2D أو 3D القياسات . من خلال نمط الاعتراف ، والفرز ، ميزة الكشف التلقائي قياس .

ثانياً - المهام

معدات مميزة

· ارتفاع الخطوة : عدة نانومتر إلى 1000 ميكرون

· مايكرو قوة التحكم المستمر : 0.03 إلى 50 ملغ

· عينة مسح كامل القطر ، دون الحاجة إلى خياطة الصورة

· الفيديو : 5 ميجابيكسل كاميرا ملونة عالية الدقة

· قوس التصحيح : القضاء على الأخطاء الناجمة عن حركة القوس من التحقيق

· البرمجيات : سهلة الاستخدام واجهة البرنامج

· القدرة على الإنتاج : أتمتة كاملة من خلال التسلسل ، والتعرف على الأنماط ، SECS / جوهرة

· رقاقة نقل الأسلحة الميكانيكية : تلقائيا تحميل 75 ملم إلى 200 ملم مبهمة ( على سبيل المثال السيليكون ) وشفافة ( على سبيل المثال ياقوت ) عينات

التطبيق الرئيسي

· ارتفاع الخطوة : 2D و 3D ارتفاع الخطوة

· القوام : 2D و 3D خشونة وتموج

· الأشكال : 2D و 3D الاعوجاج والأشكال

· الإجهاد : 2D و 3D الفيلم الإجهاد

· إعادة فحص العيوب : 2D و 3D تضاريس السطح عيب

التطبيقات الصناعية

· أشباه الموصلات

· مجمع اشباه الموصلات

· لد : أدى

· ممس : ممس

· تخزين البيانات

السيارات

ثالثاً - الحالات التطبيقية

ارتفاع الخطوة

p-170 يمكن أن توفر قياسات 2D و 3D ارتفاع الخطوة من نانومتر إلى 1000 ميكرون . هذا يسمح لها أن تكون كميا في النقش ، الاخرق ، SIMS， المواد التي أودعت أو أزيلت خلال ترسب ، تدور الطلاء ، مؤتمر الأطراف / اجتماع الأطراف وغيرها من العمليات . p-170 لديه وظيفة التحكم في قوة ثابتة ، والتي يمكن تعديلها بشكل حيوي وتطبيق نفس القوة الصغيرة بغض النظر عن ارتفاع الخطوة . هذا يضمن قياس جيدة والاستقرار يمكن أن دقة قياس المواد الناعمة مثل مقاومة للضوء .

· القوام : خشونة وتموج

p-170 يوفر 2D و 3D الملمس قياس وقياس خشونة التموج من العينة . البرمجيات وظيفة تصفية يقسم قياس القيم إلى أجزاء من خشونة و تموج و يحسب المعلمات مثل جذر متوسط مربع ( RMS ) خشونة .

· الشكل : انفتال والشكل

ف - 170 يمكن قياس شكل 2D أو تزييفها من السطح . وهذا يشمل قياس رقاقة انفتال ، على سبيل المثال ، خلال ترسب متعدد الطبقات في تصنيع أشباه الموصلات أو أشباه الموصلات المجمع بسبب عدم تطابق طبقة إلى طبقة هو سبب هذا انفتال . p-170 يمكن أيضا تحديد الارتفاع الهيكلي و نصف قطر انحناء ، بما في ذلك العدسة .

· الإجهاد : 2D و 3D الفيلم الإجهاد

p-170 قادر على قياس الإجهاد المتولدة أثناء إنتاج أشباه الموصلات أو أشباه الموصلات مجمع يضم عدد وافر من طبقات العملية . دعم العينة في موقف محايد مع الإجهاد تشاك وقياس عينة الاعوجاج بدقة . الإجهاد ثم يتم حسابها باستخدام معادلة stoney باستخدام شكل التغييرات ، مثل عملية ترسب الفيلم . . . . . . . 2D الإجهاد يقاس مسح واحد على عينات تصل إلى 200 ملم في القطر ، دون الحاجة إلى صورة فسيفساء . ثلاثي الأبعاد قياس الإجهاد يستخدم العديد من 2D المسح الضوئي ، جنبا إلى جنب مع دوران

· إعادة فحص العيوب

عيب استعراض يستخدم لقياس مظهر عيب مثل الصفر العمق . عيب كشف الجهاز يكتشف العيوب ويكتب إحداثيات الموقع في ملف كلارف . . . . . . . " عيب إعادة التفتيش " وظيفة يقرأ ملف كلارف ، والمحاذاة عينة ، ويسمح للمستخدم لتحديد العيوب 2D أو 3D القياسات .