F60 التلقائي اختبار سماكة الفيلم

واحدمقدمة

الفيلم سلسلة من جيش تحرير كوسوفو يستخدم تقنية الانعكاس الطيفي لتحقيق دقة قياس سماكة الفيلم ، الذي يتراوح من نانومتر إلى مم ، ويمكن تحقيق دقة قياس سماكة الفيلم ، مثل مقاومة للضوء ، وأكسيد السيليكون ، أو غيرها من أشباه الموصلات فيلم ، فيلم العضوية ، موصل شفافة فيلم وهلم جرا ، وتستخدم على نطاق واسع في مجال أشباه الموصلات ، والالكترونيات الدقيقة ، والطب الحيوي ، وهلم جرا . الفيلم يحتوي على العديد من المنتجات ، مثل f10-hc f20 , f32 , f40 , f50 , و f60-t ، والتي يمكن قياس حجم العينة من عدة ملم إلى 450mm ، قياس سماكة الفيلم مجموعة من 1 نانومتر إلى مم . أفلام F60 سلسلة من المنتجات مثل المنتجات F50 يمكن قياس سماكة الفيلم و الانكسار ، لكنه يضيف العديد من الميزات المستخدمة في بيئة الإنتاج . وتشمل هذه الوظائف التلقائي الكشف عن الأخدود ، التلقائي إشارة تحديد منصة قياس مغلقة تماما ، الكمبيوتر الصناعية مع البرامج المثبتة مسبقا ، ونماذج الترقية إلى كامل تلقائي رقاقة الإرسال . مختلف f60-t الصكوك تختلف حسب الطول الموجي . أطوال موجية أقصر ( على سبيل المثال ، f60-t-uv ) تستخدم عادة لقياس أرق الأفلام ، في حين أن أطوال موجية أطول يمكن استخدامها لقياس أكثر سمكا ، أكثر تجانسا وأكثر غموضا الأفلام . ( أ )

مبدأ القياسوالانعكاس الطيفي

طيفياستقطاب إهليلجي( سراج الدين ) و الانعكاس الطيفي ( ريال ) تستخدم لتحليل الضوء المنعكس لتحديد سمك وانكسارالفرق الرئيسي بينهما هو أن ellipsometry يقيس زاوية صغيرة منفيلم .تعكس الضوء ، في حين أن الانعكاس الطيفي يقيس الضوء المنعكس عموديا من الفيلم . الانعكاس الطيفي يقيس الضوء الرأسي الذي يتجاهل تأثير الاستقطاب ( معظم الأفلام هي متناظرة بالتناوب ) . منذ لا تنطوي على أي جهاز محمول ، الانعكاس الطيفي يصبح أداة بسيطة ومنخفضة التكلفة . الانعكاس الطيفي يمكن بسهولة دمجها مع أقوى نفاذية التحليل . الانعكاس الطيفي هو عادة الخيار الأول مع سماكة الفيلم أكثر من 10um ، في حين أن ellipsometry يركز على سمك الفيلم رقيقة 10nm . . . . . . . بين 10nm و 10um سمك ، كل التقنيات المتاحة . وعلاوة على ذلك ، الانعكاس الطيفي ، والتي لديها مزايا السرعة والبساطة والتكلفة المنخفضة ، هو عادة أفضل خيار .

ثانياالوظيفة الرئيسية

قياس سمك ، الانكسار ، الانعكاس و الاختراق

Ÿ تراكب فيلم واحد أو متعدد الطبقات

Ÿ الكشف التلقائي الأخدود

Ÿ تحديد خط الأساس التلقائي

Ÿ التلقائي بالكامل نقل رقاقة

lالقدرة التقنية

نطاق الطول الموجي الطيفية : 190-1700 نانومتر

قياس مدى سمك : 5nm-450 ميكرون

منصة متكاملة / مطياف / جهاز مصدر الضوء ( باستثناء منصة )

س6' and 200mm

إشارة رقاقةTS-SiO2-4-7200

معيار سمك

فراغ مضخة