انخفاض ضغط بخار ترسب المواد الكيميائية نظام lpcvd

1 نظرة عامة على المنتجاتس

الضغط المنخفض نظام ترسيب الأبخرة الكيميائية )LPCVDهو نوع من التكنولوجيا التي يمكن أن تتفاعل مع المركبات الغازية على سطح الركيزة وترسب على شكل فيلم الصلبة مستقرة من خلال التدفئة تحت ضغط منخفض . تطبيق هذا النظام في تصنيع أشباه الموصلات ، والالكترونيات السلطة ، والضوئياتميمسوغيرها من المجالات التي تستخدم على نطاق واسع .LPCVDمن خلال التحكم بدقة في درجة الحرارة ، الضغط ، معدل تدفق الغاز وغيرها من المعالم ، نظام يمكن أن تشكل الفيلم مع التوحيد جيدة على سطح الركيزة ، وتلبية مختلف الاحتياجات التكنولوجية .

2 استخدام المعدات :

LPCVDوتشمل الاستخدامات الرئيسية للنظام :

1. رقيقة ترسب : تستخدم لإيداع مجموعة متنوعة من المواد رقيقة ، مثلبولي سيالبولي سيليكونSi3N4( نيتريد السيليكون )سيو 2( ثاني أكسيد السيليكون ) ، والفوسفور والسيليكون والزجاج ، والزجاج البورسليكات والفوسفور ، غير متبلور السليكون صهر المعادن السيليسيد ، الخ . هذه الأفلام لها تطبيقات واسعة في أجهزة أشباه الموصلات ، الطاقة والالكترونيات ، والأجهزة البصرية الالكترونيةميمسهيكل يلعب دورا رئيسيا .

2. تصنيع أشباه الموصلات : في عملية تصنيع أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة ،LPCVDالنظام يستخدم لتشكيل هياكل رئيسية مثل أكسيد البوابة ، سطح طبقة التخميل ، نتريد الإجهاد طبقة عازلة ، الهدى طبقة أكسيد ، أكسيد طبقة الحاجز ، الخ .

3. تطبيقات الإلكترونيات الضوئية : في مجال الإلكترونيات الضوئية ،LPCVDويستخدم هذا النظام في إعداد الدليل الموجي البصري ، متغير مؤشر الانكسار طبقة ، طبقة مضادة للانعكاس وغيرها من الأفلام البصرية ، وتحسين أداء الجهاز .

3 معدات مميزة

LPCVDويتميز النظام بما يلي :

1. انخفاض ضغط البيئة : إيداع تحت ضغط منخفض يساعد على الحد من التصادم و تشتت جزيئات الغاز ، وتحسين التوحيد و جودة الفيلم .

2. عالية الدقة التحكم : يستخدم النظام المتقدمة تكنولوجيا التحكم في درجة الحرارة ، الضغط ، تدفق الغاز ، ويمكن التحكم بدقة في عملية الترسيب المعلمات لضمان دقة واتساق الفيلم .

3. متعددة الأغراض : يمكن أن تودع أنواع كثيرة من مواد رقيقة ، وتلبية مختلف الاحتياجات التكنولوجية ، مع طائفة واسعة من التطبيقات .

4. عالية الكفاءة : بسبب انخفاض ضغط العمل ، متوسط المسار الحر و معامل انتشار جزيئات الغاز كبيرة ، يمكن استخدام طريقة التحميل الكثيفة لتحسين الإنتاجية .

4 المعلمات التقنية والميزات :

1. تلبية متطلبات درجة حرارة عالية وسرعة التبريد الجرافين و أنابيب الكربون النانوية .

2. قطر200غرفة كوارتز

3. الداخلية أنبوب الكوارتز مصممة لسهولة التفكيك والتنظيف

4. حجم الركيزة يمكن أن تصل إلى القطر150مليمتر

5. ثلاثة منطقة فرن المقاومة ،150مم درجة حرارة موحدة في المنطقة

6. ارتفاع درجة الحرارة1000°C

7. استخدام نوع خنقضريبة القيمة المضافةصمام فراشة المصب التحكم في الضغط50 متر تورإلى500 متر توربين

8-8قدم مكعبومنقسمإيبارا ESA25-Dفراغ مضخة الجافة-اثنين من فراغ جاف