أشباه الموصلات نظام التحكم في درجة الحرارة

أشباه الموصلات نظام التحكم في درجة الحرارة，بواسطة تشاك كهرباء ( ESC ،إي تشاك) التحكم في درجة الحرارة الديناميكية ،توفير مستقرة التحكم في درجة الحرارة البلازما النقش التطبيقات .توقف توقفعلى أساس نظرية بلتيير عنصر نقل الحرارة ، مقارنة مع التقليدية نظام ضاغط ، يمكن حفظ ما يصل الى 90 ٪ من استهلاك الطاقة . فائدة نموذج لديها مزايا الحجم الصغير ، مساحة صغيرة الاحتلال ، ويمكن ترتيبها في طبقات تحت الأرض بشكل انتقائي ، وبالتالي توفير مساحة غرفة نظيفة .لودا سيميستات مايوعملية التحكم في درجة الحرارة في ± 0.1 ك بسرعة وبدقة ، وبالتالي تحسين التجانس بين رقائق .

ميزات المنتج:

• انخفاض استهلاك الطاقة بدون نظام ضاغط والمبردات ،تشغيل هادئة ، والاهتزاز الصغيرة

• مع تنظيف الهواء الجاف ( CDA ) تطهير واجهة لمنع الماء المكثف من توليد

• فائدة نموذج يحتوي على مزايا البنية المدمجة ، خفيفة الوزن ، صغيرة المساحة المحتلة .
• كمية صغيرة من السائل موصل للحرارة

• لا مرشحات أو دي المكونات المطلوبة

• تبريد المياه نوع

تطبيقات نموذجية :

في تصنيع أشباه الموصلات ، النقش البلازما هو جزء أساسي من سلسلة العملية ، بما في ذلك الحفر الجاف والرطب الحفر . في التنميش الجاف ، لوحة أشباه الموصلات ( رقاقة ) ينفذ العلاج البلازما في فراغ النقش الدائرة . الأيونات في البلازما قصف رقاقة ، وبالتالي فصل المواد . على سبيل المثال ، طبقة أكسيد على رقاقة السيليكون يمكن إزالتها بهذه الطريقة ثم المغلفة مع مخدر طبقة ( إضافة ذرات غريبة ، وبالتالي وجود بعض الموصلية الكهربائية ) .

درجة حرارة البلازما سوف تؤثر على سرعة وكفاءة النقش . إذا كانت درجة الحرارة منخفضة جدا ، البلازما ليست نشطة بما فيه الكفاية على نحو فعال الاجتثاث من المواد . إذا كانت درجة الحرارة مرتفعة جدا ، يمكن أن تكون المواد الاجتثاث المفرط ، مما يؤدي إلى أخطاء والأضرار . ولذلك ، من المهم جدا أن دقة التحكم في درجة حرارة البلازما في تصنيع أشباه الموصلات ، لأن نطاق تجهيز رقاقة بين ميكرون نانومتر . حتى لو كانت درجة الحرارة تتغير قليلا ، فإنه يمكن أن يؤدي إلى تغييرات كبيرة في حجم وشكل النقش الهياكل .لوداسيميستات مايوالتنميش الجافهذه العملية الحساسةتوفير حلول التحكم في درجة الحرارة الخاصةمنتدى

معلمات المنتج :

نطاق درجة حرارة التشغيل - 20 ℃ . . . . . . . 90 درجة مئوية

استقرار درجة الحرارةدرجة مئوية

سخان الطاقة الحد الأدنى 6 كيلوواط

الحد الأدنى من قدرة التعبئة 1.25 لتر

أقصى قدرة التعبئة 1.6 لتر

الأبعاد ( العرض × العمق × الارتفاع ) 116 × 300 × 560 مم

وزن 25 كجم

الطير

تبريد انتاج الطاقة

اعتمادا على درجة حرارة العملية و معدل تدفق مياه التبريد

أشباه الموصلات نظام التحكم في درجة الحرارة

نماذج أخرى من نفس السلسلة