أريوس مصغرة الميكروويف متحمس ايون مصدر المعدات في اليابان

اليابان arios مصغرة الميكروويف متحمس ايون معدات المصدر ، اليابان arios مصغرة الميكروويف متحمس ايون معدات المصدر

نظرة عامة على المنتجات

السمات الأساسية

• تصميم مضغوط وكفاءة عالية أيون المصدرغرفة البلازما مصنوعة من الكوارتز ، والتي يمكن استخدامها لمراقبة أداء بصريا . تصميم هيكل من ثلاثة أقطاب يمكن استخدامها للحصول على شعاع ايون الحالية المرتفعة مع انخفاض الطاقة الميكروويف .

• انخفاض التلوث النجاسة تصميمجزء من غرفة البلازما في اتصال مع البلازما تتكون من مواد عازلة ( الألومينا + الكوارتز ) ، والتي يمكن أن تقلل من الشوائب .

• درع السلامة والتبريد تصميماعتماد كامل التدريع هيكل ، يمكن منع تسرب الميكروويف ، وسلامة عالية . كامل تبريد الهواء نوع التصميم ، لا تحتاج إلى تبريد المياه ، وانخفاض تكلفة المعدات المساعدة .

• مناسبة لمختلف الغازات والعملياتيمكن استخدام مجموعة متنوعة من الغازات النشطة ، مع اختياري التعادل ، يمكن أن تستخدم أيضا في معالجة العوازل المشهد .

• سهلة التركيب والاتصالالميكروويف تنتقل عن طريق كابل متحد المحور ، لا تحتاج إلى اتصال معقدة موجة القناة ، وتركيب المعدات والتصحيح هو أكثر ملاءمة .

البارامترات الأساسية

تطبيق المشهد

• شعاع ايون العلاج في المختبر ، مثل تعديل السطح ، النقش ، والتنظيف ، الخ .

• شعاع ايون بمساعدة ترسيب في عملية إعداد الأفلام لتحسين الالتصاق والأداء

• المواد العازلة تجهيز المشهد ، مع اختيار الجهاز يمكن أن تلبي متطلبات عملية العزل الركيزة

• ايون مصدر البحث والتطوير وعملية التحقق من المختبرات في معاهد البحوث والجامعات