كامل الطيف ellipsometry se950

ميزة

1 ، مايكرو بقعة ضوء وظيفة : معيار تكوين مايكرو بقعة ضوء بقعة ضوء حجم 80x120 ميكرون . تصميم البصرية الخاصة جنبا إلى جنب مع دقة عالية z-axis طحن الصف تلقائيا يزيل انعكاس الخلفية شفافة الركيزة . التركيز على الموقف من الفيلم طبقة يمكن الحكم تلقائيا في عملية التركيز و انعكاس خلفي من الركيزة شفافة يمكن التغلب عليها من خلال فتحة بصرية .

2 ، باستخدام إشارة التركيز التلقائي ، وقياس إشارة إشارة التركيز على نفس الإشارة على نحو فعال لتجنب قياس موقف خطأ .

3 ، محلل التتبع التلقائي : زيادة كبيرة في دقة القياس ellipsometry ، ولا سيما من أجل تحليل المواد القطبية فيلم

4 ، قابل للتعديل كهربائيا التوهين : تلقائيا أو يدويا ضبط درجة التشبع من عينات مختلفة من إشارة ( 100 ٪ ~ 0.1 في المائة ) ، ويمكن تعيين إشارة الأشعة فوق البنفسجية والضوء المرئي كثافة إشارة إلى الحصول على أفضل قياس الإشارات

5 ، برامج التحليل الآلي وتركيب : توفير سماكة الفيلم الانكسار قبل تحليل وظيفة ، قاعدة بيانات غير معروفة مقارنة قدرة المواد ، برامج التحليل الآلي وتبسيط العملية ، والتغلب على ellipsometry دائما من قبل المهنيين العاملين في قياس الصعوبات .

6 ، التحكم عن بعد : من خلال كسر ellipsometry الحاجة إلى الخدمة الميدانية والتدريب القيود ، إلى حد كبير تحسين كفاءة خدمة ما بعد البيع

7 ، عالية الجودة الأشعة فوق البنفسجية الطيفي : مجموعة الطيف 220nm-1100nm ( اختياري مطابقة 1700nm ) القرار أقل من 1 نانومتر مع أشباه الموصلات التبريد ، وارتفاع نسبة الديناميكية ، نسبة الإشارة إلى الضوضاء قدر الإمكان للحد من تأثير الضوضاء

8 ، تلقائيا توليد 2D أو 3D خريطة الخريطة تلقائيا تحليل البيانات ، الطيفية تلقائيا حفظ البيانات يمكن جمعها وتحميلها

9 ، إلى إعادة تعيين وقت الاختبار إلى تقصير كبير في 1-3 ثوان ، وتحسين كفاءة الاختبار .

10 ، تصميم مضاد للأشعة فوق البنفسجية تخميل الألياف هيكل مزدوج ، متقدمة وظيفة قطع ، إلى حد كبير تحسين الاستقرار الطيفية والموثوقية على المدى الطويل .

11 - تكرار دقة عالية الاستقرار معيار سمك الفيلم < 0.5a ، معامل الانكسار تكرار دقة < 0.0005

12 ، سماكة الفيلم اختبار مجموعة 1nm-20 ميكرون يمكن أن تكون شفافة أو مبهمة الركيزة اختبار

النمذجة الحرة

مواصفة :

مبدأ البصريات :

موجة الضوء المستقطب من الاتصال مع سطح الجمعية البصرية لفترة قصيرة من الوقت بعيدا عن سطح الجمعية البصرية .الدولة يجب أن تتغير . بيضاوي الشكل المستقطب هو أداة تستخدم لقياس موجة الضوء .أداة تخترق الجمعية البصرية ، أو يعكس حالة الاستقطاب قبل وبعد تغيير من سطح الجمعية البصرية . من .تغيير الاستقطاب هو نتيجة التفاعل بين الضوء و المواد البصرية العامة .الخصائص الفيزيائية من سطح العنصر البصري يمكن استخلاصه من تغيير حالة الاستقطاب . هناسطح عنصر بصري يمكن أن يكون سطح عنصر بصري ، ويمكن أيضا أن تكون طبقة واحدة أو متعددة الطبقات فيلم .قد يكون أيضا طبقة من التلوث على سطح الجمعية البصرية .
الضوء المنعكس من الصفر زاوية السقوط على سطح العينة .تغيير في حالة الاستقطاب ( المرحلة والسعة ) بسبب امتصاص أو الشفافية .الطريقة التي نسميها ellipsometry . . . . . . . كل الطول الموجي ، ونحن الحصول على اثنين من المعلمات المستقلةعدد