F3 نقطة واحدة اختبار سماكة الفيلم

الفيلم سلسلة من جيش تحرير كوسوفو يستخدم تقنية الانعكاس الطيفي لتحقيق دقة قياس سماكة الفيلم ، الذي يتراوح من نانومتر إلى مم ، ويمكن تحقيق دقة قياس سماكة الفيلم ، مثل مقاومة للضوء ، وأكسيد السيليكون ، أو غيرها من أشباه الموصلات فيلم ، فيلم العضوية ، موصل شفافة فيلم وهلم جرا ، وتستخدم على نطاق واسع في مجال أشباه الموصلات ، والالكترونيات الدقيقة ، والطب الحيوي ، وهلم جرا . الفيلم يحتوي على العديد من المنتجات ، مثل f10-hc f20 , f32 , f40 , f50 , و f60-t ، والتي يمكن قياس حجم العينة من عدة ملم إلى 450mm ، قياس سماكة الفيلم مجموعة من 1 نانومتر إلى مم . f3-sx يمكن قياس سمك العديد من أشباه الموصلات و طبقة عازلة ، ويمكن قياس سمك الحد الأقصى تصل إلى 3 ملم . f3-sx سلسلة تكوين 10 ميكرون اختبار بقعة قطرها ، بحيث يمكن بسرعة وسهولة قياس سماكة الفيلم وغيرها من أدوات الاختبار لا يمكن قياس المواد الفيلم .

مبدأ القياس - الانعكاس الطيفي

ellipsometer الطيفية ( SE ) و الانعكاس الطيفي ( ريال ) تستخدم لتحليل الضوء المنعكس لتحديد سمك وانكسار عوازل ، وأشباه الموصلات ، والأفلام المعدنية . الفرق الرئيسي بينهما هو أن ellipsometry يقيس الضوء المنعكس من زاوية صغيرة من الفيلم ، في حين أن الانعكاس الطيفي يقيس الضوء المنعكس من الفيلم عموديا . الانعكاس الطيفي يقيس الضوء الرأسي الذي يتجاهل تأثير الاستقطاب ( معظم الأفلام هي متناظرة بالتناوب ) . منذ لا تنطوي على أي جهاز محمول ، الانعكاس الطيفي يصبح أداة بسيطة ومنخفضة التكلفة . الانعكاس الطيفي يمكن بسهولة دمجها مع أقوى نفاذية التحليل . الانعكاس الطيفي هو عادة الخيار الأول مع سماكة الفيلم أكثر من 10um ، في حين أن ellipsometry يركز على سمك الفيلم رقيقة 10nm . . . . . . . بين 10nm و 10um سمك ، كل التقنيات المتاحة . وعلاوة على ذلك ، الانعكاس الطيفي ، والتي لديها مزايا السرعة والبساطة والتكلفة المنخفضة ، هو عادة أفضل خيار .

أولاً - المهام الرئيسية

التطبيق الرئيسي

قياس سماكة الفيلم ، معامل الانكسار ، الانعكاس و الاختراق :

القدرة التقنية

نطاق الطول الموجي الطيفية : 380-1580 نانومتر

قياس مدى سمك : 10nm-3mm

قياس ن & ك سمك الحد الأدنى : 50 نانومتر

دقة : تأخذ قيمة أكبر ، 50nm أو 0.2 في المائة

دقة : 5nm

الاستقرار : 5nm

حجم البقعة : 10 ميكرومتر

حجم العينة : القطر من 1mm إلى 300mm أو أكبر

ثانياً - التطبيق

أشباه الموصلات رقيقة : مقاومة للضوء ، عملية رقيقة ، مواد عازلة

شاشات الكريستال السائل : لقد اخترت ، سمك الزجاج ، ITO

طلاء البصرية : من الصعب سمك الطلاء ، طلاء مضاد للانعكاس

فيلم البوليمر : بي ، الكمبيوتر