قناع التلقائي محاذاة نظام EVG الصك

IQ محاذاة NTقناع التلقائي نظام المحاذاةنماذج المنفعة هي عدم الاتصال الطباعة الحجرية منصة مع درجة عالية من الأتمتة ، والتي يمكن أن تلبي متطلبات الحد الأدنى من التلوث في خط الانتاج قناع قناع وإطالة عمر المنتج العائد . بالإضافة إلى مجموعة متنوعة من وظائف المحاذاة ، هذا النظام يمكن أن تدعم تلقائيا والتعامل مع رقائق مشوه أو أرق من خلال الكثير من التركيب و التحقق في الموقع من خلال التكوين الخاص . الهجين عملية المطابقة بين مستوى أعلى أو أسفل الوجه المحاذاة المتكاملة الأشعة تحت الحمراء وظيفة المحاذاة كذلك يوسع مجال التطبيق ، ولا سيما في محاذاة مع الهندسة أو المستعبدين ( المستعبدين ) ركائز . هذا النظام يدعم أيضا رقاقة المحاذاة القفز السيطرة من خلال استجابة سريعة التحكم في درجة الحرارة مجموعة من الأدوات .بالمقارنة مع الجيل السابق من الذكاء aligner EVG ، عالية الطاقة الأجهزة البصرية لديها أعلى كثافة الإضاءة ثلاث مرات ، مما يجعلها الخيار الأمثل التعرض سميكة مقاومة الخسارة وغيرها من الأفلام المرتبطة تجهيز عثرة ، تبختر ، وغيرها من الخصائص المورفولوجية العالية . . .

الذكاء aligner خصائص الأداء

• ■ صفر مساعدة أداة سد - ركائز مزدوجة ، ودعم 200mm والمواصفات 300mm

• ■ شفافة تماما مجال قناع الحركة ( FCM ) ، وتحقيق التوافق مع نمط مرنة لتحديد المواقع والمحاذاة قناع الحقل المظلم
  

• ■ الإنتاجية دون نسبة الين ( الطباعة الأولى / المحاذاة ) > 200 WPH / 160 WPH

• ■ أعلى / أسفل المحاذاة دقة تصل إلى ± 250 نانومتر / ± 500 نانومتر

• ■ عملية القرب 100% تماس

• ■ القدرة على محاذاة حقل مظلم / حقل كامل إزالة قناع ( FCM )

• ■ تحقيق دقة تعويض الضربصغيرتداخل المحاذاة

• ■ منصة برمجيات ذكية لمراقبة العملية وإطار تحليل الأداء

البيانات التقنية

إسفين التعويض : كامل تلقائي - برامج التحكم ؛ عدم الاتصال

المحاذاة المتقدمة وظيفة : المحاذاة التلقائية ؛ فجوة كبيرة المحاذاة . القفز التحكم المحاذاة . دينامية المحاذاة

وظائف الأتمتة الصناعية : شريط كاسيت / SMIF / FOUP / SECS / GEM / رقيقة ، والانحناء ، انفتال ، حافة رقاقة معالجة

رقاقة القطر ( حجم الركيزة ) : تصل إلى 300 ملم

محاذاة الوضع :

• محاذاة الجانب العلوي : ≤ ± 0.25 ميكرومتر

• محاذاة الجانب السفلي : ≤ ± 0.5 ميكرومتر

• معايرة الأشعة تحت الحمراء : ≤ ± 2 , 0 ميكرومتر / اعتمادا على الركيزة

التعرض الإعداد : فراغ الاتصال / الاتصال الثابت / لينة الاتصال / وضع القرب / وضع الانحناء

خيارات التعرض : الفاصل الزمني التعرض / التعرض الكامل

نظام التحكم

• نظام التشغيل : Windows

• تبادل الملفات وحلول النسخ الاحتياطي / غير محدود الوصفات والمعلمات

• متعدد اللغات واجهة المستخدم الرسومية ودعم : اةي ، دي ، الاب ، ومن ، جي بي ، كر

• في الوقت الحقيقي الوصول عن بعد والتشخيص واستكشاف الأخطاء وإصلاحها

تطبيق

الذكاء aligner الإقليم الشمالي هو مناسبة جدا لمجموعة متنوعة من أنواع التعبئة والتغليف المتطورة ، بما في ذلك رقاقة على مستوى التعبئة والتغليف ( wlcsp ) ، fanout رقاقة على مستوى التعبئة والتغليف ( fowlp ) ، 3d-ic / من خلال ثقب السيليكون ( TSV ) ، 2.5D طبقة وسيطة ، الوجه رقاقة .