غرفة مزدوجة فراغ عالية جدا المغنطرون الاخرق نظام

واحدغرفة مزدوجة فراغ عالية جدا المغنطرون الاخرق نظامالمعالم الأساسية :

نوع الصك : المغنطرون الاخرق

بلد المنشأ : الصين

مجال التطبيق : الإلكترونيات الدقيقة

حجم الركيزة : 4 بوصة ( قابل للتعديل )

الهدف : التنتالوم

درجة حرارة الركيزة المدى : RT-900 درجة مئوية

سماكة الفيلم التوحيد : الركيزة النقش التوحيد < 3 ٪

الفراغ : فراغ المدقع المدقع 3e-9torr

مبدأ المغنطرون الاخرق التكنولوجيا :

متعامد المجال الكهرومغناطيسي يتكون فوق سطح الكاثود الهدف . عندما الإلكترونات الثانوية التي تنتجها الاخرق تسارع الإلكترونات ذات الطاقة العالية في منطقة الهبوط من الكاثود ، فإنها لا تطير مباشرة إلى الأنود ، ولكن جعل الحركة التقريبية دائري تتأرجح ذهابا وإيابا في إطار العمل من المجال الكهرومغناطيسي متعامد . . . . . . . الإلكترونات ذات الطاقة العالية باستمرار تتصادم مع جزيئات الغاز و نقل الطاقة إلى جزيئات الغاز ، مما تسبب في تأين الإلكترونات ذات الطاقة المنخفضة . هذه الإلكترونات منخفضة الطاقة في نهاية المطاف الانجراف على طول خط القوة المغناطيسية إلى مساعدة الأنود بالقرب من القطب السالب ، وبالتالي تجنب القصف المكثف من الإلكترونات عالية الطاقة على لوحة القطبية ، والقضاء على الضرر الناجم عن القصف التدفئة والإشعاع الالكترون من لوحة القطبية في الثانوية الاخرق ، مما يدل على خصائص " انخفاض درجة الحرارة " من لوحة القطبية في المغنطرون الاخرق . بسبب وجود مجال مغناطيسي خارجي ، حركة معقدة من الإلكترونات يزيد من معدل التأين ، وبالتالي تحقيق سرعة عالية الاخرق .

ثالثاغرفة مزدوجة فراغ عالية جدا المغنطرون الاخرق نظامالميزات التقنية :

ارتفاع معدل تشكيل الفيلم ، وانخفاض درجة حرارة الركيزة ، التصاق جيدة

خدمات ما بعد البيع :

الضمان : 1 سنة

يمكن تمديد الضمان : لا

مجال الاستشارات الفنية : نعم

التدريب المجاني : 1 - توفير ما لا يقل عن 2 أشخاص في الأسبوع قبل مغادرة المصنع . 2 - الانتهاء من تركيب المعدات والتصحيح في الموقع

صيانة مجانية : ترتيب حسب الحاجة

ضمان التزام الصيانة : خلال فترة الضمان ( باستثناء الكوارث الطبيعية والبشرية الضرر ) أجزاء ومكونات التكاليف ، وتكاليف السفر من قبل الأمين

الالتزام : في حالة حدوث عطل خلال فترة الضمان ، ونحن سوف تستجيب في الوقت المناسب ، وإرسال الموظفين التقنيين إلى الموقع في غضون 8 ساعات لحل المشكلة .

خامساً - البارامترات التقنية :

سادساً - عرض العملية :