CS100 الشامل تدفق تحكم تدفق متر

CS100

نموذج

CS100A

CS100D

صمام نوع

عادة مغلقة

لا

عادة مغلقة

لا

مواصفات التدفق ( N2 )

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

دقة

± 1 ٪ s.p . ( ≥ 35 ٪ f.s . ) ؛ ± 0.35 ٪ f.s . ( < 35 ٪ f.s . ) .

خطي

± 0.5% ف . س .

تكرار الدقة

± 0.2% ف . س .

زمن الاستجابة

≤ 1sec

مجموعة ضغط العمل

0.05～0.35MPa； مواصفات تدفق ≤ 10slm
0.1～0.35MPa ； 10 < مواصفات تدفق ≤ 30slm
0.25～0.45MPa ； 30 < مواصفات تدفق ≤ 50slm

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa； مواصفات تدفق ≤ 10slm
0.1～0.35MPa； 10 < مواصفات تدفق ≤ 30slm

＜0.02 MPa

معامل درجة الحرارة

نقطة الصفر : ≤ ± 0.05 ٪ و / ج . تنظيم الوقت : ≤ ± 0.1 في المائة و ق / ℃

تحمل الجهد

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

معدل التسرب

س^-9Pa·m³ثانية هو^-8atm·cc / sec He）

ختم المواد

الفلور المطاط

معدن ختم

أقصى ضغط العمل

0.45MPa

درجة حرارة بيئة العمل

( 5-45 ) ℃

إشارة الإدخال

محاكاة
(0～5)VDC

رقم : RS485

لا

لا

محاكاة
(0～5)VDC

رقم : RS485

لا

لا

إشارة خرج

محاكاة
(0～5)VDC

رقم : RS485

المحاكاة : ( 0 ~ 5 ) VDC

رقم : RS485

محاكاة
(0～5)VDC

رقم : RS485

محاكاة
(0～5)VDC

رقم : RS485

السلطة موصل نوع

نوع د 9 إبر
يانغ موصل ;

نوع د 15 إبرة
ذكر المشترك

نوع د 9 إبر
يانغ موصل ;

س نوع إبرة
ذكر المشترك

نوع د 15 إبرة
ذكر المشترك

نوع د 9 إبر
يانغ موصل ;

نوع د 15 إبرة
ذكر المشترك

نوع د 9 دبوس موصل ذكر ;

يا نوع 3 دبوس موصل ذكر

نوع د 15 دبوس موصل

نوع د 9 إبر
يانغ موصل ;

نوع د 15 إبرة
ذكر المشترك

نوع د 9 إبر
يانغ موصل ;

س نوع إبرة
ذكر المشترك

نوع د 15 إبرة
ذكر المشترك

نوع د 9 إبر
يانغ موصل ;

نوع د 15 إبرة
ذكر المشترك

نوع د 9 دبوس موصل ذكر ;

يا نوع 3 دبوس موصل ذكر

نوع د 15 دبوس موصل

إمدادات الطاقة

± 15 ف

± 15 ف

+24V

± 15 ف

± 15 ف

+24V

± 15 ف

± 15 ف

+24V

± 15 ف

± 15 ف

+24V

التلقائي تطهير

دعم

خشونة السطح

25μinch Ra

معيار شكل مشترك

بطاقة مزدوجة الأكمام φ 6 ; 2 . بطاقة مزدوجة كم كم بطاقة مزدوجة 1 / 4 ′ ؛ كم بطاقة مزدوجة 1 / 8 ′ ؛

VCR1 / 4 ′ ′ يانغ موصل ;

φ 6 ( الداخلية ) X1 خرطوم موصل ; φ 5 ( الداخلية ) x1.5 خرطوم موصل ؛ φ 4 ( الداخلية ) X1 خرطوم موصل

vcr1 / 4 " ذكر موصل

وزن .

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg