c2gr16 عمودي فرن بخار ترسب

المبدأ الأساسي وخصائص المعدات

1.المبدأ الأساسي :
ترسيب الأبخرة الكيميائية المستحثة حراريا ( الأمراض القلبية الوعائية ) هو وسيلة قوية لإيداع الطلاءات الواقية لمختلف العوازل الكهربائية وأشباه الموصلات والمواد المعدنية ، سواء كانت أحادية ، الكريستالات ، غير متبلور أو الفوقي في الدولة أو في شكل كبير أو صغير . مواد الطلاء نموذجية تشمل الكربون بالتحلل الحراري ، كربيد السيليكون ، نيتريد البورون . من خلال استخدام السلائف الاصطناعية ، والطلاء هي نقية جدا و تهدف إلى تلبية الاحتياجات النموذجية في صناعة أشباه الموصلات ، اعتمادا على البارامترات التكنولوجية ، يمكن أن يكون هناك مجموعة متنوعة من سمك طبقة ، من واحد أو أكثر من طبقات الذرية إلى طبقة واقية صلبة أو وظيفية مع سمك من 10 نانومتر إلى مئات ميكرون ، فضلا عن أجزاء متجانسة مع سمك يصل إلى 100 ميكرومتر ، أو حتى عدة ملليمترات .منتدى

2 . ميزات المعدات :
( 1 ) اعتماد هيكل أفقي والجانب فتح الباب ، عالية الدقة التحميل والتفريغ ، عملية مريحة ؛
( 2 ) اعتماد تكنولوجيا التحكم المتقدمة ، والتي يمكن التحكم بدقة معدل التدفق والضغط من النظام التجاري المتعدد الأطراف ، تدفق الهواء في الفرن مستقرة ، ومجموعة صغيرة من تقلبات الضغط ؛
( 3 ) درجة الحرارة التوحيد جيدة ، متوسط درجة الحرارة التوحيد ± 5 ℃ ؛
( 4 ) اعتماد متعدد القنوات ترسب الغاز المسار ، حتى تدفق الحقل ، لا ترسب زاوية ميتة ، وحسن تأثير الترسيب .
( 5 ) مغلقة تماما غرفة الترسيب ، وحسن تأثير الختم ، ومكافحة التلوث قدرة قوية ؛
( 6 ) أداء السلامة جيدة ، واستخدام HMI + PLC + PID التحكم في البرنامج ، آمنة وموثوق بها ؛
( 7 ) المعالجة الفعالة لانبعاثات الغازات المسببة للتآكل للغاية ، والغازات القابلة للاشتعال والمتفجرة ، والغبار الصلب والمنتجات اللزجة ذات نقطة انصهار منخفضة الناتجة عن الترسبات؛
( 8 ) متعدد المراحل عالية الكفاءة نظام معالجة الغاز الذيل ، صديقة للبيئة ، ويمكن جمع القطران والمنتجات ذات الكفاءة العالية ، وسهلة التنظيف ؛
( 9 ) اعتماد تصميم وحدة فراغ المضادة للتآكل ، والتي تستمر لفترة طويلة ، وانخفاض معدل الصيانة .

ثانياc2gr16 عمودي فرن بخار ترسب(المعلمات التقنية الرئيسية :