6 بوصة نانو آلة الطباعة الحجرية نانو

nanoimprint التكنولوجيا قد كسر من خلال صعوبة الطباعة الحجرية التقليدية في عملية الحد من ميزة الحجم . منذمنذ عام 1995 ، nanoimprint وقد وضعت لمدة 14 عاما ، وقد تم تطبيقها على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات mems、 biochip ، والطب الحيوي وغيرها من المجالات ، كما اشاد 10 تغييرات كبيرة في التكنولوجيا البشرية .
نيل الصحافةالفكرة الأساسية هي نقل نمط المقابلة على الركيزة من خلال قالب ، نقل متوسطة عادة ما تكون رقيقة جدا فيلم البوليمر ، من خلال الضغط الساخنة أو الإشعاع ، وما إلى ذلك هيكل صلابة ، وبالتالي الحفاظ على نقل نمط . العملية برمتها تشمل نقش ونقل الرسومات . اعتمادا على طريقة النقش ،نيل يمكن تقسيمها إلى ثلاث تقنيات الطباعة الحجرية بالحرارة ، الأشعة فوق البنفسجية للشفاء ، مايكرو الاتصال ( UCP ) .

ثانيا وظيفة .

lالوظيفة الرئيسية

الوظيفة الرئيسية نانو بصمة هو نقل نمط المقابلة على الركيزة ، نقل متوسطة عادة ما تكون رقيقة جدا فيلم البوليمر ، من خلال الضغط الحراري أو الإشعاع وغيرها من أساليب تصلب هيكلها للحفاظ على نقل نمط . وتنقسم تقنيات بصمة أساسا إلى نوعين :

حارّ يضغطأولا ، طبقة رقيقة من البوليمر المواد بالحرارة ( على سبيل المثالPMMA）。 ارتفاع درجة الحرارة تصل إلى درجة حرارة التحول الزجاجي تيراغرام من المواد بالحرارة . المواد بالحرارة في مرونة عالية في الدولة ، نانو الحجم يموت الضغط على أعلى من ذلك ، وتطبيق الضغط المناسب ، المواد بالحرارة سوف تملأ تجويف القالب ، بعد عملية صب ، وانخفاض درجة الحرارة ، المواد بالحرارة علاج ، وبالتالي الحصول على نمط صدفة مع القالب . بعد ذلك يتم إزالة القالب ، كل مرحلة الحفر تتم لإزالة البوليمر المتبقية . ثم نقل الرسومات . نمط نقل قد تكون محفورة أو تجريد . باستخدام المواد بالحرارة كقناع ، النقش التكنولوجيا ينفذ متباين النقش على الركيزة أدناه ، وبالتالي الحصول على نمط المقابلة . . . . . . . عملية تجريد أولا طلاء المعادن على السطح ، ثم حل البوليمر مع المذيبات العضوية ، ثم المعادن على المواد بالحرارة كما سيتم تجريده ، وبالتالي وجود المعادن كقناع على الركيزة ، ثم النقش للحصول على نمط .

بصمة فوق البنفسجيةمن أجل تحسين عيوب التشوه الحراري في الطباعة الحجرية ، جامعة تكساسج . ز . willson و س . ف . سرينيفاسان وضعت خطوة فلاش imprint lithography ( خطوة فلاش imprint lithography ) باستخدام الأشعة فوق البنفسجية شفافة زجاج الكوارتز ( من الصعب ) أو ( PDMS لينة العفن ) ، مقاومة للضوء لاصقة منخفضة اللزوجة ، photocurable مونومر الحل . أولا ، انخفاض اللزوجة مونومر الحل هو إسقاط على الركيزة التي يمكن أن تكون مطبوعة ، جنبا إلى جنب مع عملية الإلكترونيات الدقيقة ، ترسب الفيلم يمكن أن تكون مغطاة تدور الغراء ، قالب الضغط على رقاقة مع ضغط منخفض جدا ، مما يجعل السائل تفريق وملء تجويف القالب . من خلال التعرض للأشعة فوق البنفسجية من العفن ، البوليمر في بصمة المنطقة بلمرة و الشفاء . وأخيرا ، طبقة المتبقية محفورا و نمط نقل تتم للحصول على هيكل مع ارتفاع نسبة الجانب . وأخيرا ، demoulding والرسومات عملية نقل مماثلة الساخنة الملحة .

lالخصائص التقنية

★ المضيف يحتوي على : نظام فراغ ، ونظام التحكم في درجة الحرارة ، ونظام التحكم في الضغط ، ونظام تبريد المياه ، PLCالسيطرة

نظام مراقبة ، واجهة البرنامج ، الأشعة فوق البنفسجية مصدر الضوء

ماكس بصمة حجم المعدات :6 بوصة .

الجهاز يمكن تحقيق الطباعة الحجرية ، الأشعة فوق البنفسجية الطباعة الحجرية

★أقصى ضغط8bar( ضاغط الهواء ) ،20bar( خارج غرفة نظيفة جدا مصدر الهواء )

مدى درجة الحرارة : من درجة حرارة الغرفة إلى 250 درجة مئوية .

مصباح الزئبق : الطاقة400Wالطول الموجي الرئيسي365nmمنتدى

★درجة فراغ المعدات :10 منديل .

★يمكن للمعدات بشكل عشوائي توفير مجموعة كاملة من نانو بصمة الغراء وفقا لمتطلبات البحث العلمي ، بما في ذلك :

الساخنة الملحة لاصقة ، لاصق الأشعة فوق البنفسجية للشفاء

ختم الغراء ، رفع قبالة) ختم الغراء

قالب سريع تصنيع المواد ، وأنواع مختلفة من قالب antisticking وكيل ، الركيزة Tackifier ، الخ .

★وفقا لمتطلبات البحث العلمي ، nanoimprint قوالب يمكن أن تقدم بشكل عشوائي مع المعدات .400nmق 24بوصة مصفوفة قالب النيكلSFP ® & Hybrid Mold ®لينة قالب

رامي .عقد20nmالقرار و سطح منحن النقش ، وتوفير الدعم الفني من الأدب ،

★دعم التلقائي demoulding ، وظيفة التدفئة الكهرومغناطيسية

في الداخل والخارج أكبر من 10 العملاء

★ وتشمل العملية :

نانو ختم الغراء طلاء الروتاري عملية الدعم

نانو بصمة قالب antisticking دعم العملية ، وتجنب تأثير demoulding فسكوزي

المعلمة تعديل نانو آلة الطباعة الحجرية

لينة قالب العملية ، بما في ذلك PDMSقالبSFPوكذلكHybrid Moldحرفة

ICPعملية النقش

عملية النقش على ركائز البوليمر مرنة ، Nickel Templateالنيكل المعدنية الساخنة الملحة قالبPET、PMMAالخ .

رفع قبالة) دعم العملية ، وتجهيز الهياكل المعدنية

بصمة نانو تكنولوجيا توصيف

تحديث دليل البحث والتطوير في عملية النقش

lالقدرة التقنية

من عام 2001 إلى عام 2003 ، المخترع من المعدات ، مخترع تكنولوجيا النانو بصمة ، أستاذ ستيفن تشو ، جامعة برينستون ، الولايات المتحدة الأمريكية ، مختبر النانو كمساعد باحث لمدة ثلاث سنوات من العمل البحثي ، الأشعة فوق البنفسجية للشفاء nanoimprint التكنولوجيا والمواد المتقدمة ، وتطوير تكنولوجيا النانو بصمة قدمت مساهمة هامة . بعد انضمامه إلى قسم علوم وهندسة المواد في عام 2004 ، العديد من أنواع جديدة من المواد nanoimprint تم بحثها وتطويرها على أساس تكنولوجيا النانو micromachining و nanoimprint . . . . . . .م ختم التكنولوجيا ؛ استغلبدعم من المشروع 863 " تطوير وتطبيق الأشعة فوق البنفسجية علاج الساخنة الملحة ذات الاستخدام المزدوج nanoimprint المعدات " ، وقد وضعت بنجاح ذات الاستخدام المزدوج nanoimprint المعدات مع الأشعة فوق البنفسجية علاج الساخنة الملحة وظيفة ، وقد تم بالفعل المنتج ، وقد تم اعتمادها من قبل جامعة نانجينغ ، وجامعة بكين للملاحة الجوية والفضائية ، جامعة الدفاع الوطني للعلوم والتكنولوجيا ، جامعة هيلونغجيانغ ، وشنتشن أكاديمية العلوم الصينية ، وغيرها من الجامعات ومؤسسات البحث العلمي ، وقد شكلت nanoimprint التكنولوجيا الأساسية مع حقوق الملكية الفكرية المستقلة ، وقد تم تطبيقها على عدد من الصين والولايات المتحدة لأغراض خاصة ، والمعايير التقنية الحالية مع المستوى الدولي الأكثر تقدما في هذا المجال .