عملية تدفق البلازما الأنظف يتضمن إعداد المعلمة الإعداد ، تشغيل ، والانتهاء من العملية . على وجه التحديد على النحو التالي :

أولاً - الأعمال التحضيرية

1 . معدات التفتيش : تأكد من أن جميع أجزاء من البلازما آلة التنظيف في حالة جيدة ، والمكونات الكهربائية يتم إدراجها بشكل صحيح و الجهد يتوافق مع المتطلبات ( عادة AC220V ± 10 ٪ ) ، وإمدادات الغاز كافية و لا تسرب الاتصال . التحقق من خطوط الغاز ( مثل الأرجون ، والأكسجين والنيتروجين ) ضيق ، يمكن أن يكون الماء والصابون مسحة على المفاصل من خلال الكشف عن فقاعات الهواء للتأكد من ضيق . وفي الوقت نفسه ، يجب التأكد من أن المعدات هي أسس جيدة ، وتجنب مخاطر التسرب .

2 . إعداد العينة : تنظيف سطح العينة إلى تنظيف قطعة كبيرة من الشوائب ( مثل الغبار والأوساخ دهني ) ، يمكن مسح الإيثانول المطلق بعد التجفيف . عينة ثابتة على حامل العينة لضمان أن السطح غير محمية و يتعرض بشكل موحد إلى البلازما ، ثم وضعه في مركز دائرة رد الفعل لتجنب الاقتراب من القطب . بالنسبة للأجسام الصغيرة ، يمكن أن تكون ثابتة باستخدام المشبك أو البليت لمنع الحركة أثناء التنظيف .

3 . البيئة والمواد الاستهلاكية تأكيد : فتح مجلس الوزراء تنفيس الهواء أو الجهاز ، وتجنب رد فعل البلازما تنتج الغاز تلوث البيئة . تحقق من اسطوانة الغاز الضغط ( عادة 0.2-0.5 الآلام والكروب الذهنية ) للتأكد من أن رد فعل الغرفة ختم حشية الباب نظيفة وخالية من الضرر ، والبيئة التجريبية ينبغي أن يكون هناك أي اهتزاز قوي أو الغبار .

إعدادات المعلمة

1 . طريقة الاختيار : اختيار طريقة عمل مناسبة ( على سبيل المثال ، التنظيف التقليدية ، تنظيف عميق ) أو نوع الغاز ( على سبيل المثال ، الأكسجين لإزالة الشحوم ، الأرجون على سطح التنشيط ، مركب تنظيف الأرجون + الأكسجين مختلطة ) .

2 - تعديل البارامترات :

- الطاقة : الطاقة العالية لاختيار العينة الصلبة ( على سبيل المثال 300W ) ، وانخفاض الطاقة لاختيار عينة لينة أو حساسة للحرارة ( على سبيل المثال 50W ) ؛

- الوقت : التلوث الخفيف لفترة قصيرة ( 30 ثانية - 2 دقيقة ) و التلوث الشديد لمدة 10 دقائق .

- درجة فراغ : عادة ما تكون في نطاق 10-100 باسكال؛

- تدفق الغاز : عادة ما تكون مجموعة من 10-50sccm لتجنب تدفق كبير جدا لتدمير فراغ أو صغيرة جدا مما أدى إلى عدم كفاية تركيز البلازما [ 2 ^ ] . بعض النماذج دعم إعداد المعلمة ( على سبيل المثال ، انخفاض الطاقة المعالجة ثم تنظيف عالية الطاقة ) .

بدء تشغيل

1 . vacuumizing : إغلاق باب دائرة رد الفعل ، بدء ضخ فراغ ، ضخ الضغط في الدائرة إلى مجموعة قيمة ( مثل 20pa ) . عندما يتم الانتهاء من الصك ، فإنه يدفع تلقائيا ( ضوء المؤشر على أو طنين ) .

2 . التهوية التأين : إدخال الغاز العامل والحفاظ على تدفق ثابت ، بدء تشغيل الترددات اللاسلكية مصدر الطاقة لتحفيز الغاز لتوليد البلازما . توهج خافت سوف تظهر في دائرة رد الفعل ، الذي هو ظاهرة طبيعية .

3 . في الوقت الحقيقي رصد : مراقبة درجة فراغ ، تدفق الغاز ، والسلطة ، الوقت المتبقي ، وغيرها من المعالم من خلال الشاشة لضمان عدم وجود شذوذ ( مثل درجة فراغ لا تصل إلى مستوى أو تسرب الغاز ) . بعض النماذج لديها وظيفة التنبيه التلقائي ، في حالة شاذة سوف تتوقف عن الحماية .

رابعاً - إنهاء المعاملة

1 . إيقاف تخفيف الضغط : بعد التنظيف ، إيقاف إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية ، صمام الغاز ، وأداة تلقائيا يدخل تخفيف الضغط الداخلي ( كمية صغيرة من غاز خامل في توازن الضغط الداخلي والخارجي ) . فتح الباب بعد تخفيف الضغط .

2 . أخذ العينات التفتيش : ارتداء القفازات الواقية لأخذ العينات ، ومراقبة حالة السطح ( إذا كانت جافة ، لا بقايا ) ، من خلال قطرات الماء زاوية الاتصال اختبار للتحقق من تأثير التنظيف . إذا كان عدد وافر من العينات التي تحتاج إلى معالجتها بشكل مستمر ، فراغ ضخ وتنظيف خطوة يمكن أن تتكرر مباشرة دون إيقاف إمدادات الطاقة الرئيسية .

3 . تنظيف وصيانة : مسح رد فعل الغرفة الباب ختم حشية مع خرقة نظيفة ، وتنظيف الغبار المتبقية في الغرفة . إغلاق صمام اسطوانة الغاز ، ووقف مضخة فراغ وقطع التيار الكهربائي ، والانتهاء من إغلاق .

عملية تدفق البلازما الأنظف هو موحد و ذكي ، و النقطة الرئيسية هي أن إعداد المعلمات قبل المباراة . يجب على المستخدمين ضبط المعلمات بمرونة وفقا لنموذج المواد ( الثابت / لينة ، ومقاومة درجات الحرارة ) و تنظيف الهدف ( إزالة النفط ، تفعيل ، النقش ) ، وفي الوقت نفسه الامتثال الصارم لمعايير السلامة ( مثل ارتداء نظارات واقية ، والقفازات ) . الصيانة الدورية للمعدات ( على سبيل المثال ، والتحقق من الختم ، وتنظيف غرفة رد الفعل ) يمكن أن يطيل عمر خدمة الجهاز بشكل ملحوظ ، وضمان استقرار تأثير التنظيف .