العاصمة المغنطرون الاخرق هو نوع من المعدات المستخدمة على نطاق واسع في إعداد الفيلم ، والتي غالبا ما تواجه العديد من المشاكل في التطبيق العملي . هذه المشاكل عادة ما تنطوي على عملية الاستقرار ، ونوعية الفيلم ، وصيانة المعدات ، وهلم جرا . وفيما يلي قائمة من المشاكل المشتركة ، وتحليل الأسباب والحلول المقترحة :

البلازما غير مستقرة أو غير قادر على توهج

1 - عرض المشكلة :

غير مستقر ، وميض ، أو نبض من التفريغ توهج .

لا يمكن أن تبدأ عادة ، لا البلازما .

2 - الأسباب المحتملة والتدابير المضادة :

عدم كفاية فراغ : فراغ أو ضغط العمل لا تصل إلى متطلبات الإضاءة الخلفية . نظام فراغ ( مضخة ، صمام ، الأنابيب ) يجب التحقق من تسرب .

مدخل الغاز المشكلة : عمل الغاز ع نجس ، أو غرفة صغيرة جدا من غاز الأرجون ، مما أدى إلى توهج غير طبيعي .

الهدف من المشاكل : الإفراط في استهلاك المواد المستهدفة يؤدي إلى التعرض غير مكتملة من المغنطرون المدارج ، الهدف من التسمم ( رد الفعل الاخرق ) أو سوء تبريد اللوحة الخلفية يؤدي إلى ارتفاع درجة حرارة سطح الهدف . . . . . . . التحقق من حالة الهدف لضمان سلاسة مياه التبريد .

سوء التأريض : سوء التأريض من تجويف أو عينة الجدول ، مما يؤدي إلى أداء غير طبيعي في الدائرة . التحقق من جميع الاتصالات الكهربائية وأسس .

مشكلة جودة الفيلم

1 . التصاق الفقراء :

الأسباب : الركيزة ليست نظيفة بما فيه الكفاية ، الركيزة درجة الحرارة منخفضة جدا ، وعدم كفاية القصف الأيوني في المرحلة الأولى من ترسب ( التحيز ليست مفتوحة أو منخفضة جدا ) ، أو الإجهاد المفرط في الفيلم .

التدابير المضادة : تنظيف الركيزة ( بالموجات فوق الصوتية تنظيف البلازما التنظيف ) ؛ زيادة درجة حرارة الركيزة بشكل صحيح ؛ فتح التحيز الركيزة ايون تنظيف وتعزيز التصاق الركيزة . تحسين المعلمات العملية ( قبل الطلاء ، والطلاء مع زيادة التصاق الركيزة ، مثل النيكل ) .

2 . فيلم تفاوت :

الأسباب : تفاوت تآكل المواد المستهدفة ، الركيزة غير متوازية مع الهدف ، الركيزة الثورة / دوران الفشل .

التدابير المضادة : تحسين توزيع المجال المغناطيسي الهدف ( استخدام قابل للتعديل المغنطرون الهدف ) ؛ تأكد من أن الركيزة يتحرك بشكل طبيعي في الترجمة أو التناوب . ضبط الموقف النسبي وزاوية الهدف قاعدة ؛ سمك الفيلم التوزيع الأمثل باستخدام يربك إذا لزم الأمر .

الصيانة العامة والوقاية من التوصيات

1 . معيار العملية : وفقا صارمة مع معدات التشغيل الداخلي ، ولا سيما فراغ ، نفخ ، بدء وإيقاف إمدادات الطاقة وغيرها من الخطوات .

2 - الصيانة الدورية :

تنظيف تجويف بانتظام ، استبدال مضخة الزيت ، والتحقق من الختم الدائري .

معايرة فراغ متر ، مقياس الجريان ، وإمدادات الطاقة وغيرها من المكونات الرئيسية .

التحقق من نظام مياه التبريد وخطوط أنابيب الغاز .

3 . عملية تسجيل : تسجيل المعلمات والظواهر والنتائج في كل عملية ، من السهل تتبع المشكلة وتحسين العملية .

4 - ما يكفي من التسخين و قبل الاخرق : بعد بدء التشغيل ، قبل الطلاء ، ما يكفي من التسخين على المعدات ، و ما يكفي من الوقت قبل الاخرق على الهدف لتنظيف سطح الهدف وتثبيت البلازما .