ترسب طبقة الجزيئيةرقيقة جدا فيلم الفنية مع دقة المستوى الذري هي التي شيدت على سطح الركيزة من خلال التحكم بدقة في عملية الترسيب الجزيئية وحدة طبقة بعد طبقة .أولا ، المبادئ الأساسية تنبع من النفس مقيدة آلية رد الفعل .ترسب طبقة الجزيئيةمن خلال اثنين أو أكثر من أنواع مختلفة من السلائف و سطح الركيزة بالتناوب ، الذاتي الحد من التفاعلات الكيميائية لتحقيق النمو رقيقة . . . . . . . كل دورة الترسيب يتكون من ثلاث خطوات رئيسية :
1 ، جزيء السلائف في شكل بخار أو سائل في دائرة رد الفعل ، الامتزاز الكيميائي على سطح الركيزة ، وتشكيل طبقة جزيئية واحدة ؛
2 - إزالة رد فعل السلائف والمنتجات من خلال تطهير غاز خامل .
3 ، مقدمة أخرى و كثف مع الجزيء الأول من رد فعل معين على شكل فيلم المستهدفة المواد والإفراج عن المنتجات الجزيئية الصغيرة ، مرة أخرى من خلال تطهير المواد الزائدة .
كل جولة من ردود الفعل تتم فقط في المواقع النشطة على السطح غير المشبعة ، رد فعل ينتهي تلقائيا بعد كل المواقع النشطة المحتلة ، وبالتالي ضمان أن واحد فقط أو عدد ثابت من الطبقات الجزيئية المودعة في كل جولة من الدورات ، وبالتالي تحقيق دقة السيطرة على ترسب سمك .
ثانيا ، الخصائص التقنية تسليط الضوء على المزايا . ضبط النفس آلية التفاعل يعطي درجة عالية من التحكم في سمك ، من خلال دقة تحديد عدد الدورات ، يمكن تحقيق التخصيص من جزيء واحد إلى عدة مئات من نانومتر الأفلام رقيقة ، سمك الانحراف يمكن السيطرة عليها في الحد الأدنى من النطاق . هذه التكنولوجيا لديها قدرة قوية على التكيف مع المواد الركيزة ، بغض النظر عن ما إذا كان أو لم يكن مستو الركيزة هيكل ثلاثي الأبعاد المعقدة ، يمكن أن تشارك في رد الفعل السطحي ، وضمان تغطية موحدة من الفيلم .
وبالإضافة إلى ذلك ، يمكن أن تتم تحت ظروف معتدلة ، وبالتالي تجنب الضرر من المواد الأساسية أو السلائف بسبب ارتفاع في درجة الحرارة وارتفاع الضغط ، وبالتالي يجري مناسبة للمواد الحساسة مع ارتفاع متطلبات الاستقرار الحراري . من خلال اختيار مجموعات مختلفة من السلائف ، أفلام متعددة الوظائف يمكن أن تكون ملفقة لتلبية متطلبات الأداء في مختلف المجالات .
ثالثا ، تطبيق إمكانات لدفع التنمية التكنولوجية .ترسب طبقة الجزيئيةفي مجال الالكترونيات الدقيقة طبقة عازلة ، طلاء مضادة للتآكل ، وفصل الغاز الفيلم ، تعديل تخزين الطاقة الكهربائي ، الخ . دقة السيطرة على المستوى الجزيئي والقدرة على التوافق واسعة من المواد ، وتوفير الدعم الأساسي لتطوير الأفلام الفنية حسب الطلب ، هو وسيلة هامة لتعزيز الابتكار في مجال علوم المواد والهندسة .