ellipsometry الطيفيةهو أداة قياس عالية الدقة البصرية التي تستخدم أساسا لتحليل الخصائص البصرية للمواد ( مثل معامل الانكسار ، معامل الخمود ) ، سماكة الفيلم ( من نانومتر إلى ميكرون ) و المعلومات المجهرية من السطح / واجهة . المبدأ الأساسي هو استخدام الاستقطاب الضوء على سطح المواد تعكس أو تنتقل بعد التغيير ، من خلال تحليل هذه التغييرات في الخصائص الفيزيائية Backstepping المواد ، وتستخدم على نطاق واسع في أشباه الموصلات ، والأفلام البصرية ، نانو مواد الطب الحيوي وغيرها من المجالات .

هذا الجهاز يمكن أن تعمل دون الاتصال ، غير المدمرة قياس ، لا ضرر في العينة . قياس سمك يمكن أن تصل إلى مستوى النانومتر . لا حاجة لوضع العلامات أو المعالجة ، ومناسبة لمجموعة متنوعة من المواد .

شراءellipsometry الطيفيةويمكن التركيز على النقاط التالية :

1 ، مجموعة طيفية : وفقا لقياس الخصائص البصرية للمواد لتحديد نطاق طيفي مناسب . على سبيل المثال ، مواد شفافة تحتاج إلى التركيز على المنطقة الطيفية من الانكسار ، موجة قصيرة امتصاص المواد يمكن أن تمتد إلى الأشعة تحت الحمراء منطقة شفافة لتحديد سمك .

2 ، دقة القياس والتكرار : الدقة هي المؤشرات الأساسية ، تحتاج إلى تمرير عينة القياسية ( مثل الهواء ) للتحقق من دقة ؛ التكرار يعكس استقرار الصك ، تحتاج إلى قياس ومقارنة النتائج عدة مرات .

3 ، زاوية السقوط : متعدد زاوية قياس يمكن تحسين الموثوقية ، ولكن ليس كل مشهد يحتاج . متعدد الطبقات فيلم ، فيلم امتصاص وغيرها من الهياكل المعقدة التي تحتاج إلى قياس زوايا متعددة ، بسيطة فيلم يمكن أن تكون زاوية واحدة .

4 ، تحليل البرمجيات : ellipsometry قياس غير مباشر قياس البيانات تحتاج إلى تركيب التحليل . البرمجيات يجب أن تمتلك قاعدة بيانات غنية من المواد ، والقدرة على بناء نموذج مرن وكفاءة الخوارزمية ، من أجل دعم سريع ودقيق المعلمة عكس .

5 ، تكوين الأجهزة : وفقا لمتطلبات اختيار الروتاري المعوض ، التلقائي تغيير زاوية قاعدة ، شعاع التقاء التكنولوجيا وغيرها من الأجهزة .