أنواع مختلفة من الأفلام لها تأثير مباشر على قياس سماكة الفيلم . العوامل المؤثرة الرئيسية تشمل خصائص المواد ، معامل الانكسار ، الامتصاصية ، نعومة السطح وهلم جرا . في ما يلي ، ونحن نناقش تطبيق الحد على الخط قياس سماكة الفيلم من عدة أنواع من الأفلام .

فيلم معدنية

الأفلام المعدنية عادة ما تكون انعكاسية عالية ، مما يجعل من الممكن على الخط قياس سماكة الفيلم من خلال التداخل الضوئي . الأفلام المعدنية مثل النحاس والألومنيوم والذهب وغيرها من المواد المستخدمة عادة في المعدات الالكترونية ، الخلايا الشمسية ، محفز ، وغيرها من المجالات . لأن معامل الانكسار من المعدن رقيقة عالية وموحدة ، البصرية قياس التداخل عادة لا تكون محدودة جدا .

ومع ذلك ، عندما سماكة الفيلم هو سميكة جدا ، التداخل الضوئي قد تتأثر إشارة التوهين ، مما يؤدي إلى خطأ في القياس . ولذلك ، في عملية قياس سماكة الفيلم ، فيلم سمك متر مع مجموعة ديناميكية عالية ، أو غيرها من أساليب القياس ، مثل الأشعة السينية مضان الأسلوب ، يجب أن تستخدم .

ارتفاع مؤشر الانكسار رقيقة

ارتفاع مؤشر الانكسار المواد ، مثل بعض أكاسيد المعادن ( مثل الإنديوم أكسيد القصدير ايتو ، نتريد الألمنيوم ، الخ ) ، وبعض الأفلام السيراميك ، من الصعب قياس سماكة الفيلم . بسبب ارتفاع معامل الانكسار من هذه المواد ، التداخل الضوئي إشارة قد تتأثر بشدة ، مما يقلل من دقة قياس سماكة الفيلم .

هذا النوع من الأفلام يمكن أن تعزز من خلال تحسين اختيار مصدر الضوء ( على سبيل المثال ، اختيار أطوال موجية مختلفة من الضوء ) من سمك الفيلم متر ، وتحسين حساسية كاشف . وبالإضافة إلى ذلك ، فإن الجمع بين تقنيات أخرى ( مثل انعكاس الليزر أو الأشعة السينية التكنولوجيا ) يمكن أن تحسن دقة القياس والموثوقية .

انخفاض مؤشر الانكسار رقيقة

انخفاض مؤشر الانكسار الأفلام ، مثل بعض المواد العضوية ، وانخفاض ك مواد عازلة ، وعادة ما تظهر انخفاض انعكاس الضوء إشارة ، لذلك من الصعب قياس سماكة الفيلم . عند قياس هذه الأفلام رقيقة من التداخل الضوئي ، انعكاس إشارة ضعيفة و تدخل الضوضاء بسهولة .

من أجل التغلب على هذه القيود ، بالإضافة إلى تعزيز مصدر الضوء الطاقة وتحسين حساسية الكشف عن إشارة انعكاس ، أكثر تعقيدا خوارزمية معالجة الإشارات يمكن أن تستخدم أيضا للقضاء على الضوضاء ، وتحسين دقة قياس سماكة الفيلم .

4 ، متعدد الطبقات فيلم

في نظام متعدد الطبقات فيلم ( على سبيل المثال ، طلاء البصرية ) ، سمك ، معامل الانكسار ، الامتصاصية من كل طبقة قد تختلف . ولا سيما في حالة رقيقة جدا أو سميكة جدا من طبقات رقيقة ، قد لا تكون قادرة على التمييز بين طبقات تدخل إشارة بدقة .

في هذه الحالة ، أكثر تعقيدا من نظام القياس ، أو مزيج من التداخل الضوئي مع أساليب أخرى ( مثل الأشعة السينية انعكاس ، انعكاس الليزر ، وما إلى ذلك ) مطلوب للحصول على معلومات دقيقة عن سمك الفيلم متعدد الطبقات .

5 ، غير موحدة رقيقة

في بعض عمليات الإنتاج ، الأفلام قد تكون موزعة بشكل غير منتظم بسبب التقلبات في المعدات ، والبيئة ، أو عملية . في هذه الحالة ، دقة القياس سوف تتأثر ، لا سيما في المناطق حيث سماكة الفيلم يختلف كثيرا .

من أجل حل هذه المشكلة ، على الخط قياس سماكة الفيلم عادة ما تكون مجهزة مع نظام المسح الضوئي ، من خلال مواقع مختلفة من قياس متعددة لتوفير أكثر دقة سماكة الفيلم خريطة التوزيع .

أنواع مختلفة من مواد رقيقة مختلفة الخصائص البصرية والفيزيائية ، لذلك نحن بحاجة إلى اختيار أساليب القياس المناسبة والأجهزة وفقا لأنواع معينة من الأفلام . من أجل تحسين دقة واستقرار قياس سماكة الفيلم ، من الضروري الجمع بين العديد من التقنيات المعقدة مع هيكل الفيلم أو فيلم خاص المواد .