هنا هو دليل تفصيلي عن نانو ليزر نظام الكتابة المباشرة ، بما في ذلك المبادئ التوجيهية ، والإجراءات التشغيلية ، والمسائل التي تحتاج الى اهتمام :
مبدأ النظام و المكونات الأساسية
نانو ليزر تكنولوجيا الكتابة المباشرة مباشرة يكتب مايكرو نانو هيكل على سطح المواد الحساسة للضوء من خلال شعاع الليزر عالية الدقة ، والتي لا تحتاج إلى قناع التقليدية . وتشمل النواة ما يلي :
- نظام مصدر الضوء : أكثر من استخدام الأشعة فوق البنفسجية / ليزر الفيمتو ثانية ، أقصر الطول الموجي يمكن تحقيق أصغر بقعة ضوء التركيز ( مثل 355nm ليزر الأشعة فوق البنفسجية يمكن أن تصل إلى مستوى submicron ) .
-- منصة الحركة : الهواء العائمة دليل السكك الحديدية + مزيج من السيراميك كهرضغطية سائق ، وتحقيق دقة تحديد المواقع على مستوى النانومتر .
- نظام العدسة الشيئية : العدسة الشيئية ذات الفتحة العددية العالية ( NA > 0.8 ) تضغط على حجم البقعة ، مما يزيد من كثافة الطاقة .
- نظام التحكم : الكمبيوتر تنسيق نبضات الليزر التردد ، سرعة المسح الضوئي منصة الحركة ، ودعم جربر / دكسف ملف الاستيراد .
ثانيا ، العملية برمتها من شرح مفصل
1 - المرحلة التحضيرية
- الركيزة المعالجة : رقائق السيليكون يجب غسلها بواسطة بيرانا الحل لإزالة المواد العضوية ، الركيزة الزجاج قبل المغلفة مع Tackifier ( مثل HMDS ) لتعزيز التصاق للضوء .
- عملية الطلاء : عندما تدور طلاء مقاومة للضوء ( su-8 / البولى ميثيل ميثا أكريلات ) ، سرعة الدوران التدرج هو مجموعة من انخفاض سرعة البدء ( 500 دورة في الدقيقة / ثانية إلى 3000rpm ) ، سمك الخطأ هو التحكم في ± 5 ٪ . لينة الخبز ( 90 ℃ / 2 دقيقة ) يزيل بقايا المذيبات .
- التدابير المضادة للصدمات : بدء الاهتزاز المعزل ، إغلاق منفذ الهواء من أجهزة تكييف الهواء ، ودرجة الحرارة والرطوبة في المختبر هو 22 ± 1 ℃ / 45 ٪ RH .
2 - التعرض للخطوات الرئيسية
- تنسيق المعايرة : استخدام تداخل الليزر لرصد الموقف البؤري في الوقت الحقيقي ، مع الخطأ أقل من ± 0.1 ميكرومتر . ض محور غرامة التكيف خطوة دقة تصل إلى 0.01 ميكرون .
- الجرعة المثلى : يتم تحديد أفضل الطاقة نبض واحد ( قيمة نموذجية μ ي ) وتكرار التردد ( كيلو هرتز ) من خلال مصفوفة التجربة . على سبيل المثال ، su-8 الغراء يستخدم عادة في مجموعة من 10-50mj / سم ² .
- التعويض الدينامية : تمكين التلقائي تتبع الارتفاع على سطح الركيزة ، والحفاظ على مسافة عمل ثابتة . إسقاط التشويه يجب تصحيحها عند زاوية الميل يتجاوز 5 درجة .
3 . تطوير وتجهيز
- وضع لاصق إيجابي : الوقت المنقوع من mf-319 المطور يعتمد على سمك ( 1 ميكرون سميكة حوالي 60 ثانية ) ، يهز بلطف لتجنب تقشير . الغراء السلبي يتطلب كحولالأيسوبروبيل إصلاح .
- علاج الخبز الصلب : درجات الحرارة تصل إلى 150 درجة مئوية لمدة 30 دقيقة عبر ربط شبكات البوليمر . معدل التبريد ≤ 5 ℃ / دقيقة لمنع تكسير .
- إزالة بقايا : الأكسجين Plasma رماد Deglutination الخبث ، تعيين المعلمة إلى السلطة 80W ، ضغط الهواء 50pa وطول 120s .
مواصفات الصيانة اليومية
- صيانة المكونات البصرية : استخدام مسحة القطن خالية من الغبار مغموسة في الكحول المطلق لمسح العدسة الشيئية ، لا تلمس طبقة الطلاء . الموازاة هو اختبار كل ستة أشهر .
- انتقال الميكانيكية تزييت : y-shaft دليل السكك الحديدية المغلفة بانتظام مع انخفاض درجة الحرارة الشحوم ( مناسبة - 40 ℃ ~ 80 ℃ ) ، لتجنب تلوث الشحوم البصرية النافذة .
- برامج استراتيجية النسخ الاحتياطي : تصدير ملفات المشروع أسبوعيا إلى محركات الأقراص الصلبة المستقلة ، تشفير أرشيف المعالم الهامة . دائما إلغاء تثبيت السائق قبل تثبيت النظام .
- حماية سلامة الترقية : تركيب الأشعة تحت الحمراء الاستشعار زر التوقف في حالات الطوارئ ، تسرب الليزر بدقة ضمن فئة أنا معايير السلامة .